• 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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• 한국전기전자재료학회 2001년도 하계학술대회 논문집
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• pp.25-28
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• 2001

Recently, STI(Shallow Trench Isolation) process has attracted attention for high density of semiconductor device as a essential isolation technology. Without applying the conventional complex reverse moat process, CMP(Chemical Mechanical Polishing) has established the Process simplification. However, STI-CMP process have various defects such as nitride residue, torn oxide defect, damage of silicon active region, etc. To solve this problem, in this paper, we discussed to determine the control limit of process, which can entirely remove oxide on nitride from the moat area of high density as reducing the damage of moat area and minimizing dishing effect in the large field area. We, also, evaluated the reliability and reproducibility of STI-CMP process through the optimal process conditions.

• 한국지진공학회:학술대회논문집
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• 한국지진공학회 1997년도 춘계 학술발표회 논문집 Proceedings of EESK Conference-Fall 1997
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• pp.77-87
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• 1997

The earthquake data(M$\geq$4.0) for post-1900 in the Korean Peninsula show temporal variation with active and quiet periods. The pattern is quite similar to northeastern China and Inner Zone of Southwest Japan. Yeongweol earthquake occurred in the seismic gap region of the Korean Peninsula. This is the first medium-size earthquake in inland region of the southern peninsula since 1978. The intensity based on the felt area estimation of about 400 places shows MMI III-Ⅷ in inland region. IIon Cheju Island and Ion Ulreung Island. The isoseismal of MMI Ⅶ shows an elongated circle in the direction of NE-SW and covers some parts of Jungdong-myon, Yeongweol-kun, Sindong-eup and Nam-myun, Jeongseon-kun. There occurred quite strong shaking, numerous cracks on the walls of buildings, falling and movement of slate and tiles on the roofs, falling of tiles from the wall and falling of materials from desks, rook falling from mountain and collapse of gravel lauers on the river side. The least square fitting of the intensity data of the Yeongweol earthquake by a popular intensity attenuation relation yields the following : I=Io＋1.82249 - 0.65295*InR - 0.00707*R

• Earthquakes and Structures
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• 제20권3호
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• pp.325-335
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• 2021

The majority of Turkey's geography is at risk of earthquakes. Within the borders of Turkey, including the two major active faults contain the North-Eastern and Eastern Anatolia, earthquake, threatening the safety of life and property. On January 24, 2020, an earthquake of magnitude 6.8 occurred at 8:55 p.m. local time. According to the data obtained from the stations in the region, peak ground acceleration in the east-west direction was measured as 0.292 g from the 2308 coded station in Sivrice. It is thought that the earthquake with a magnitude of Mw 6.8 was developed on the Sivrice-Puturge segment of the Eastern Anatolian Fault, which is a left lateral strike slip fault, and the tear developed in an area of 50-55 km. Aftershocks ranging from 0.8 to 5.1 Mw occurred following the main shock on the Eastern Anatolian Fault. The earthquake caused severe structural damages in Elazığ and neighboring provinces. As a result of the field investigations carried out in this study, significant damage levels were observed in the buildings since it did not meet the criteria in the earthquake codes. Within the study's scope, the structural damage cases in reinforced concrete and masonry structures were investigated. Many structural deficiencies and mistakes such as non-ductile details, poor concrete quality, short columns, strong beams-weak columns mechanism, large and heavy overhangs, masonry building damages and inadequate reinforcement arrangements were observed. Requirements of seismic codes are discussed and compared with observed earthquake damage.

• 한국시뮬레이션학회논문지
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• 제23권3호
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• pp.27-32
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• 2014

본 논문에서는, 초고집적 CMOS 회로를 위한 얕은 트랜치 격리로 기존의 수직 구조 보다 개선된 성질을 갖는 새로운 구조를 제안하고자 한다. 이를 위해서 제안한 구조는 회자 모양의 얕은 트랜치 격리 구조이다. 특성 분석은 기존 수직 구조와 제안한 구조에 대해서 전자농도 분포, 열전자 스트레스의 산화막 모양, 전위와 전계 플럭스, 열 손상의 유전 전계와 소자에서 전류-전압 특성을 분석 하고자 한다. 물리적 기본 모델들은 TCAD 툴을 이용하며, 집적화 소자들에 있어서 분석 조건은 주위 조건과 전류와 시간의 인가 스트레스 조건이다. 분석 결과, 얕은 트랜치 격리 구조가 소자의 크기가 감소됨에 따라서 수동적인 전기적 기능이었다. 트랜지스터 응용에서 제안한 회자 구조의 얕은 트랜치 격리 구조가 전기적 특성에서 전위차, 전계, 전자농도 분포가 높게 나타났으며, 활성영역에서 스트레스에 의한 산화막의 영향은 감소되었다. 이 결과 데이터를 바탕으로 소자의 전류-전압 특성 결과 분석도 양호한 특성으로 나타났다.

• 헤리티지:역사와 과학
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• 제45권3호
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• pp.100-113
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• 2012

최근 활발한 발굴조사가 이루어지는 가운데 영남지방에서 신라기와가 다량 출토되고 있다. 이들 중에는 특히 경주에서 출토되는 신라기와와 동범관계의 기와가 확인된다. 이에 영남지역의 신라시대막새에 대해서 경주지역 출토품과 비교하여 문양구성 등이 동일한 막새 중 동범막새와 동형막새로 구분하고 검토해 보았다. 그 중에서 특히 주목되는 유적은 인각사이다. 인각사 발굴조사에서 출토된 신라기와 중 연화문수막새를 포함한 당초문암막새 등 일부가 경주 월성과 황룡사지 등에서 출토되는 막새와 같은 틀로 제작한 동범막새의 관계인 것으로 판단된다. 이는 경주에서 제작된 막새가 각 지방으로 직접 이동한 경우와, 와범만이 이동하여 현지에서 제작된 경우, 와공이 이동하여 현지에서 제작한 경우로 정리해 볼 수 있다. 지방출토 신라기와는 인각사의 경우, 시기를 구분하여 나타나는 기와의 양상을 통해서 공존과 확장, 그리고 보수가 거듭된 상황을 파악할 수 있다. 이러한 정황은 경주로부터 비단 한시적으로 공급된 것이 아닌 지속적 관계로 이해하는 단서로서 의미가 깊다고 하겠다. 한편 신라기와가 경주에서 생산되어 각 지방으로 유입되는 과정에서도 직접유입이 이루어졌다면, 여러 가지 조건에 의해 육로운송 보다는 수로운송이 유리하였을 것으로 생각된다. 이는 대상 유적이 크고 작은 강과 하천 부근에서 확인된 것과도 깊은 연관이 있을 것으로 판단된다.

• 자원환경지질
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• 제47권2호
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• pp.133-146
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• 2014

자연재해의 경제적 영향평가에 대한 연구는 많으나 화산재해의 영향평가에 대한 연구는 상대적으로 매우 적다. 국내의 경우, 화산 폭발에 대한 국가적, 사회적 관심 부족으로 화산재해 영향평가에 대한 학계 연구도 매우 부족하다. 이러한 연구실정을 고려하여, 본 연구는 자연재해의 경제적 영향평가 연구방법론을 조사하고 향후 예상되는 백두산 화산재해에의 적용 가능성을 검토하였다. 본 연구의 주요 내용과 결과를 요약하면 다음과 같다. 첫째, 자연재해 및 화산재해에 대해 조사한 결과, 아시아지역에서 자연재해 피해규모가 가장 컸고 아시아와 아메리카 대륙의 경제적 피해가 가장 많았던 것으로 나타났다. 둘째, 최근 30년 사이에 화산분화가 매우 빈번했던 일본에서 화산재해로 인한 피해연구가 활발했던 반면, 화산분화가 드문 한국과 중국에서는 화산재해의 경제적 영향에 대한 연구가 매우 희소하다. 셋째, 자연재해에 의한 피해 유형 및 복합 피해구조에 대하여 살펴보았고, 그 중에서 정량적인 분석이 가능하다고 생각되는 경제적 간접피해를 추정할 수 있는 몇 가지 방법들을 비교 검토해 보았다. 각 방법론을 백두산 화산재해에 적용하는 경우, 모형 고유의 특징 때문에 피해규모가 과대 추정되거나 혹은 과소 추정될 가능성이 있으므로 계산된 피해결과는 사후적인 비교 검토가 필요하다. 마지막으로 일본의 화산재해에 관한 학술적 연구를 백두산 화산폭발의 경제적 영향 평가 연구의 출발점으로 활용할 수도 있겠지만, 미국에서 사용되는 Hazus나 뉴질랜드에서 사용되는 RiskScape와 같은 컴퓨터 SW를 활용하거나 개발하여 백두산 화산재해의 경제적 영향을 예측하는 것도 좋은 방법이라고 생각된다.

• 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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• 한국전기전자재료학회 2003년도 춘계학술대회 논문집 센서 박막재료 반도체 세라믹
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• pp.149-153
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• 2003

Chemical mechanical polishing (CMP) technology for global planarization of multi-level inter-connection structure has been widely studied for the next generation devices. CMP process has been paid attention to planarized pre-metal dielectric (PMD), inter-layer dielectric (ILD) interconnections. Expecially, shallow trench isolation (STI) used to CMP process on essential. Recently, the direct STI-CMP process without the conventional complex reverse moat etch process has established by using slurry additive with the high selectivity between $SiO_2$ and $Si_3N_4$ films for the purpose of process simplification and n-situ end point detection(EPD). However, STI-CMP process has various defects such as nitride residue, tom oxide and damage of silicon active region. To solve these problems, in this paper, we studied the planarization characteristics using a high selectivity slurry(HSS). As our experimental results, it was possible to achieve a global planarization and STI-CMP process could be dramatically simplified. Also we estimated the reliability through the repeated tests with the optimized process conditions in order to identify the reproducibility of HSS STI-CMP process.

• 한국정밀공학회지
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• 제33권12호
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• pp.1039-1045
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• 2016

We investigated the protection capability of a plate against high speed projectiles demonstrating collision and penetration behaviors by finite element analysis. The element erosion method was used for penetration analysis, which showed that the speed of the projectile was slightly reduced by the collision with the protection plate. Protection capability was measured by the projectile's attitude angle change because the damage of our tanks by projectiles was also dependent on the projectile-tank collision angle. When the length of the protection plate was sufficiently long, the projectile was severely deformed and incapacitated. In the case of a small plate, the projectile was deformed only in the collision region. Thus, projection capability was investigated by the change of attitude angle. The effect of collision angle, velocity, and length of the plate on the rotational and vertical velocities of the projectile was investigated.

• Earthquakes and Structures
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• 제18권6호
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• pp.731-742
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• 2020

Due to incessant earthquakes, many historic South Nias traditional timber houses have been damaged while some still stand today. As Nias is part of an extremely active tectonic region and the buildings are getting older by day, it is essential that these unique houses are well maintained and functioning well. A post-earthquake condition assessment was conducted on 2 selected buildings; 'Building A' survived the seismic shakings while 'Building B' got severely damaged. The overall condition assessment of "Building A' was found out to be poor and the main structural members were not performing as intended. In 'Building B', the columns were not well anchored to the ground, no tie beams to tie the columns together, and eventually, the timber columns moved in various directions during the earthquake. The frequent earthquakes along with deterioration due to lack of proper maintenance program are responsible for the non-survival of the buildings. Thus, a process guideline for managing the maintenance of these buildings was proposed. This is necessary because managing the maintenance works could help to extend the life of the buildings and seek to avoid the need for potentially expensive and disruptive intervention works, which may damage the cultural significance of the buildings.

• 한국지반공학회논문집
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• 제23권3호
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• pp.111-121
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• 2007

지진하중의 불확실성을 평가할 수 있는 신뢰성기반 해석기법을 제시한다. 이 기법은 종래의 한계평형법과 뉴막-형식의 변형량 계산기법에 확률개념을 도입하였으며 피해 위험성을 몬테칼로 시뮬레이션 해석기법으로 계산한다. 지진파를 작성하고 이들을 사면 내진 해석에 사용하고자 확률변수 프로세스와 RMS 재해 기법을 도입하였다. 지반성질의 변동성과 통계오차도 고려하였다. 신뢰성 해석 결과 지진활동이 활발한 지역에서는, 계산된 사면파괴 위험성과 과도한 영구변형의 관점에서 비교할 때 지진재해 평가가 더 중요한 사항이며, 재료성질의 모사방법의 차이는 상대적으로 영향이 적다는 사실이 밝혀졌다. 이 결과는 원형 및 비원형 형태의 활동면 파괴에 모두 해당된다.