Study of Temperature Uniformity Improvement of Inductive Heating in MOCVD Systems to Deposit White LED (백색 LED 증착용 MOCVD 장치에서 유도가열을 이용한 기판의 온도 균일도 향상에 관한 연구)
-
- Journal of the Korean institute of surface engineering
- /
- v.43 no.6
- /
- pp.304-308
- /
- 2010