Syntheses and Properties of Hybrid Functional Ru-TiN heating resistor films prepared by Plasma-Enhanced Atomic Layer Deposition (플라즈마 원자층 증착법을 이용한 하이브라드 기능성 Ru-TiN 허터 박막의 합성 특성 평가)
-
- Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
- /
- 2009.05a
- /
- pp.182-183
- /
- 2009