Abstract
We preliminarily evaluated the performance of a flowmeter by the measurement of the pressure of a ionization gauge and the produced throughput (Q) using a vacuum system and pistons with the radius of 10 mm and 20 mm. The throughput range with the later piston was from $1{\times}10^{-1}Pa{\cdot}L/s$ to $1.2Pa{\cdot}L/s$ and that with the former piston was from $5.3{\times}10^{-1}Pa{\cdot}L/s$ to $1.05Pa{\cdot}L/s$. In these ranges, both pistons showed good repeatability and linearity. The developed oil flowmeter as the leak standard will be used in the calibration of standard leak.
지름이 각각 10 mm와 20 mm인 피스톤과 진공장치를 이용해서 발생된 유량과 이온게이지의 압력을 측정하여 비교하는 방법으로 개발 중인 오일유량계의 성능을 예비 평가하였다. 큰 피스톤의 유량 발생 범위는 $1{\times}10^{-1}Pa{\cdot}L/s{\sim}1.2Pa{\cdot}L/s$이었고 작은 피스톤의 유량발생 범위는 $5.3{\times}10^{-1}Pa{\cdot}L/s{\sim}1.05Pa{\cdot}L/s$이었으며, 이 구간에서의 반복성과 직선성은 비교적 좋았다. 개발 중인 오일유량계는 국가 리크표준기로서 앞으로 표준리크를 교정하는데 활용할 계획이다.
