The Microstructure And The Mechanical Properties Of(Ti$_{1-x}$ AI$_{x}$ )N Coatings Deposited By Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition(PECVD)
(플라즈마 화학증착법에 의해 제조된 (Ti$_{1-x}$ AI$_{x}$ )N 박막의 미세조직 및 기계적 특성에 관한 연구)
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- Journal of Surface Science and Engineering
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- v.34 no.2
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- pp.97-104
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- 2001