Tolerance design of position accuracy of optical components for micro optical system

마이크로 광 시스템 구현을 위한 광학 부품의 위치 정밀도 허용오차 설계

  • 이재영 (인하대학교 정보통신공학부) ;
  • 황병철 (인하대학교 정보통신공학) ;
  • 박헌용 (인하대학교 정보통신공학) ;
  • 박세근 (인하대학교 정보통신공학) ;
  • 이승걸 (인하대학교 정보통신공학) ;
  • 오범환 (인하대학교 정보통신공학) ;
  • 이일항 (인하대학교 정보통신공학) ;
  • 최두선 (한국기계연구원 나노 공정그룹)
  • Published : 2004.07.01

Abstract

In order to set up the design of micro optical bench, optical coupling efficiencies of two sets of test benches are calculated. Simple linear connections of incoming and outgoing optical fibers with and without ball lenses are designed. Positional errors that are possible in actual fabrication processes we considered in the calculations and their tolerances are determined from -3 ㏈ conditions. For a simple fiber-to-fiber connection, the lateral misalignment should be limited to 2.7 um and tilt error 5.8o. In case of the fiber-to-fiber with ball lens, the working distance between fibers can be extended over 60 um. The optical coupling efficiency depends strongly on the positional errors of ball lenses along the optical axis, and it is also found that the lateral and vertical positional errors should be considered simultaneously in order to keep the high coupling efficiency.

미세 광학 벤치의 설계를 위해서 두 가지 테스트 벤치에 대해 결합효율을 계산하였다. 광섬유로 들어오고 나가게 되는 빛을 볼 렌즈를 통과한 것과 그렇지 않은 것으로 설계하였다. 미세 광학 벤치의 실제 제작 과정에서 발생할 수 있는 광소자들의 위치 에러를 고려하여 시뮬레이션을 하였고, 그것들의 허용오차를 -3 ㏈ 조건으로 정하였다. 볼 렌즈가 없는 fiber-to-fiber에서는 lateral misalignment가 2.7 um 그리고 tilt 에러가 5.8o 이내로 나타났다. 각각의 광섬유 앞단에 광의 집속을 위해 볼 렌즈가 놓여지면 working distance는 60 um로 확장되어지나, 각각의 광소자들이 놓여진 위치 파라미터 사이에 보다 강한 교호작용이 존재하기 때문에 tolerance design을 위해 교호작용을 함께 고려해야 한다.

Keywords

References

  1. M.C. Wu, L.Y. Lin, S.S. Lee, and K.S.J. Pister, 'Micromachined free-space integrated micro-optics,' Sensor and Actuator A, vol. 50, p.127, 1995 https://doi.org/10.1016/0924-4247(95)01057-2
  2. L.Y. Lin, S.S. Lee, K.S.J. Pister, and M.C. Wu, 'Micro-machined three-dimensional micro-optics for intergrated free-space optical system,' IEEE Photonics Tech. Lett., vol. 6, no. 12, p.1445, 1994 https://doi.org/10.1109/68.392216
  3. E. Bisaillon, D.F. Brosseau, T. Yamamoto, M. Mony, E. Bernier, D. Goodwill, D.V. Plant, and A.G. Kirk, 'Free-space optical link with spatial redundancy for misalignment tolerance,' IEEE Photonics Tech. Lett., vol. 14, no. 2, p.242, 2002 https://doi.org/10.1109/68.980535
  4. M.H. Choi, H.J. Koh, E.S. Yoon, K.C. Shin, and K.C. Song, 'Self-aligning silicon groove technology platform for the low cost optical module,' 49th Electronic Components and Technology Conference, p.1140, 1999 https://doi.org/10.1109/ECTC.1999.776334
  5. R. Cann, P. Harrison, and D. Spear, 'Use of silicon vee groove technology in the design and volume manufacture of optical devices,' SPIE, vol. 3004, p.170, 1997 https://doi.org/10.1117/12.273831
  6. S.S. Lee, L.S. Huang, C.J. Kim, and M.C. Wu, 'Free-space fiber-optic switches based on MEMS vertical torsion mirrors,' J. Lightwave Technol., vol. 17, p.7, 1999 https://doi.org/10.1109/50.737414
  7. 박헌용, 이재영, 황병철, 김명진, 이승걸, 오범환, 이일항, 박세근, '광통신용 마이크로 광소자 분석에서 입력광원 모델링 방식에 따른 영향,' Proceedings of photonics conference, p.595, 2002
  8. S.G. Lee 'User manual for the micro-MEMS simulator,' Inha university, Inchon, 2002
  9. B.E.A. Saleh and M.C. L Teich, 'Fundamental of Photonics,' John Wiley & Sons, Inc., New York, 1991
  10. J.V. Collins, I.F. Lealman, P.J. Fiddyment, C.A. Jones, P.G. Waller, L.J. Rivers, K. Cooper, S.D. Perrin, M.W. Nield, and M.J. Harlow, 'Passive alignment of a tapered laser with more than 50% coupling efficiency,' Electron. Lett., vol. 31, no. 9, p.730, 1995 https://doi.org/10.1049/el:19950508