• Journal of Welding and Joining
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• 제23권2호
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• pp.59-65
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• 2005

A leaky surface acoustic wave (LSAW) velocity was measured using a scanning acoustic microscope on the ceramic/metal interface in order to investigate material properties. The inverse Fourier transform (IFFT) of the V(z) curve contains the reflectance function of a liquid-specimen interface. So, the longitudinal, transverse, and Rayleigh wave velocities for each layer are obtained by the inversion of the V(z) curve at the same time. This paper contains mainly the experimental procedure for measurements of the LSAW velocity, and the results obtained for the velocity variation of individual layer after the thermal shock. It is shown that this method is useful in measuring the material properties under external stress.

• 비파괴검사학회지
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• 제24권5호
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• pp.518-524
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• 2004

V(z)곡선법을 이용한 코발트기 초내열합금강의 열화도 평가 유용성 유무를 고주파 초음파 탐촉자를 이용하여 실험적으로 검증하였다. 코발트기 초내열 합금이 고온에서 장시간 노출되었을 때 일어나는 미세조직의 변화를 모사하기 위해서 인공열화를 실시하였다. 여로하에 미치는 초음파 음속의 영향을 고찰하고자 10 MHz를 이용하여 펄스-에코법으로 종파의 음속을 측정하고 200 MHz를 사용하여 V(z)곡선법으로 누설탄성표면파의 음속을 측정하였다. 두 초음파의 음속은 열화시간에 따라서 감소하였다 더욱이, 저주파수 종파의 음속변화는 거의 없었지만, 고주파수 누설탄성표면파의 음속변화는 열화시간에 따라서 최대 4.7%의 변화를 나타내었다. 열화에 따른 경도의 변화와 누설탄성표면파의 음속 변화는 양호한 상관관계를 나타내었다. 따라서 열화도 평가에 고주파 탐촉자를 이용한 초음파 현미경의 V(z)곡선법이 유용함을 알 수 있었다.

• 비파괴검사학회지
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• 제34권2호
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• pp.171-175
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• 2014

본 연구에서는 박막 표면을 따라 전파하는 표면파의 속도 분산성을 이용하여 박막의 두께를 비파괴적으로 측정할 수 있는 기법을 제안하였다. 표면파의 분산성을 이용하여 박막의 두께를 측정하기 위하여 전자빔증착법(E-beam evaporation)을 이용하여 Si(100) 웨이퍼 위에 니켈의 증착시간을 제어함으로서 두께가 다른 니켈 박막시험편을 제작하였다. 제작된 시험편의 실제 증착된 박막의 두께를 확인하기 위하여 SEM(scanning electron microscope)을 이용하여 박막의 단면사진을 촬영하여 두께를 확인하였다. 그 후에 두께가 다른 시험편에서의 표면파의 속도를 초음파현미경(scanning acoustic microscope)의 V(z) 곡선법을 이용하여 표면파의 속도를 측정하고 실제 측정된 두께와 표면파 속도와의 상관성을 확인하였다. 박막의 두께가 증가함에 따라 표면파의 속도는 감소하는 경향성을 나타내었다. 결론적으로 본 연구에서 제안한 표면파의 속도 분산성을 이용하여 나노 스케일 니켈 박막의 두께를 측정하는 기법이 가능성이 있음을 확인하였다.

• 비파괴검사학회지
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• 제32권4호
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• pp.393-400
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• 2012

최근 나노 박막은 MEMS/NEMS, 광학 코팅, 반도체 산업 등 다양한 분야에서 사용이 되고 있다. 박막은 마모, 침식, 부식, 고온 산화를 방지하기 위한 목적으로 사용될 뿐 아니라 특성화된 자기, 유전적 특성을 만들기 위한 목적으로 사용된다. 많은 연구자들이 이러한 박막 구조의 특성(밀도, 입자 크기, 탄성 특성, 필름/기지 계면의 특성)을 평가하기 위하여 많은 연구를 진행하고 있다. 이들 중에 박막과 기지 사이의 접합 특성을 평가하는 것이 많은 연구자들의 주 관심사가 되어 왔다. 본 연구에서는 나노 박막의 접합 특성을 평가하기 위하여 각기 다른 접합 특성을 가지는 폴리머 박막 시험편을 제작하였다. 제작된 시험편의 접합 특성을 측정하기 위하여 초음파현미경의 V(z) 곡선법을 이용하여 표면파의 속도를 측정하였다. 또한 계면을 포함하는 시험편의 표면을 전파하는 표면파의 속도와 접합력의 상관관계를 확인하기 위해 나노 스크래치 시험을 적용하였다. 그 결과 초음파현미경을 이용하여 측정된 표면파의 속도와 나노스크래치 시험을 이용한 임계하중이 일치하는 경향성을 나타내었다. 결론적으로 초음파현미경의 V(z) 곡선법은 나노 스케일 박막 계면에서의 접합 상태를 평가할 수 있는 기법으로 그 가능성을 나타내었다.

• 한국생산제조학회지
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• 제21권2호
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• pp.267-275
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• 2012

Austenite stainless steel 304 has properties of high resistance to corrosion and temperature changes. Therefore, this material is widely used in various of industries. However, when the material is subjected to heating and cooling cycles the forming accuracy, for example, the right angle associated with a sharp bend such as corner is lost. This phenomenon is caused by the reversion of the deformation-induced martensite into austenite when the temperature in increased. This result in misfit of a structure or an assembly, and an increase in residual stress. Hence, it is important to understand this process. In this study, to evaluate the mechanical behavior of the deformation-induced martensite and reversed austenite, a scanning acoustic spectroscope including the capability of obtaining both phase and amplitude of the ultrasonic wave (i.e., the complex V(z) curve method) was used. Then, the velocities of the SAW propagating within the specimens made in different conditions were measured. The experimental differences of the SAW velocities obtained in this experiment were ranging from 2,750 m/s to 2,850 m/s, and the theoretical difference was 3.6% under the assumption that the SAW velocity was 2,800 m/s. The error became smaller as the martensite content was increased. Therefore, the SAW velocity may be a probe to estimate the marternsite content.

• 분석과학
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• 제17권2호
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• pp.117-129
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• 2004

본 연구에서는 극성이 높고, 휘발성이 낮아 GC나 GC/MS로 분석이 곤란한 환경매체 중의 아미트롤을 LC/ESI/MS를 사용하여 분석한 결과 다음과 같은 결론을 얻었다. 분자량이 84인 아미트롤은 LC/ESI/MS 방식에서는 m/z 85인$(M+H)^+$형태로 나타났으며, 피크강도는 30V에서 (SIR mode) 최대를 나타내었다. 질량 스펙트럼 비를 정성확인에 적용하기 위하여 실험한 결과 아미트롤은 m/z 85 와 m/z 58 이온으로 나타났으며, 50V에서 이 비는 1 : 7.03~7.58 로 나타났다. 동위원소 비를 이용한 정성확인은 isotope MS나 HR/MS가 주로 사용되나, 본 연구에서는 정성확인을 위한 보조수단으로 이용하고자 실험한 결과 아미트롤의 동위원소는 $86([M+H])^+$ 형태로 나타났으며, 시료에서(30V) m/z 85와 m/z 86의 질량 스펙트럼 비는 27.1~28.6 : 1(이론적 비 26.6 : 1)로 나타났다. 단계별 표준액을 시료의 전 처리 방법과 동일하게 처리하여 분석한 검량선의 직선성은 $y=1.09354e^6X+26947.2$이었으며, $r^2=0.99$로 나타났다. 분석의 정도관리를 위한 회수율검정과 반복 재현성을 알아보기 위한 실험에서 수질시료의 회수율은 77.64~83.44%, 토양시료에서는71.11~79.44%로 나타났으며, 각 농도 단계별 반복(5회)실험결과 상대표준편차 값은 10%이하를 나타내었다.

• 한국표면공학회:학술대회논문집
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• 한국표면공학회 2003년도 추계학술발표회초록집
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• pp.119-119
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• 2003

Plasma polymerized organic thin films were deposited on Si(100) glass and Copper substrates at 25 ∼ 100 $^{\circ}C$ using cyclohexane and ethylcyclohexane precursors by PECVD method. In order to compare physical and electrochemical properties of the as-grown thin films, the effects of the RF plasma power in the range of 20∼50 W and deposition temperature on both corrosion protection efficiency and physical properties were studied. We found that the corrosion protection efficiency (P$\_$k/), which is one of the important factors for corrosion protection in the interlayer dielectrics of microelectronic devices application, was increased with increasing RF power. The highest P$\_$k/ value of plasma polymerized ethylcyclohexane film (92.1% at 50 W) was higher than that of the plasma polymerized cyclohexane film (85.26% at 50 W), indicating inhibition of oxygen reduction. Impedance analyzer was utilized for the determination of I-V curve for leakage current density and C-V for dielectric constants. To obtain C-V curve, we used a MIM structure of metal(Al)-insulator(plasma polymerized thin film)-metal(Pt) structure. Al as the electrode was evaporated on the ethylcyclohexane films that grew on Pt coated silicon substrates, and the dielectric constants of the as-grown films were then calculated from C-V data measured at 1㎒. From the electrical property measurements such as I-V ana C-V characteristics, the minimum dielectric constant and the best leakage current of ethylcyclohexane thin films were obtained to be about 3.11 and 5 ${\times}$ 10$\^$-12/ A/$\textrm{cm}^2$ and cyclohexane thin films were obtained to be about 2.3 and 8 ${\times}$ 10$\^$-12/ A/$\textrm{cm}^2$.

• 환경위생공학
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• 제19권4호
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• pp.25-33
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• 2004

Acrylamide, difficult to analyze by GC and GC/MS due to the polarity and low volatility, was analyzed by LC/ESI/MS in the study. Acrylamide its(molecular weight 71amu) showed m/z=72 $(M+H)^+$ and high peak intensity at 22V in SIR mode. The mass spectrum ratios of acrylamide for qualitative identification had m/z=72 in precursor ion and m/z=55 in products ion, respectively. Those ratios at 30V in SIR mode ranged from 1: 1.4 to 1:1.17 despite various acrylamide concentrations. The ion intensity ratios of acrylamide $(m/z=72,\; [M+H]^+)$ to acrylamide isotopes $(m/z=73,\;[M+H]^+)$ ranged from 100 : 3.57 to 100 : 3.92. The results verified theoretical mass spectrum ratio that was 100:3.82. The linearity of standard calibration curve was y : 520.584x + 1815.26 with $r^2=0.99.$ In quality assurance and quality control, the recovery rate ranged from 81.64 percent to 90.97 percent and relative standard deviation was less than $10\%$ with 5 repeated injections at individual standard calibration solutions. The method was applied to analyze acrylamide in food at grocery stores. Snacks made of potatoes showed the highest acrylamide concentration followed by products made of French fries, wheat, and corn.

• 분석과학
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• 제12권6호
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• pp.528-533
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• 1999

유도결합 플라스마-질랑분석법을 이용하여 혈청, 생우유 및 사료첨가제 중 요오드를 정량하였다. 시료를 매트릭스 변형제인 $NH_4OH$(0.5% v/v)+$CH_3OH$(5% v/v) 혼합용액으로 25배 묽힌 다음, m/z=127에서 이온세기를 측정하였다. 이 방법에 대한 요오드의 검정곡선은 $0-100{\mu}g/L$ 범위에서 상관계수($R^2$)가 0.99인 직선관계를 나타내었으며, 검출한계는 $0.084{\mu}g/L$이었다. 최적 분석 및 기기 조건에서 분유 표준시료를 분석한 결과 상대오차는 2.30-4.73% 범위이었다. 또한 혈청, 생우유, 동물의 사료 첨가제 등과 같은 실제시료를 분석한 결과 요오드의 함유량은 각각 $12.4-40.2{\mu}g/L$, < 0.01-3.11 mg/L,< $10^{-7}-2.60g/kg$ 범위이었다.

• 한국정밀공학회지
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• 제19권10호
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• pp.195-201
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• 2002

This paper deals with the precision grinding for aspherical surface of optical parts. A parallel grinding method using the spherical wheel was suggested as a new grinding method. In this method, the wheel axis is positioned at a $\pi$/4 from the Z-axis in the direction of the X-axis. An advantage of this grinding method is that the wheel used in grinding achieves its maximum area, reducing wheel wear and improving the accuracy of the ground mirror surface. In addition, a truing by the CG (curve generating) method was proposed. After truing, the shape of spherical wheel transcribed on the carbon is measured by the Form-Talysurf-120L. The error of the form in the spherical wheel which is the value ${\Delta}x$ and $R{^2}{_y}$ inferred from the measured profile data is compensated by the re-truing. Finally, in the aspherical grinding experiment, the WC of the molding die was examined by the parallel grinding method using the resin bonded diamond wheel with a grain size of ＃3000. A form accuracy of 0.16${\mu}m$ P-V and a surface roughness of 0.0067${\mu}m$ Ra have been resulted.