In this work, radio frequency magnetron sputtering was used to deposit zinc selenide thin films on p-type silicon (100) wafers and glass substrates in a high vacuum chamber. Several surface characterization instruments were implemented to study the thin films. X-ray photoelectron spectroscopy results revealed that oxidized Zn bound to Se (Zn-Se) at 1022.7 ± 0.1 eV becomes the dominant oxidized species when Se concentration exceeds 70%. Scanning electron microscopy coupled with energy dispersive spectroscopy showed that incorporating Se in Zn thin films will lead to formation of ZnSe grains on the surface. Contact angle measurements indicated that ZnSe-60 exhibited the lowest total surface free energy value of 24.94 mN/m. Lastly, ultraviolet-visible spectrophotometry and ultraviolet photoelectron spectroscopy data evinced that the energy band gap gradually increases with increasing Se concentration with ZnSe-70 having the highest work function value of 4.91 eV.
본 연구에서는 리튬이온배터리용 고용량 음극활물질인 실리콘의 부피팽창을 완화하고 사이클 안정성을 향상시키기 위해 SiOx@C 복합소재를 제조하였다. Stӧber 법을 통해 입자 크기가 각각 100, 200, 500 nm인 SiO2를 합성하였고, 마그네슘 열환원을 통해 SiOx (0≤x≤2)를 제조하였다. 그 후 SiOx에 PVC를 탄화시켜 SiOx와 C의 비율에 따라 SiOx@C 음극활물질을 합성하였다. 제조된 SiOx와 SiOx@C 음극활물질의 물리적 특성은 XRD, SEM, TGA, 라만분광법, XPS, BET를 사용해 분석하였다. 그리고 사이클 테스트, 율속특성, CV, EIS 테스트를 통해 전기화학적 특성을 조사하였다. 입자 크기가 가장 작은 100 nm SiOx에 SiOx:C=70:30으로 탄소를 코팅하여 제조된 SiOx@C-7030은 100 사이클에서 1055 mAh/g의 방전용량과 81.9%의 용량을 유지하여 가장 우수한 전기화학적 특성을 보여주었다. 이는 SiOx 음극활물질 입자의 크기를 줄이고, 탄소를 코팅하여 사이클 안정성을 향상시킬 수 있다는 것을 의미한다.
Magnetic CoW thin film alloys were electrodeposited from citrate baths to investigate the resulting microstructure and magnetic properties. Deposit tungsten (W) content in the films electrodeposited at $70^{\circ}C$ were independent of current density, while coercivity decreased from hard $(H_{c,//}\~150\;Oe\;and\;H_{c.{\bot}}\;\~240\;Oe)$ to soft magnetic properties $(H_{c,//}\~20\;Oe\;and\;H_{c.{\bot}}\;\~30\;Oe)$ with increasing current densities from $10\;to\;100mA{\cdot}cm^2$, with deposit W content $(\~40\%)$ relatively unaffected by the applied current density. X-ray diffraction analysis indicated that hcp $Co_3W$ phases [(200), (201) and (220) planes] in the CoW films electrodeposited at $70^{\circ}C\;and\;10mA{\cdot}cm^{-2}$ were dominant, whereas amorphous CoW phases with small amount of hcp $Co_3W$ [(002) planes] were dominant with deposition at $70^{\circ}C\;and\;100mA{\cdot}cm^{-2}$. At intermediate current densities $(25\;and\;50mA{\cdot}cm^{-2}),\;hop\;Co_3W$ phases [(200), (002), (201) and (220)] were observed. The average grain size was measured to be 30 nm from Sheller formula. It is suggested that the change of the deposit coercivities in the CoW thin films electrodeposited at $70^{\circ}C$ is attributed to the change of microstructures with varying the current density. Nanostructured $Co_3W/amorphous-CoW$ multilayers were fabricated by alternating current density between 10 and $100 mA{\cdot}cm^{-2}$, varying the individual layer thickness. The magnetic properties of $Co_3W/amorphous-CoW$ multilayers were strongly dependent on the thickness of the alternating hard and soft magnetic thin films. The nanostructured $Co_3W/amorphous-CoW$ multilayers exhibited a shift from low to high coercivities suggesting a strong coupling effect.
In the present paper, a new type of DC arc plasma torch is disclosed. The principles of the new magnetic and fluid dynamic controlled large orifice long discharge tunnel plasma torch is discussed. Two series of DC Plasma Jet diamond film deposition equipment have been developed. The 20kW Jet equipped with a $\Phi$70 mm orifice torch is capable of deposition diamond films at a growth rate as high as 40$\mu\textrm{m}$/h over a substrate area of $\Phi$65 mm. The 100kW high power Jet which is newly developed based on the experience of the low power model is equipped with a $\Phi$120 mm orifice torch, and is capable of depositing diamond films over a substrate area of $\Phi$110 mm at growth rate as high as 40 $\mu\textrm{m}$/h, and can be operated at gas recycling mode, which allows 95% of the gases be recycled. It is demonstrated that the new type DC plasma torch can be easily scaled up to even higher power Jet. It is estimated that even by the 100kW Jet, the cost for tool grade diamond films can be as low as less than $4/carat.
한국초전도학회 1999년도 High Temperature Superconductivity Vol.IX
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pp.67-70
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1999
We have fabricated YBa$_2Cu_3O_{7-x}$ thin films by cylindrical hollow cathode sputtering. For 2 inch diameter of MgO (100) substrate, we obtained the zero resistance temperature in the range from 83 K to 86 K and thickness uniformity better than 5 % over the whole area. Also, the average deposition rate was 100nm/h which is higher than 10 times compare to conventional off-axis sputtering method. These results indicate that cylindrical hollow cathode sputtering seems to have unique capabilities for high rate and homogeneous deposition of large area thin film.
To survey the intensities of housewives perception on savings-goods and to suggest them some guiding direction for reasonable saving behavior, a total of 392 questionaires was distributed to housewives in Seoul. The data were analyzed in terms of frequency, percentage, x2-test, F-test and Pearson's Correlation. The Results were as follows; 1) Housewives awareness degree on savings-goods scored total average marks of 37/100 which was in the relatively low level. 2) Housewives interest degree on saving-goods scored total average marks of 70/100 which was in the fairly high level. 3) The correlation between awareness and interest degree on savings-goods was very highly significant. 4) The major information source of savings-goods was from pamphlet, TV, radio and newspaper, namely, public information. 5) Housewives perception of public information on savings-goods was very weak.
Ni nanoparticles-$TiO_2$ nanotube arrays (Ni/$TiO_2NTs$) composites were prepared by pulsed electrodeposition method and subsequently characterized by means of field emission scanning electron microscopy (FESEM), X-ray diffraction (XRD) and energy dispersive X-ray spectroscopy (EDX). The FESEM results showed that highly dispersed Ni nanoparticles were not only loaded on the top of the $TiO_2NTs$ but also within the tubular structure, and the particle size of Ni prepared at different current amplitude (100, 200 and 300 $mA{\cdot}cm^{-2}$) was in the range of 15 to 70 nm. The electrochemical studies indicated that Ni nanoparticles loaded on the highly ordered $TiO_2NTs$ are readily accessible for electrochemical reactions, which improve the efficiency of the Ni nanoparticles and $TiO_2NTs$. A maximum specific capacitance (27.3 $mF.cm^{-2}$) was obtained on the Ni/$TiO_2NTs$ composite electrode that prepared at a current of 200 $mA.cm^{-2}$, and the electrode also exhibited excellent electrochemical stability.
본 논문에서는 Al-1%Si 박막금속배선에서 국부적 전류 크라우딩 효과 및 박막금속배선의 길이 에 따른 수명의 변화, 그리고 이층금속배선에서의 전계효과를 연구하였다. 전류 크라우딩 효과에 으한 박막금속 배선의 수명감소를 관찰하기 위해 넓은 도선과 좁은 도선이 반복적으로 연결되어 있는 구조의 금속배선과 톱니 형태의 금속배선을 제작하였다. 길이에 따른 박막금속배선의 수명변화를 연구하기 위 해 100, 400, 800, 1200 그리고 $1600mu$m의 길이를 갖는$ 3\mu$m 선폭의 박막금속배선을 각각 제작하였다. Al-1%Si 박막금속배선에 인가된 전류밀도는 3.5~4.5x106 A/cm2이었다. 이층금속배선에서 전계에 의한 수명의 변화를 살펴보기 위해 두 금속 배선 사이에 0, $\pm$30, $\pm$60V의 전계를 인가하고 상층 금속배선에 1.75x106 A/cm2 전류 밀도를 조사하였으며 발생한 결함 현상에 대한 분석은 광학현미경과 주사전자현미 경으로 관찰하였다. 주요 결론으로는 박막금속배선에서 전류 크라우딩 효과는 수명의 감소를 초래하며 박막금속배선의 길이가 증가함에 따라 수명은 급격하게 감소하다가 포화된다. 중첩된 이층금속배선에서 는 전계효과에 의한 금속배선의 수명감소현상이 가속된다.
This work describes the effect of the number of roll pressing and the composition of carbon black on the electric and mechanical properties of carbon-PTFE electrode, in which composition is MSP20 : carbon black : $PTFE\;=\;95-X\;:\;X\;:\;5wt.\%$. It was found that the best electric and mechanical properties were obtained for sheet electrode roll pressed about 15 times and for sheet electrode, in which composition is MSP20 : carton black $PTFE\;=\;80\;:\;15\;:\;5wt.\%$. These behaviors could be explained by the network structure of PTFE fibrils and conducting Paths linked with carbon blacks, respectively. On the other hand, cell capacitor using the sheet electrode with $15wt.\%$ of carbon black attached on aluminum current collector with the electric conductive adhesive, in composition is carbon black $CMC\;=\;70\;:\;30wt.\%$, has exhibited the best rate capability between $0.5\;mA/cm^2\~100\;mA/cm^2$ current density and the lowest ESR.
This work describes the effect of the number of roll pressing and the composition of carbon black on the electric and mechanical properties of carbon-PTFE electrode, in which composition is MSP20 : carbon black: PTFE = 95-X : X : 5 wt.%. It was found that the best electric and mechanical properties were obtained for sheet electrode roll pressed about 15 times and for sheet electrode, in which composition is MSP20 carbon black : PTFE = 80 : 15 : 5 wt%. These behaviors could be explained by the network structure of PTFE fibrils and conducting paths linked with carbon blacks, respectively. On the other hand, cell capacitor using the sheet electrode with 15 wt.% of carbon black attached on aluminum current collector with the electric conductive adhesive, in composition is carbon black : CMC = 70 : 30 wt.%, has exhibited the best rate capability between 0.5 $mA/cm^2$ ~ 100 $mA/cm^2$ current density and the lowest ESR.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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