SAW properties of SiNx/ZnO bilayer thin film structure were analyzed. ZnO thin films were deposited by rf magnetron sputter using O2 gas as an oxidizer. Structure of ZnO thin films was affected by Ar/O2 ratio. At the gas ratio of Ar/O2=67/33, the standard deviation of X-ray rocking curve of (002) preferred ZnO thin film was 2.17 degree. This value is sufficient to use ZnO thin films as an acoustic element. SAW velocity of glass/SiNx(7000Å)/Al/ZnO(5μm) structure was max. 2.2% faster than that of ZnO/glass.
ZnO micro/nanocrystals are formed by a vapor transport method. Mixtures of ZnO and TiO powders are used as the source materials. The TiO powder acts as a reducing agent to reduce the ZnO to Zn and plays an important role in the formation of ZnO micro/nanocrystals. The vapor transport process is carried out in air at atmospheric pressure. When the weight ratios of TiO to ZnO in the source material are lower than 1:2, no ZnO micro/nanocrystals are formed. However, when the ratios of TiO to ZnO in the source material are greater than 1:1, the ZnO crystals with one-dimensional wire morphology are formed. In the room temperature cathodoluminescence spectra of all the products, a strong ultraviolet emission centered at 380 nm is observed. As the ratio of TiO to ZnO in the source material increases from 1:2 to 1:1, the intensity ratio of ultraviolet to visible emission increases, suggesting that the crystallinity of the ZnO crystals is improved. Only the ultraviolet emission is observed for the ZnO crystals prepared using the source material with a TiO/ZnO ratio of 2:1.
ZnO nanowires were fabricated through thermal evaporation of Zn or ZnS powder using solar energy. The Zn or ZnS powder was heated and evaporated by sunlight. The sunlight was concentrated on the Zn or ZnS powder by a converging lens and then the Zn or ZnS powder was evaporated and oxidized in air. After oxidation, ZnO nanowires were fabricated in the focal point. Strong ultraviolet emission, which corresponds to the near band-edge emission, was observed from the ZnO nanowires synthesized using Zn powder as a source material. Meanwhile, green emission, related to intrinsic defects such as oxygen vacancies, prevailed for the ZnO nanowires fabricated using ZnS powder. No catalysts were used in the fabrication of the ZnO nanowires, which suggested the ZnO nanowires were grown by a vapor-solid mechanism.
Microstructueral development and electrical properties in ZnO-Bi2O3-ZnAl2O4 system were investigated with ZnAl2O4 content(0.1~1.0 mol%). The shrinakge of specimens started around $700^{\circ}C$ and finished at 110$0^{\circ}C$, reaching a maximum shrinkage rate at 80$0^{\circ}C$. The shrinkage rate is strongly related to the fromation of a Bi-rich liquid. The increase of the ZnAl2O4 content inhibited the grain growth of ZnO. Most of ZnAl2O4 particles located at the grain boundaries were about 2~3${\mu}{\textrm}{m}$. ZnO grain size changed little up to 110$0^{\circ}C$, but increased markedly above 115$0^{\circ}C$, especially at lower ZnAl2O4 content. Drastic decreasing in breakdown voltage(Vb) with increasing temperature is expected to be dependent on the ZnO grain size and the distribution of the largest grains between the electrode. The nonlinear I-V characteristic was significantly influenced by the ZnAl2O4 content, which exhibited a maximum value at about 15${\mu}{\textrm}{m}$ of ZnO grain size.
In this study, the effects of ZnO buffer layer thickness and annealing temperature on the heterojunction diode, ZnO/b-ZnO/p-Si(111), were reported. The effects of those on the structural and electrical properties of zinc oxide (ZnO) films on ZnO buffered p-Si (111) substrate were also studied. Structural properties of ZnO thin films were studied by X-ray diffraction and I-V characteristics were measured by a semiconductor parameter analyzer. ZnO thin films with 70 nm thick buffer layer and annealing temperature of $700^{\circ}C$ showed the best c-axis preferred orientation. The best electrical property was found at the condition of buffer layer annealing temperature of $700^{\circ}C$ and 50nm thick ZnO buffer layer (resistivity: $2.58{\times}10^{-4}[{\Omega}-cm]$, carrier concentration: $1.16{\times}1020[cm^{-3}]$). The I-V characteristics for ZnO/b-ZnO/p-Si(111) heterojunction diode were improved with increasing buffer layer thickness at buffer layer annealing temperature of $700^{\circ}C$.
ZnO nanorods were grown on ZnO seed films by a hydrothermal method. The rf sputtered ZnO thin films annealed at $600^{\circ}C$ were employed as the seed films. The ZnO nanorods were annealed at $400^{\circ}C$ and $800^{\circ}C$, respectively. The structural and optical property dependence of ZnO nanorods on the annealing was studied. The UV peak showing the strong intensity and narrow FWHM was obtained from ZnO nanorods annealed at $400^{\circ}C$.
Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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2002.04b
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pp.65-68
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2002
The effect of low-temperature ZnO buffer layer has been investigated for the optical properties of ZnO thin films. ZnO buffers and thin films have been deposited using the pulsed laser deposition technique. ZnO buffer layers were grown at $200^{\circ}C$ with various thickness of 0 to 60 nm, followed by raising the substrate temperature to $400^{\circ}C$ to grow $2{\mu}m$ ZnO thin films. The buffer layers could relax stresses induced by the lattice mismatch and different thermal expansion coefficients between ZnO thin films and sapphire substrate. In order to identify the optical properties of ZnO thin films, PL measurement was used. From the results of PL measurement, all the fabricated ZnO thin films with buffer layers have shown intensive UV emission with a narrow linewidth. ZnO thin films with buffer layer of 20 nm have shown the strongest UV emission. It was found that the use of ZnO buffer layer plays an important role to improve the intensive UV emission of the ZnO thin films.
We have investigated about interface characteristics between ZnO thin films and metal electrodes when ZnO and metal electrodes were fabricated as piezoelectric vibrators. At this, ZnO thin films were deposited by rf reactive magnetron sputtering method. After fabricating piezoelectric vibrator of Cr/ZnO/Cr structure with optimum condition, we analyse interface characteristics between ZnO thin films and metal electrodes by I-V measurement. AES depth profile, SEM and C-V measurement. From these measurements we found that ZnO piezoelectric vibrators showed good property when they fabricated as Cr/$SiO_2$/ZnO/Cr structure. And we could confirm these things by driving, and measuring vibration displacement of piezoelectric vibrator with $SiO_2$diffusion barrier.
Journal of the Korean Institute of Illuminating and Electrical Installation Engineers
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v.23
no.4
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pp.79-85
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2009
This paper describes the degradation properties of ZnO surge arresters impressed by lightning impulse currents. To investigate the deterioration behaviors of ZnO surge arresters due to lightning surges, the 8/20[${\mu}s$], 2.5[kA] standard lightning impulse currents were injected to the ZnO surge arrester under test. The power frequency AC and DC leakage currents flowing through the ZnO surge arresters with and without the injection of lightning impulse currents were measured. As a result, the leakage currents are increased and the asymmetry of the AC leakage current is pronounced as the number of injection of the impulse current increases. The ZnO grain of the surge arrester without the injection of lightning surges are uniform but the ZnO grain of the ZnO surge arrester with the injection of lightning impulse currents are deformed. Also, it was found that the decrease of the $Bi_2O_3$ due to the lightning impulse current leads to the lack of grain boundary layer and the current concentrated by the lack of grain boundary layer play an important role to degrade nonlinear property of ZnO surge arrester blocks.
Highly c-axis oriented ZnO thin films were grown on Si(100)substrates with Zn buffer layers. Effects of the Zn buffer layer thickness on the structural and optical qualities of ZnO thin films were investigated using X-ray diffraction (XRD), photoluminescence (PL) and Atomic force microscopy (AFM) analysis techniques. It was confirmed that the quality of a ZnO thin film deposited by rf magnetron sputtering was substantially improved by using a Zn buffer layer. The highest ZnO film quality was obtained with a Zn buffer layer 110 nm thick. The surface roughness of the ZnO thin film increases as the Zn buffer layer thickness increases.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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