• 한국진공학회:학술대회논문집
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• 한국진공학회 2013년도 제45회 하계 정기학술대회 초록집
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• pp.120.2-120.2
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• 2013

반도체 소자의 소형화로 신개념 화학증착공정 구현을 위한 장비와 화학증착소재의 개발이 활발이 연구되고 있다. 특히 증착소재의 물리적 화학적 특성을 파악하고 가장 적합한 소재를 선택하기 위한 연구도 변행되고 있다. 많은 연구자들이 소재 평가를 위해 가스크로마토그래피, 질량분석기, 적외선 분광기 등을 이용한 화학증착소재의 특성을 파악하기 위해 노력하고 있다. 하지만 실제 화학기상증착(Chemical Vapor Deposition)법과 원자층증착(Atomic Layer Deposition)법 공정에서 웨이퍼 표면에서의 화학증착소재의 흡착거동에 대한 연구는 거의 전무한 실정이다. 따라서 본 연구에서는 개선된 Attenuated Total Reflectance(ATR)분광계를 이용하여 표면에 흡착된 소재의 흡착거동에 대해 분석을 수행하였다. 평가에 사용된 화학증착소재는 C-Zr (Tris (dimethylamino) cyclopentadienyl zirconium)이며, Fourier Transform Infrared Spectroscopy (FT- IR)시스템 내에 설치된 ATR 분광계 표면에 흡착된 C-Zr 증착소재를 다양한 공정조건(온도 및 반응가스, 플라즈마 파워 등)에서의 거동 변화를 연구하였다.

• 대한방사선치료학회지
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• 제24권2호
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• pp.189-196
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• 2012

목 적: 광자선을 이용한 피부암 치료 시 피부 선량의 충족과 환자 셋업의 재현성 유지는 치료의 성과에 있어서 무엇보다 중요한 요소이다. 이에 본 연구는 기존에 시행해 오던 방식이었던 상품화된 고정기구 및 조직 등가물질의 조합에 의한 치료 방식이나 물 수조를 이용한 치료 시 발생하던 단점들을 보완하기 위해 Foxtail Millet Vacuum Cushion (FMVC)의 자체 제작을 실시하고 그 유용성을 검증하여 광자선 피부암 치료의 질을 높이고자 한다. 대상 및 방법: 자체 제작한 FMVC의 광자선 투과도에 따른 절대 선량 및 선량 분포를 분석하기 위해 조직과 밀도가 유사한 고체 팬톰과 볼루스에 대해 비교 측정하였다. 조사야 $10{\times}10$ cm에서 각 대상 물질의 1 cm, 2 cm, 3 cm 두께별로 6 MV 광자선 100 MU를 각각 3회씩 조사하였고, 중심점에 대한 절대 선량 측정을 실시하였으며, Mapcheck을 사용해 조사야 내의 선량 분포를 비교하였다. 선량 분포 비교의 오차범위는 ${\pm}3%$로 정하고 합격, 불합격 여부를 결정하여 FMVC와 비교 분석하였고, FMVC를 사용하여 CT 모의치료를 실시하여 종양용적(Gross Tumor Volume, GTV)에 대한 계획 선량 목표를 $100{\pm}5$%로 하여 방사선 치료 계획을 실시해 그 결과를 분석하였다. 결 과: 중심선에서 측정된 FMVC의 절대선량 평균값은 실험에 사용된 모든 두께에서 고체 팬톰과 볼루스에 대해 0.1~0.2% 내외의 차이를 보여 거의 일치함을 보였고, 선량 분포 역시 모든 두께에서 오차 범위 ${\pm}3%$에 대해 97% 이상 일치하였다. 또한 FMVC를 이용한 방사선 치료 계획 및 임상 적용에서 목표한 피부 선량 획득하였다. 결 론: FMVC는 기존 상용화된 조직 등가 물질과 광자선 투과도에 따른 절대 선량 및 선량 분포가 거의 동일하여 그 역할을 대체함에 있어 부족한 점이 없었다. FMVC는 방사선 치료 계획에서 원하는 피부 선량을 얻어낼 수 있고 기존 보조 기구의 기능을 유지할 수 있어 환자 자세의 재현성 유지와 볼루스의 역할을 동시에 수행할 수 있다. 또한 기존 수조를 통한 치료 방식의 단점인 물 엎질러짐으로 인한 장비 위해 가능성을 줄이고, 몸이 자유롭지 않은 환자의 치료 시 자세와 Gantry angle을 다양하게 구현할 수 있다. 따라서 FMVC는 광자선 피부암 치료 시 매우 유용할 것으로 사료된다.

• Applied Science and Convergence Technology
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• 제24권4호
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• pp.96-101
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• 2015

Quantitative evaluation of photocatalytic activity of oxide nanoparticles in aqueous solution is quite challenging in that the kinetic reaction rate is determined by a complicated interplay among various limiting factors such as light scattering and absorption, diffusion and adsorption of reactants in condensed liquid phase, photoexcited charge separation and recombination rate, and the exact nature of active sites determined by detailed morphology and crystallinity of nanocrystals. Here, we present our simple experimental results showing that the kinetic regime of a typical photocatalytic degradation experiment over UV-irradiated $TiO_2$ nanoparticles in aqueous solution is in that dominated by the photoactivity of $TiO_2$ and its concentration. This result lays a firm ground of using the measured kinetic reaction rate in evaluating photocatalytic efficiency of oxide nanocrystals under evaluation.

• 한국진공학회지
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• 제19권3호
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• pp.169-176
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• 2010

크라이오 펌프는 크기에 비해 상대적으로 높은 배기속도를 나타내어 경제적이지만 흡착 패널의 온도에 민감하게 반응하는 배기성능 측면에서 볼 때 대유량 및 펄스 기체 부하에 대한 성능 유지 및 회복능력은 의문의 여지가 있다. 크라이오 펌프의 기체부하에 대한 공식적인 성능지표로는 최대배기량(max. throughput)과 교차(crossover)값이 있고 공식적인 것은 아니지만 펌프 회사에서 제공하는 사양에는 대부분 아르곤 회복시간(Ar recovery time)이라는 지표가 들어 있으며 사양서에 제시하지는 않지만 걸프(gulp) 시험도 통상 시행한다. 이들은 겉보기에 서로 다르지만 한편으로는 서로 중복되거나 연관성을 가지고 있다. 따라서 실용적인 면에서 절차들을 비교, 검토 및 개선하고 때에 따라서는 적절히 결합할 수 있는 방안에 대해 모색하려고 한다.

• 한국진공학회지
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• 제8권4A호
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• pp.445-449
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• 1999

We studied the properties of the InAs epitaxial layers grown of (100)-oriented GaAs ($2^{\circ}$tilted toward[011]) by molecular beam epitaxy. From DCX (double-crystal x0ray), the better crystal quality was shown in InAs epitaxial layers on about 2500$\AA$ GaAs epitaxial layers on GaAs, we obtained the high mobility of InAs epitaxy in As/In BEP ratio (1.2~2.0) from Hall effect measurement. The electron mobility increased as electron concentration increases, until Si cell temperature $960^{\circ}C$$(N_D=2.21\times10^{-17}\textrm{cm}^{-3})$. The mobility decreases as the Si cell temperature increases, at the temperature over $960^{\circ}C$. We obtained the high mobility (1.10$\times$104cm2/V.s) at Si electron concentration of $N_D=2.21\times10^{-17}\textrm{cm}^{-3}$.

• 한국식품과학회지
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• 제22권2호
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• pp.150-154
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• 1990

취반과 살균을 단일화하는 레토르트 쌀밥 제조방법개발을 위해 원료쌀과 밥짓는 물을 소정량 함께 충전 밀봉한 후 살균온도$(110^{\circ}C,\;120^{\circ}C,\;130^{\circ}C)$ 및 포장재내 공기량(함기 ; 31ml, 반진공, 13ml, 진공; -0.7ml)을 달리하여 시험하였다. 수분 15.8%인 원료 쌀과 물의 비율을 1:1.1로 하여 레토르트 살균한 경우 쌀밥의 수분은 59.0-63.3%이었다. 내용 쌀밥의 층별 수분분포가 가장 균일한 조건은 $130^{\circ}C$ 진공포장이었고, 가열온도가 낮고 함기량이 많을수록 층별 차이는 컸다. 퍼짐도는 일반취반밥에 비하여 켰으며, 층별로는 상층이 낮았고 하층이 컸으며. 파우치내 잔존공기량이 많을수록 퍼짐도가 적었다. 층간의 차이는 가열온도가 높고 잔존공기량이 적을수록 적었다. ${\alpha}$화도는 포장방법에는 영향을 거의 받지 않았으나 살균온도가 높을수록 ${\alpha}$화도가 증가하였다. 색택은 가열온도가 높고 잔존 공기량이 적을수록 백색도가 높았으며, 가장 우수한 것은 $130^{\circ}C$ 진공포장 제품이었다. 밥알의 온전도는 함기포장인 것이 진공포장보다 월등히 높았다. 기호도는 진공포장의 경우가 색택과 퍼짐성에 있어서는 좋은 평가를 받았으나 외관에서는 밥알이 대부분 찌그러지고 떡모양이 되어 좋지 않았다. 함기포장의 정우는 색택에서 다소 불량하나 온전밥알의 유지상태가 좋아 조직감에서 좋은 평가를 받았다. 기호도 검사에서 가장 좋은 평가를 받은 것은 $130^{\circ}C$ 반진공 제품이었다.

• 한국정보시스템학회지:정보시스템연구
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• 제32권3호
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• pp.133-150
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• 2023

Purpose This study aims to develop classification models using a decision tree algorithm to identify core keywords and rules influencing online consumer review evaluations for the robot vacuum cleaner on Amazon.com. The difference from previous studies is that we analyze core keywords that affect the evaluation results by dividing the subjects that evaluate online consumer reviews into self-evaluation (star ratings) and peer evaluation (helpfulness votes). We investigate whether the core keywords influencing star ratings and helpfulness votes vary across different products and whether there is a similarity in the core keywords related to star ratings or helpfulness votes across all products. Design/methodology/approach We used random under-sampling to balance the dataset. We progressively removed independent variables based on decreasing importance through backwards elimination to evaluate the classification model's performance. As a result, we identified classification models that best predict star ratings and helpfulness votes for each product's online consumer reviews. Findings We have identified that the core keywords influencing self-evaluation and peer evaluation vary across different products, and even for the same model or features, the core keywords are not consistent. Therefore, companies' producers and marketing managers need to analyze the core keywords of each product to highlight the advantages and prepare customized strategies that compensate for the shortcomings.

• 대한토목학회논문집
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• 제38권3호
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• pp.377-385
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• 2018

튜브 내부의 공기저항을 최소화해 운송체의 빠른 이동을 가능하게 해주는 초고속 진공튜브 시스템(Super-speed vacuum tube system)은 고효율 친환경성으로 인해 차세대 운송시스템으로 주목받고 있다. 초고속 진공튜브 시스템은 외부에 비해 튜브 내부의 압력을 매우 낮게 유지할 필요가 있으므로 기밀성의 확보가 무엇보다 중요한 설계 요건이라 할 수 있다. 본 연구에서는 균열의 발생이 진공튜브 구조물 내부의 압력 변화에 어떠한 영향을 미치는지 고찰하기 위해 일련의 콘크리트 튜브 구조물에 대해 균열에 따른 내부 압력의 변화를 측정하는 실험을 실시하였다. 실험결과 균열의 길이 또는 균열폭에 대한 정보만으로는 시스템의 기밀성에 영향을 주는 균열의 성질을 표현하기에 부족한 것으로 나타났으며, 반면에 발생된 구조물의 변위와 등가투기계수와의 관계는 상대적으로 높은 상관관계를 가지는 것으로 나타났다. 이와 같은 실험 결과를 바탕으로 설계 단계에서 시스템의 기밀성을 예측하기 위한 향후 연구방향을 제시하였다.

• 한국진공학회지
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• 제21권6호
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• pp.295-300
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• 2012

지름이 각각 10 mm와 20 mm인 피스톤과 진공장치를 이용해서 발생된 유량과 이온게이지의 압력을 측정하여 비교하는 방법으로 개발 중인 오일유량계의 성능을 예비 평가하였다. 큰 피스톤의 유량 발생 범위는 $1{\times}10^{-1}Pa{\cdot}L/s{\sim}1.2Pa{\cdot}L/s$이었고 작은 피스톤의 유량발생 범위는 $5.3{\times}10^{-1}Pa{\cdot}L/s{\sim}1.05Pa{\cdot}L/s$이었으며, 이 구간에서의 반복성과 직선성은 비교적 좋았다. 개발 중인 오일유량계는 국가 리크표준기로서 앞으로 표준리크를 교정하는데 활용할 계획이다.

• 한국축산식품학회지
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• 제38권3호
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• pp.506-514
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• 2018

The aim of this study was to evaluate the effects of marinade under different conditions (temperature and vacuum) on pork ham cooked by the sous-vide method ($61^{\circ}C$ and 98.81% vacuum for 45 min). Control group was non-marinade pork ham. The samples were marinated under 1 of 4 conditions: $4^{\circ}C$, 98.81% vacuum (treatment group $T_1$); $4^{\circ}C$, atmospheric pressure ($T_2$); $20^{\circ}C$, 98.81% vacuum ($T_3$); and $20^{\circ}C$, atmospheric pressure ($T_4$). The pH value was higher in the control (6.02) than in the treatment groups (4.30-4.42, p<0.001). Shear force was the lowest in the control: 18.14 N. Lightness and redness values were higher in the control (p<0.001). The chroma value significantly decreased from 12.74 to 7.55 with marinade (p<0.001). Total viable and coliform counts of raw meat were 84.6 and 3.67 Log CFU/g, respectively. After the marinade, the total viable count decreased to 3.00-14.67 Log CFU/g (p<0.001). Coliforms were not detected. After sous-vide cooking, no viable microorganisms were detected in any group. Treatment groups generally showed high scores on consumer preference. The marinade and sous-vide cooking had a positive effect on sensory characteristics. They provided safe conditions for sanitary evaluation. As a result, it appears that marinade at refrigeration temperature is better than that at room temperature.