Effects of DC Substrate Bias Power Sources and Reactant Gas Ratio on Synthesis and Tribological Properties of Ternary B-C-N Coatings (기판 바이어스 DC 전원의 종류와 반응가스 분압비가 3성분계 B-C-N 코팅막의 합성과 마찰 특성에 미치는 영향)
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- Journal of Surface Science and Engineering
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- v.44 no.2
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- pp.60-67
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- 2011