3D package의 SiP에서 구리의 via filling은 매우 중요한 사항으로 package밀도가 높아짐에 따라 via의 크기가 줄어들며 전기도금법을 이용한 via filling이 연구되어왔다. Via filling시 via 내부에 결함이 발생하기 쉬운데 전해액 내에 억제제, 가속제등 첨가제를 첨가하고 펄스-역펄스(PRC)의 전류파형을 인가하여 결함이 없는 via의 filling이 가능하다. 본 연구에서는 건식 식각 방법 중 하나인 DRIE법을 이용하여 깊이 $100{\sim}190\;{\mu}m$, 직경이 각각 $50{\mu}m,\;20{\mu}m$인 2가지 형태의 via을 형성하였다. DRIE로 via가 형성된 Si wafer위에 IMP System으로 Cu의 Si으로 확산을 막기 위한 Ta층과 전해도금의 씨앗층인 Cu층을 형성하였다. Via시편은 직류, 펄스-역펄스의 전류 파형과 억제제, 가속제, 억제제의 첨가제를 모두 사용하여 filling을 시도하였고, 공정 후 via의 단면을 경면 가공하여 SEM으로 관찰하였다.
안성천 수계 하류부 국가하천구간내 15개 지점에 대해 하상퇴적층의 수리전도도 측정 시험을 수행하였다. 각 지점별로 하상퇴적층에 시피지미터와 피조미터를 설치하여 하천수-지하수 상호교환량과 수리경사를 측정하고 이를 Darcy 공식에 대입하여 연직방향 수리전도도를 산정하였다. 하천수-지하수 교환량은 $4.08{\times}10^{-6}{\sim}1.49{\times}10^{-5}m/s$, 연직방향 수리경사는 0.005에서 0.145로 측정되었고, 하상수리전도도는 $7.80{\times}10^{-5}{\sim}1.58{\times}10^{-3}m/s$로 산정되어 하천구간별, 지점별로 하천과 대수층간에 연결성의 큰 차이를 나타내었다. 하천과 대수층간의 수리적 상호연결성을 정량적으로 파악하고 지하수개발 이용이 하천수량에 미치는 영향을 평가하기 위해서는 하상퇴적층 수리전도도와 같이 하천과 대수층간 연결부의 수리지질학적 조사가 필요하며, 현장시험 및 분석 방법에 대한 기술적 향상이 이뤄져야 할 것이다.
The purpose of this study was to examine the characteristics of change in the composition of indoor spaces in Korean-style houses which have been repaired and improved extensively through the 'Bukchon Improvement Project' and are being utilized for public purposes. For this, we conducted a field survey through visiting the house sites from the 5th to the 26th of May, 2006. Conclusions drawn from this study are as follows. Bukchon Korean-style houses maintain centripetal space composition, in which the rooms surround the court. Centering on the court, the hierarchy of spaces is determined, and the hierarchy of spaces and the composition of internal layout are restructured centering on the court and the main hall without change in direction and position. The main hall is sometimes converted to a room, but it maintains an open space relation with other spaces centering on the court, and therefore, even after its use has been changed, it is still the most Korean-style space. In addition, with floor heating, the common sitting-style life is maintained continuously although the rooms have been converted and standing-style furniture is used. In this way, publicly promoted policies for Korean-style houses are allowed within the limit that the appearance is maintained and the internal spaces do not change the overall structure. However, in order to maintain the tradition of Korean-style houses and utilize them as various spaces, the following supplementations are necessary. First, the main hall and the inner court of a Koreanstyle house should be utilized actively. The court sometimes keeps individuals' privacy or expands the space by extending the view to outdoor spaces, and is sometimes used as an open space through interconnection between the inside and the outside of the house. Second, consideration should be given to vertical spaces. Horizontal expansion causes a change of floor plan. Thus, space should be secured using various cross-sectional changes, such as a kitchen and a loft over the kitchen. Third, structure should be changeable in order to adjust the size of spaces. Thus, through research on traditional windows, we need to develop changeable walls that can be installed and removed easily according to the use of spaces.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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