• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2009.02a
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• pp.170.2-170.2
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• 2009

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 1995.06a
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• pp.145-145
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• 1995

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2008.02a
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• pp.178-178
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• 2008

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2004.08a
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• pp.96-96
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• 2004

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2013.02a
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• pp.143-143
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• 2013

DC Arc Plasmatron을 이용하여 대기압에서 ZnO 박막을 형성하였다. Zinc acetyl acetonate, diethylzinc, zinc power들을 precursor로 사용하여 박막을 형성하였다. 100 nm/min에 달하는 박막 형성 속도가 관측되었다. 기판의 온도와 압력, 플라즈마트론의 파워 등에 따라 박막은 amorphous와 poly-crystal 상을 나타내었다. XRD, SEM, XPS 등을 이용하여 박막의 특성을 조사하였고, 박막의 전기전도도를 증가시키기 위하여 수소분위기에서의 annealing 효과를 조사하였다.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2008.08a
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• pp.283-283
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• 2008

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2008.08a
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• pp.131-131
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• 2008

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2001.07a
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• pp.63-63
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• 2001

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2001.07a
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• pp.120-120
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• 2001

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• 2007.08a
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• pp.286-286
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• 2007