• Title/Summary/Keyword: Suk-Mun

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Properties of Si thin films by hyperthermal neutral beam

  • Oh, Kyoung-Suk;Choi, Sung-Woong;Kim, Dae-Chul;Yoo, Suk-Jae;Park, Young-Chun;Hong, Mun-Pyo;Kim, Young-Woo;Lee, Bon-Ju
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2008년도 제35회 하계학술대회 초록집
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    • pp.316-316
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    • 2008
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