• 제목/요약/키워드: Ultrasonic Spraying

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초음파분무 MOCVD법에 의한 PLZT 박막의 제조 및 전기적 특성 (Electrical properties and preparation of PLZT thin film by MOCVD using ultrasonic spraying)

  • 김기현;이진홍;박병옥
    • 한국결정성장학회지
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    • 제12권4호
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    • pp.184-189
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    • 2002

  • 초음파 분무 MOCVD법에 의한 $(Pb_{0.91}La_{0.09})(Zr_{0.65}Ti_{0.35})O_3$(PLZT) 박막의 제조와 광학적, 전기적 특성을 조사하였다. Pb의 휘발성을 고려하여 0.2M의 precursor에 Pb를 5 wt%, 10 wt%과잉 첨가하였다. ITO-coated glass 기판 위에 산소분위기에서 30분 동안 증착한 후 in-situ 상태의 RTA (rapid thermal annealing) 방식으로 열처리를 하였다. 단일 perovskite상의 결정화 온도는 $600^{\circ}C$였다. Pb를 10 wt% 과잉 첨가한 박막의 최대 광투과율은 520nm에서 약 84%로 광학적 특성이 우수하였으며, 유전상수는 약 308의 값을 가졌고, 누설전류는 Pb를 0, 5 wt% 과잉 첨가한 PLZT 박막보다 낮은 값을 가졌다.

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초음파분무 MOCVD법에 의한 $Bi_4Ti_3O_{12}$ 박막의 제조와 La과 V의 Co-Substitution 에 의한 효과 (Effects of substitution with La and V in $Bi_4Ti_3O_{12}$ thin film by MOCVD using ultrasonic spraying)

  • 김기현;곽병오;이승엽;이진홍;박병옥
    • 한국결정성장학회지
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    • 제13권6호
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    • pp.272-278
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    • 2003

  • 초음파 분무에 의한 유기금속 화학증착법 (MOCVD)법으로 $Bi_4Ti_3O_{12}$(BIT)와 Bi와 Ti 대신에 La과 V을 동시에 치환시킨 ($Bi_{3.75}La_{0.75})(Ti_{2.97}V_{0.03})O_{12}$ (BLTV)박막을 ITO/glass 기판 위에 증착하였다. 산소 분위기에서 30분 동안 증착한 후, RTA 방식의 직접삽입법으로 열처리를 하였다. 박막은 페로브스카이트상 생성 온도, 미세구조, 전기적 성질에 관해서 조사하였다. XRD(X-Ray diffraction) 측정결과 BLTV 박막의 페로브스카이트상 생성 온도는 약 $600^{\circ}C$로써 BIT의 $650^{\circ}C$보다 더 낮았다. BLTV 박막의 누설전류는 인가전압 1 V에서 $1.52\times10^{-19}$ A/cm^2$로 측정되었다 또한, $650^{\circ}C$에서 증착했을 경우 잔류 분극값이 $5.6\mu$C/$cm^2$, 항전계값 96.5 kV/cm으로 명확한 강유전성을 보이고 있다.

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적층 액츄에이터형 초음파 노즐의 구동특성 (Driving Characteristics of Multilayer Actuator Structured-Ultrasonic Nozzle)

  • 김화수;황락훈;김국진;류주현;홍재일
    • 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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    • 한국전기전자재료학회 2007년도 추계학술대회 논문집
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    • pp.251-252
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    • 2007

  • In this paper, in order to spray diesel fuel, multilayer actuator structured-ultrasonic nozzle and resonant inverter were manufactured. Multilayer actuator structured-ultrasonic nozzle as fabricated using PMN-PNN-PZT ceramics showing excellent piezoelectric characteristics. Its electrical and temperature properties were measured for investigating he applicability of stable ultrasonic nozle for spraying diesel fuel.

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압전체를 이용한 약품 분사용 초음파 분사 노즐 시스템 (Ultrasonic Spray Nozzle System with Piezoelectric Device for Chemicals Dispersion)

  • 고재석;김용현;김형수;조순행;최승철
    • 마이크로전자및패키징학회지
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    • 제10권4호
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    • pp.65-71
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    • 2003

  • 압전 세라믹스를 이용하여 약품 분사용 초음파분사 노즐을 제작하였다. 정수장의 혼화 공정에 사용되는 약품(응집제)의 고효율 분산을 위해 분사 노즐을 설계하였으며 압전세라믹을 최적화하였다. 제작된 초음파 약품 분사 노즐을 패키징하여 정수장의 약품 혼화 과정에 적용하여 약품사용의 고 효율화와 사용량 저감을 위한 연구를 진행하였다. 압전체는 실리콘으로 마감처리를 하였으며 Al으로 패키징하였다. 본 초음파 분사 노즐 시스템을 적용하여 혼화지에 실험한 결과 약품의 순간 혼화를 촉진시키는 기술로 투입 약품량을 저감시킬 수 있을 것으로 판단된다. 초음파 발진 약품 분사시, 무발진과 비교하여 대장균 제거 효율에서 현저하게 높아졌다.

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