A STUDY ON THE SPATIAL LIGHT MODULATOR WITH PISTON PLUS TILT MODE OPERATION USING SURFACE MICROMACHINING TECHNOLOGY (표면 미세 가공 기술을 이용한 상하운동 및 회전운동을 하는 광 변조기에 관한 연구)
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- The Transactions of the Korean Institute of Electrical Engineers C
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- v.49 no.2
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- pp.140-148
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- 2000