초음파분무증착법으로 Pt/Ti/Si$O_{2}$/Si 기판에 제조한 BaTi$O_{3}$ 박막의 미세구조와 우선배향성

Microstructure and Preferred Orientation of BaTi$O_{3}$ Thin Films on Pt/Ti/Si/$O_{2}$Si Substrates by Ultrasonic Spraying Deposition

  • 김인태 (서울대학교 무기재료공학과) ;
  • 박순자 (서울대학교 무기재료공학과)
  • 발행 : 1997.05.01