This paper reports the correlation between dielectric constant and degree of amorphism of the hybrid type Si-O-C thin films. Si-O-C thin films were deposited by high density plasma chemical vapor deposition using bistrimethyl- silylmethane(BTMSM, $H_{9}$C$_3$-Si-C $H_2$-Si-C$_3$$H_{9}$) and oxygen precursors with various flow rate ratio. As-deposited film and annealed films at 40$0^{\circ}C$ were analyzed by XRD. The Si-O-C thin films were amorphous from XRD patterns. For quantitative analysis, the diffraction pattern of the samples was transformed to radial distribution function by Fourier analysis, and then compared with each other. The degree of amorphism of annealed films was higher than that of as-deposited ones. The dielectric constant varied in accordance with flow rate ratio of precursors. The lowest dielectric constant was obtained from the as-deposited film which has the highest degree of amorphism after annealing.
An XRD quantitative analytical method using calculated XRD patterns was discussed in this study, Deep-seabed sediments commonly contain smectite, illite, chlorite, and kaolinite, and XRD pattern of each clay mineral of appropriate chemical composition was simulated by using an XRD pattern calculation method. Theoretical peak intensities of specific reflections of four clay minerals (the 001 reflections of smectite and illite, the 004 reflection of chlorite, and the 002 reflection of kaolinite) were measured from calculated patterns, and MIF(mineral intensity factor)value of each phase was determined from the intensities of calculated patterns. The peak intensities obtaine from experimental XRD patterns of sediments were corrected using the MIF values so that the calibrated intensity values for the specimens are linearly proportional to the weight fraction of each phase, which is normalized to 100 wt%. The MIF method can provide accurate quantitaive results without the necessity of correcting the factors by the mass absorption coefficient of each phase. This method excludes the necessity of standard specimens having compositions that are similar to those of clay minerals in the sediment samples. Therefore, quantitaive analysis using XRD calculation method can be utilized for the specimens, for which the standard specimens are very difficult or impossible to obtain. this quantitative method can provide rapid, routine analysis results for a large number of samples which occur in similar geological environments.
Journal of the Korean institute of surface engineering
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v.42
no.5
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pp.191-196
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2009
Nanocrystalline Cu thin films were electrodeposited from sulfate baths and investigated systematically the influences of $Cu^{2+}$ concentration and additives on current efficiency, residual stress, surface morphology, and XRD patterns of electrodeposited Cu film. Current efficiency was nearly 100% at from 0.2M to 1.0 M $Cu^{2+}$ concentration. but it was linearly increased with $Cu^{2+}$ concentration at less than 0.2M. The residual stress was observed in range of 7.9 to 18.4 MPa and tensile stress mode. Dendritic and powdered form was obtained at below 0.1 M. As increased with $Cu^{2+}$ concentration in solution, the main peak in the XRD pattern shifted (111) and (220) from (200). In the other hand, all about 100% current efficiency observed in all additive concentration systems, and residual stress observed in range of 20.4 to 26.3 MPa tensile stress. The condition 5(Ultra make-up - 10 ml/l, Ulta A - 0.5ml/l, Ultr B - 0.5 ml/l) was good surface morphology, and fcc(111) peak in XRD patterns increased with increasing additive concentration.
Journal of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers
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v.13
no.12
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pp.1032-1038
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2000
Ni$_{81}$$Fe_{19}$(200 nm) thin films have been deposited by RF-magnetron sputtering on Si(001) substrates, Atomic force microscopy(AFM), X-ray diffraction(XRD) and magnetoresistance(MR) measurements of the thin films for investigating electromagnetic properties and microstructures were employed. During field annelaing for 1hr, there was no big difference n XRD patterns of Ni$_{81}$$Fe_{19}$ thin films. However, there was a significant change in XRD patterns of Ni$_{81}$$Fe_{19}$ thin films deposited at 40$0^{\circ}C$ during in-situ magnetic field deposition. The degree of surface roughness increased with increasing annealing and deposition temperature. With variation of surface roughness, there was no significant difference in MR Characteristics of Ni$_{18}$$Fe_{19}$ thin films in 1hr-annealed case. High MR ratio was observed in the case of in-situ field deposited Ni$_{81}$$Fe_{19}$ films. 19/ films.
Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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2006.11a
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pp.322-323
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2006
The nano-sized Ce-doped YAG(Yttrium Aluminum Garnet, $Y_3Al_5O_{12}$) phosphor powders were prepared by combustion method from a mixed aqueous solution of metal nitrates, using citric acid as a fuel. The luminescence formation process and structure of phosphor powders were investigated by means of XRD, SEM and PL. The XRD patterns show that YAG phase can form at all of the $Ce^{3+}$ concentration. However, when $Ce^{3+}$ concentration is over 2.0mol%, XRD patterns show $CeO_2$ peak between (321) peak and (400) peak. The pure crystalline YAG:Ce with uniform size of 30nm was obtained at 0.6mol% of the $Ce^{3+}$ concentration. The crystalline YAG:Ce powders showed broad emission peaks in the range 475~630nm and had maximum intensity at 526nm.
The crystalline domain of thermosetting urea-formaldehyde (UF) resins at low formaldehyde-to-urea (F/U) molar ratios (≤ 1.0) is known to be responsible for their poor performance as wood adhesives. Crystallization has been observed in 1.0 F/U UF resins during the addition reaction stage and at the end of the synthesis process (neat UF resins). The crystallinity and X-ray diffraction (XRD) spectra of the uncured neat UF resins, on the other hand, differed significantly from those of the cured neat UF resins, raising the possibility that their crystal structures were also different. This study demonstrates for the first time that the crystalline domains in 1.0 F/U UF resins generated from uncured and cured samples are identical. Despite having a lower crystallinity value, the synchrotron XRD patterns of purified neat UF resins were equivalent to the XRD patterns of cured neat UF resins. Transmission electron microscope images of the cured UF resins showed that the crystals were lamellar structures. This finding suggests that the crystal at low molar ratio UF resins are isotropic polycrystals with random orientation.
Two crystal forms of cefuroxime axetil were obtained by the recrystallization from different organic solvents and characterized by differential scanning calorimetry (DSC), X-ray powder diffraction (XRD). It was confirmed that two crystal forms are identical. The dissolution patterns of these two forms were also checked in 0.07 N HCl at $37{\pm}0.5^{\circ}C$, 100 rpm for 180 minutes. The transformation during storage was also studied.
The ion-beam induced changes in the characteristics of gadolinium doped ceria (GDC) pellets have been studied by UV-visible spectroscopy (UV-vis), SEM, and XRD. Implanted ions were protons or Xe ions with the energy of 120 keV or 5 MeV. Densely sintered pristine GDC pellets have cubic fluorite structure and are brown in color. As the ion irradiation proceeded, its color gradually turned into light black and finally into dark black. XRD patterns of GDC pellets were closely related with ion energy and the penetration depth of X-ray. It showed that upon the ion irradiation (120 keV) the lattice parameter of the cubic fluorite phase just beneath the surface is increased.
Journal of the Microelectronics and Packaging Society
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v.12
no.2
s.35
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pp.141-147
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2005
Nanomaterial $TiO_2-SiO_2$ was synthesized by hydrolysis and condensation process using 2-propanol(2-PrOH) and was characterized by FT-IR, DSC, XRD and FE-SEM. FT-IR spectra were measured to investigate Ti-0-Si absorption peak. DSC thermal analysis results appllied to Ozawa equation were used to calculate to activation energy of crystallization. It was found that the changes of X-ray diffraction patterns and FWHM obtained XRD measurement depended on calcination temperature. In FE-SEM analysis, particle size changed by quantity changes of Ti-alkokide.
Park, Tae-Eon;Hwang, Jun Yeon;Lim, Jin Seong;Yun, Young-Hoon
Journal of the Korean Crystal Growth and Crystal Technology
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v.26
no.5
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pp.188-192
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2016
In this work, the SiC powders were synthesized through the carbonized matter from the mixture of silica powder and rice husks. The SiC powders, obtained from the carbothermal reduction reaction of silica and carbonized rice husks, were investigated by XRD patterns, XPS, FE-SEM and FE-TEM. In the XRD patterns, the specimens showed clearly very high strong peak of (111) plane near $35^{\circ}$ as well as weak (220) and (311) peak respectively at approximately $60^{\circ}$ and $72^{\circ}$. Under Ar atmosphere, the power synthesized from the mixture (in case of mixing ratio, 6 : 4) of carbonized rice husks and silica showed mainly cubic SiC crystalline phase showing relatively lower ratio of hexagonal phase without residual carbon in XRD pattern. In the TEM analysis, the specimen, synthesized from carbonized rice husks and silica with mixing ratio of 6 : 4 under Ar atmosphere, showed relatively fine particles under $5{\mu}m$ and a crystalline SiC phase of (100) diffraction pattern.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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