We prepared the Al doped ZnO coating Ag multilayer thin films on glass without substrate heating using FTS system. The structure of multilayer thin films has Al doped ZnO/Ag/Al doped ZnO(AZO/Ag/AZO). The thickness of top and bottom AZO thin films were fixed to 50 nm, respectively and controlled the thickness of Ag thin films with deposition time. As-doped multilayer thin films were prepared at 1mTorr and input power (DC) of 100W at room temperature. To investigate the film properties, we employed four-point probe, UVNIS spectrometer, X-ray diffractometer (XRD), scanning electron microscopy (SEM), Hall Effect measurement system and Atomic Force Microscope (AFM).
We prepared Zinc Oxide thin films introducing Ag layer on glass substrates at room temperature by using facing targets sputtering (FTS) method. In order to obtain good electrical properties, Ag layer was introduced. Ag with various thickness of thin films were used as intermediate layers. The electrical, optical and crystallographic properties of thin films were investigated by Four-Point probe, UV/VIS spectrometer and XRD. From the results, we could confirm that the thickness of Ag layer changes the electrical and optical performances of the multilayers.
In this study, we have investigated the holographic grating formation on Ag-doped amorphous chalcogenide AsGeSeS thin films with Ag thickness. Ag/AsGeSeS thin films with the incident laser beam wavelength for the improvement of the polarization diffraction grating efficiency. Holographic gratings have been formed using Diode Pumped Solid State laser (DPSS, 532.0nm) under [P:P] polarized the intensity polarization holography. The diffraction efficiency was obtained by +1st order intensity. The result is shown that the diffraction efficiency of Ag/AsGeSeS double layer thin film for the Ag thickness, the maximum grating diffraction efficiency using 60nm Ag layer is 0.96%.
We have demonstrated new functionalities of Ag doped chalcogenide glasses based on their capabilities as solid electrolytes. Formation of such amorphous systems by the introduction of silver via photo-induced diffusion in thin chalcogenide films is considered. The influence of silver on the properties of the newly formed materials is regarded in terms of diffusion kinetics and Ag saturation is related to the composition of the hosting material. Silver saturated chalcogenide glasses have been used in the formation of solid electrolyte which is the active medium in programmable metallization cell (PMC) devices. In this paper, we investigated electrical and optical properties of Ag-doped chalcogenide thin film on changed thickness of Ag and chalcogenide thin films, which is concerned at Ag-doping effect of PMC cell. As a result, when thickness of Ag and chalcogenide thin film was 30 nm and 50 nm respectively, device have excellent characteristics.
한국정보디스플레이학회 2006년도 6th International Meeting on Information Display
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pp.1071-1074
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2006
Ca/Ag double layer which is fabricated by thermal evaporation exists as the double layer of (Ca+O)/(Ag+Ca). In Ca layer, are crystalline Ca(OH)2 and amorphous Ca and in Ag layer, are crystalline Ag and amorphous Ca. And for the certain thickness of Ag, in the Ca/Ag double layer, the thicker Ca is, the higher transmittance is.
패브리-페로 형태의 UV용 투과필터를 광학용 설계 프로그램을 이용하여 설계한 후, 설계치를 근거로 하는 두개의 투과필터를 제작하여 광학적 특성을 조사하였다. 투과 영역의 투과율은 반사경으로 사용한 Ag 박막의 두께로 조절하였으며, 투과 파장을 spacer 층으로 사용된 $SiO_2$ 층의 두께로 조절하였다. 시료의 제작은 RF magnetron sputtering법을 이용하였으며, 제작 시료의 구조는 다음과 같다. [air|$SiO_2$(174.6 nm)|Ag(78 nm)|$SiO_2$(68 nm)|Ag(78 nm)|Cr(5 nm)|glass], [air|$SiO_2$(174.6 nm)|Ag(58 nm)|$SiO_2$(56 nm)|Ag(58 nm)|Cr(5 nm)|glass]. 제작한 LV용 투과필터의 광학적 특성은 분광광도계를 이용해서 측정하였다. UV용 투과필터에 의한 투과율은 약 370nm에서 6% 이였으며, 400 nm에서는 0.2% 이하이었다. Ag의 두께를 얇게 함에 따라 투과율을 증가시킬 수 있었으며, spacer 층으로 사용된 $SiO_2$ 층의 두께를 조철하여 투과영역을 조절할 수 있었다.
Electrical and optical properties of semitransparent Ag and Al layer were studied, which are used for the electrodes in top-emission organic light-emitting diodes. Sheet resistance and transmittance of visible light through a thin layer were measured and analyzed. Several thin metal layers of Ag and Al were deposited onto a glass substrate up to a thickness of 50 nm using a thermal evaporation. Sheet resistance measurements show that a layer thickness is needed more than 15 nm and 20 nm for Ag and Al, respectively, when a proper sheet resistance is assumed to be less than $50{\Omega}/sq$. From the measurements of transmittance of visible light through a thin-metal layer, metallic behavior was observed when the layer thickness is over 25 nm for both films. Thus, from a study of sheet resistance and transmittance of visible light, a minimum proper thickness of semitransparent metal layer is 20 nm and 25 nm for Ag and Al, respectively.
The metal mesh films with thickness of 1.0, 1.5, $2.0{\mu}m$ were prepared by photolithography using Ag, Al, and Cu metals. Every metal films were showed C(111) preferred orientation and Ag showed the lowest resistivity and followed by Al and Cu. The transmittance of almost films were higher than 90%. But, the Ag film with thickness of $2.0{\mu}m$ was delaminated during photolithography process due to low adhesion. So, Cu and Ti metal films were introduced under Ag film to improve adhesion property. The Cu film showed higher adhesion properties compared to Ti film. Furthermore, the Ti films that deposited on Ag film showed higher acid resistance.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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