Application of metal silicides such as TiSi$_2$ and CoSi$_2$ as contacts and gate electrodes are being studied. However, TiSi$_2$ due to the linewidth-dependance, and CoSi$_2$ due to the excessive Si consumption during silicidation cannot be applied to the deep-submicron MOSFET device. NiSi shows no such problems and can be formed at the low temperature. But, NiSi shows thermal instability. In this investigation, NiSi was formed with a Ti-capping layer to improve the thermal stability. Ni and Ti films were deposited by the thermal evaporator. The samples were then annealed in the N$_2$ ambient at 300-800$^{\circ}C$ in a RTA (rapid thermal annealing) system. Four point probe, FESEM, and AES were used to study the thermal properties of Ti-capped NiSi layers. The Ti-capped NiSi was stable up to 700$^{\circ}C$ for 100 sec. RTA, while the uncapped NiSi layers showed high sheet resistance after 600$^{\circ}C$. The AES results revealed that the Ni diffusion further into the Si substrate was retarded by the capping layer, resulting in the suppression of agglomeration of NiSi films.
In this study, effect of thickness on structural, electrical and optical properties of B doped ZnO:Ga (GZOB) films was investigated. GZOB films were deposited on glass substrates by DC magnetron sputtering. The thickness range of films were from 100 nm to 600 nm to identified as increasing thickness, stress between substrate and GZOB film. The average transmittance of the films was over 80 % until 500 nm. Then a resistivity of $9.16\times10^{-4}\Omega$-cm was obtained. We presented that a GZOB film of 400 nm was optimization to obtain a high transmittance and conductivity.
Theoretical prediction of the equilibrium of temperature and relative humidity dependance involving $HNO_{3(g)}-NH_{3(g)}$ and $NH_4NH_{3(s, aq)}$ was compared with atmospheric measurement of particulate nitrate$(NO_3^-)$, Ammonia-Nitric Acid partial pressure product $([$NH_{3(g)}][HNO_{3(g)}]ppb^2$) by a triple filter pack sampler from Oct 1991 to July 1992. The measured $HNO_3NH_3$ concentration product K was greater than equilibrium constant $K_p$ calculated from thermodynamic data of $NH_4NO_{3(s, aq)}-HNO_{3(g)}-NH_{3(g)}$ during fall, winter and spring. But K was lower than $K_p$ in summer. K was greater than $K_p$ as the result of supersaturation by air pollution, particularly anthropogenic $NH_3$.The reason of $K < K_p$ was due to removal of particulate nitrate$(NO_3^-)$ by rainout and washout. $NH_4NO_3$ which consists mainly of particulate nitrate is formed by reaction between $HNO_3$ and $NH_3$. As a result of the removal of particulate nitrate$(NO_3^-)$ by rainout and washout, concentrations of $HNO_3$ and $NH_3$ are decreased by equilibrium transfer(Le Chatelier's Law) in atmosphere.
In this study, effect of thickness on structural, electrical and optical properties of B doped ZnO:Al (AZOB) films was investigated. AZOB films were deposited on PC substrates by DC magnetron sputtering. The thickness range of films were from 300 nm to 800 nm to identified as increasing thickness, stress between substrate and AZOB film. The. average transmittance of the films was over 80 % until 500 nm. Then a resistivity of $1.58\times10^{-3}\Omega$-cm was obtained. We presented that a AZOB film of 500 nm was optimization to obtain a high transmittance and conductivity.
Chemical evolution of galaxies can be understood by studying the spatial distribution of heavy elements. We selected two nearby galaxies, M31 and M33 and investigated spectrum of their HII regions: a) the elec-tron densities have been derived from the [S II] 6717/6731 ratio along with the most recent atomic constants (Hyung & Aller 1996); b) the electron temperatures were determinated from the Pagel's empirical method. Nebula Model (Hyung 1994) has been employed to predict the spectral line intensities which gives the proper chemical abundances. The model would predict the line intensities correctly only when various input parameters such as the effective central star temperatures, gravity log g, model atmosphere as well as the geometry and the nebula physical condition are appropriate. Thus, the determination of chemical abundances of O, S, N of the two nearby galaxies M31 and M33 has been done, which shows a radial dependance of O/H and N/H: decrease with the distance, or increasing electron temperature due to the elemental deficiency. Abundances of M31 appear to be enhanced than those of M33.
In this paper, we inveatigate frequency dependance of inductance effects of FeCoB amorphous magnetic films. First, amorphous magnetic film having near zero magnetostriction is the basic composition of (Fe$_{1-x}$ / $Co_{x}$)$_{79}$Si$_2$B$_{19}$ with x=0.94, 0.95 and in order to decrease magnetio . anisotropy, the film was annealed in 28$0^{\circ}C$/30min, 40$0^{\circ}C$/30min, 40$0^{\circ}C$/1hr with near crystallization temperature under non-magnetic field. As result of investigation, in case of x=7.95 than x=0.94, we could have obtained high values, which inductance ratios in the low frequency was 488%. And Quality factor Q was under 0.7 in all sample, in case of annealed in 28$0^{\circ}C$/30min, we could have obtained highest value, which x=0.9fl is about 0.62 in 400[kHz], and in case of x=0.95 was about 0.35 in 1[MHz].z].].
원하는 전자기적 특성인 높은 초투자율과 우수한 주파수 의존특성을 얻기 위해 Mn-Zn 페라이트계에서 핵입자의 첨가효과를 실험하였다. 소결온도에서 가소된 핵입자를 첨가함에 따라 비정상 입자성장이 말끔히 사라졌지만, 페라이트의 소결밀도와 초투자율이 감소하였다. 이와 반대로 매트릭스 입자의 가소온도보다 낮은 온도에서 가소된 핵입자의 첨가시에는 비정상 입자성장이 잔유하였으나, 적정한 핵입자 첨가로 Cutoff Frequency가 변화하지 않는 가운데 10∼20%의 초투자율값의 상승이 있었다.
본 논문은 다양한 종류의 유기성 폐기물을 이용하여 고온고압수 반응에 의해 생성되는 저분자 카르복시산의 거동에 관해 고찰하였으며 산화제 첨가에 대한 영향도 동시에 검토를 행하였다. 그 결과 acetic, formic, succinic 및 lactic acid와 같은 유기산이 주된 생성물임을 알 수 있었다. 생선내장의 경우 35$0^{\circ}C$(P=16 MPa)의 조건에서 acetic acid비 수율은 26mg/g-dry를 얻을 수 있었으며 산화제로서 $H_2O$$_2$를 첨가했을 경우 42mg/g-dry로 수율이 증가함을 알 수 있었다. 또한 글루코오스를 이용한 실험결과에서는 약 29mg/g-dry의 acetic acid를 얻을 수 있었다. 유기산 생성에 관한 온도 의존성을 검토한 결과, acetic acid는 열적 안정성이 있음을 알 수 있었으나 formic acid는 상대적으로 쉽게 분해하는 경향을 나타내었다. 또한 산화제를 첨가 할 경우, acetic acid와 같은 유기산의 생성을 촉진 시키는 결과를 얻을 수 있었다.
이 연구에서는 외기와의 열전달을 나타내는 외기대류계수에 관한 실험을 실시하였다. 외기대류계수에 관한 기존의 모델에서 나타났던 문제점을 해결하기 위해 실험 변수로 풍속외에 양생 조건의 종류(양생포, 양생포+비닐), 외기온도, 비등효과를 선정하였다. 실험 결과를 이용하여 외기대류계수를 산정하고자 열평형 방정식을 이용한 수치해법을 사용하였으며, 이론적인 고찰을 통해 각 양생 조건별로 풍속에 따른 외기대류계수의 변화를 예측할 수 있는 모델식을 제안하였다. 열평형 방정식을 이용한 수치해법에서 초기에 외기대류계수가 과잉평가되는 문제점을 해결하기 위해 비등효과에 의한 증발량을 고려하여 수정 열평형 방정식을 제안하였다. 양생 조건을 고려한 제안된 모델식에 의하면, 모든 경우에 풍속에 따라 외기대류계수가 증가하는 경향을 보였으나 양생 재료의 사용여부나 양생 조건에 따라 다른 양상을 보이는 것을 알 수 있었다. 이러한 양상의 차이는 양생 재료의 열 특성에 의해 결정되는 것으로 외기대류계수는 양생 재료가 없는 경우, 양생포를 사용한 경우, 양생포+비닐을 사용한 경우의 순으로 풍속의 영향을 받는 것으로 나타났다. 제안된 모델식을 이용하면 수화열에 의한 콘크리트 구조물의 온도해석시 보다 정확한 결과를 얻을 수 있을 것으로 사료되며, 향후 이러한 열특성계수에 대한 연구가 필요할 것으로 판단된다.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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