Metallizations and Electrical Characterizations of Low Resistivity Electrodes(Al, Ta, Cr) in the Amorphous Silicon Thin Film Transistor (비정질 실리콘 박막 트랜지스터 소자 특성 향상을 위한 저 저항 금속 박막 전극의 형성 및 전기적 저항 특성 평가)
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- Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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- 1993.05a
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- pp.96-99
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- 1993