A Study on the measurement of Electron Energy Distribution Function in Ar plasma measured by the waveforms of Langmuir probe voltages (Langmuir 프로브 전압의 파형에 따른 아르곤 플라즈마의 전자에너지 분포함수 측정에 관한 연구)
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- The Transactions of the Korean Institute of Electrical Engineers C
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- v.48 no.5
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- pp.391-395
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- 1999