• 제목/요약/키워드: Substrate heating effect

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질소이온 빔 보조 마그네트론 스퍼터로 증착 된 AlN 박막의 물성연구 (A Study on the Properties of AlN Films Deposited with Nitrogen Ion Beam Assisted RF Magnetron Sputtering)

  • 허성보;이학민;정철우;최대한;이병훈;김민규;유용주;김대일
    • 열처리공학회지
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    • 제24권2호
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    • pp.77-81
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    • 2011
  • Aluminum nitride (AlN) thin films were prepared by using nitrogen ion beam assisted reactive radio frequency (RF) magnetron sputtering on the glass substrates without intentional substrate heating. After deposition, the effect of nitrogen ion beam energy on the structural and optical properties of AlN films were investigated by x-ray diffraction (XRD), atomic force microscope (AFM) and UV-Vis. spectrophotometer, respectively. AlN films deposited with $N^+$ ion irradiation at 100 eV show the higher (002) peak intensity in XRD pattern than other films. It means that $N^+$ ion energy of 100 eV is the favorable condition for low temperature crystallization. AFM images also show that surface average roughness is increased from 1.5 to 9.6 nm with $N^+$ ion energy in this study. In an optical observation, AlN films which deposited by $N^+$ ion beam energy of 100 eV show the higher transmittance than that of the films prepared with the other $N^+$ ion beam conditions.

SBN60 박막의 결정화 및 전기적 특성에 관한 씨앗층의 영향 (Effect of Seed-layer on the Crystallization and Electric Properties of SBN60 Thin Films)

  • 장재훈;이동근;이희영;조상희
    • 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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    • 한국전기전자재료학회 2003년도 하계학술대회 논문집 Vol.4 No.2
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    • pp.723-727
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    • 2003
  • [ $Sr_xBa_{1-x}Nb_2O_6$ ] (SBN, $0.25{\leq}x{\leq}0.75$) ceramic is a ferroelectric material with tetragonal tungsten bronze (TTB) type structure, which has a high pyroelectric coefficient and a nonlinear electro-optic coefficient value. In spite of its advantages, SBN has not been investigated well compared to other ferroelectric materials with perovskite structure. In this study, SBN thin film was manufactured by ion beam sputtering technique using the prepared SBN target in $Ar/O_2$ atmosphere. SBN30 thin film of $1000{\AA}$ was pre-deposited as a seed layer on $Pt(100)/TiO_2/SiO_2/Si$ substrate followed by SBN60 deposition up to $3000{\AA}$ in thickness. As-deposited SBN60/SBN30 layer was heat-treated at different temperatures of 650, 700, 750, and $800^{\circ}C$ in air, respectively The crystallinity and orientation behavior as well as electric properties of SBN60/SBN30 multi-layer were examined. The deposited layer was uniform and the orientation was shown primarily along (001) plane from XRD pattern. There was no difference in the crystal structure with heat-treatment temperature, but the electric properties depended on the heating temperature and was the best at $750^{\circ}C$. In electric properties of Pt/SBN60/SBN30/Pt thin film capacitor prepared, the remnant polarization (2Pr) value was $15{\mu}C/cm^2$, the coercive field (Ec) 75 kV/cm, and the dielectric constant 1075, respectively.

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Magnetic Properties of FePt:C Nanocomposite Film

  • Ko, Hyun-Seok;A. Perumal;Shin, Sung-Chul
    • 한국자기학회:학술대회 개요집
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    • 한국자기학회 2003년도 하계학술연구발표회 및 한.일 공동심포지엄
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    • pp.220-221
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    • 2003
  • Equiatomic FePt and CoPt alloy thin films have received considerable attention as possible magnetic and magneto-optic recording because of their high magnetic anisotropy energy and high coercivity. The high coercivity in these thin films is due to the presence of finely dispersed ordered FePt phase mixed with disordered FePt phase. However, a high temperature treatment, either substrate heating during deposition or post annealing, is needed to obtain the ordered L1$\_$0/ phase with high value of magneto crystalline anisotropy. Recent microstructural studies on these films suggest that the average grain size ranges from 10-50 nm and the grains are magnetically coupled between each other. On the other hand, the ultrahigh-density magnetic recording media with low media noise imposes the need of a material, which consists of magnetically isolated grains with size below 10 nm. The magnetic grain isolation can be controlled by the amount of additional non-magnetic element in the system which determines the interparticle separation and therefore the interparticle interactions. Recently, much research work has been done on various non-magnetic matrices. Preliminary studies showed that the samples prepared in B$_2$O$_3$ and Carbon matrices have shown strong perpendicular anisotropy and fine grain size down to 4nm, which suggest these nanocomposite films are very promising and may lead to the realization of a magnetic medium capable of recording densities beyond 1 Tb/in$^2$. So, in this work, the effect of Carbon doping on the magnetic properties of FePt nanoparticles were investigated.

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SBN60 박막의 결정화 및 전기적 특성에 관한 씨앗층의 영향 (Effect of Seed-layer on the Crystallization and Electric Properties of SBN60 Thin Films)

  • 장재훈;이동근;이희영;조상희
    • 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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    • 한국전기전자재료학회 2003년도 제5회 영호남 학술대회 논문집
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    • pp.85-88
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    • 2003
  • $Sr_xBa_{1-x}Nb_2O_6$(SBN, $025{\leq}x{\leq}0.75$) ceramic is a ferroelectric material with tetragonal tungsten bronze (TTB) type structure, which has a high pyroelectric coefficient and a nonlinear electro-optic coefficient value. In spite of its advantages, SBN has not been investigated well compared to other ferroelectric materials with perovskite structure. In this study, SBN thin film was manufactured by ion beam sputtering technique using the prepared SBN target in Ar/$O_2$ atmosphere. SBN30 thin film of 500 ${\AA}$ was pre-deposited as a seed layer on Pt(l00)/$TiO_2$/$SiO_2$/Si substrate followed by SBN60 deposition up to 4500 ${\AA}$ in thickness. SBN60/SBN30 layer was deposited at different Oxygen amount of 0, 8.1, 17, and 31.8 sccm, respectively. The crystallinity and orientation behavior as well as electric properties of SBN60/SBN30 multi-layer were examined. The deposited layer was uniform and the orientation was shown primarily along (001) plane from XRD pattern. The crystal structure and the electric properties depended on the Oxygen amount, heating temperature and was the best at O2 = 8.1 seem, $750^{\circ}C$. In electric properties of Pt/SBN60/SBN30/Pt thin film capacitor prepared, the remnant polarization (2Pr) value was 13 ${\mu}C/cm^2$, the coercive field (Ec) 75 kV/cm, and the dielectric constant 1492, respectively.

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SBN 박막의 결정화 및 전기적 특성에 관한 씨앗층 두께의 영향 (Effect of Seed-layer thickness on the Crystallization and Electric Properties of SBN Thin Films.)

  • 장재훈;이동근;이희영;조상희
    • 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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    • 한국전기전자재료학회 2003년도 추계학술대회 논문집 Vol.16
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    • pp.271-274
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    • 2003
  • [ $Sr_xBa_{1-x}Nb_2O_6$ ] (SBN, $0.25{\leq}x{\leq}0.75$) ceramic is a ferroelectric material with tetragonal tungsten bronze (TTB) type structure, which has a high pyroelectric coefficient and a nonlinear electro-optic coefficient value. In spite of its advantages, SBN has not been investigated well compared to other ferroelectric materials with perovskite structure. In this study, SBN thin film was manufactured by ion beam sputtering technique using the prepared SBN target in $Ar/O_2$ atmosphere. SBN30 thin films of different thickness were pre-deposited as a seed layer on $Pt(100)/TiO_2/SiO_2/Si$ substrate followed by SBN60 deposition up to $4500\;{\AA}$ in thickness. As-deposited SBN60/SBN30 layer was heat-treated at different temperatures of 650, 700, 750, and $800\;^{\circ}C$ in air, respectively, The crystallinity and orientation behavior as well as electric properties of SBN60/SBN30 multi-layer were examined. The deposited layer was uniform and the orientation was shown primarily along (001) plane from XRD pattern. There was difference in the crystal structure with heat-treatment temperature, and the electric properties depended on the heating temperature and the seed-layer thickness. In electric properties of Pt/SBN60/SBN30/Pt thin film capacitor prepared, the remnant polarization (2Pr) value was $15\;{\mu}C/cm^2$, the coercive field (Ec) 65 kV/cm, and the dielectric constant 1492, respectively.

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신축성을 가진 Carbon/PDMS 복합체의 센서 응용 연구 (Flexible Carbon/PDMS Composite for the Application of Sensor)

  • 이준호;박경열;민성욱
    • 마이크로전자및패키징학회지
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    • 제28권4호
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    • pp.73-77
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    • 2021
  • 신체 착용 및 부착이 가능한 웨어러블 기기용 유연 전극은 외력에 대한 기계적/전기적 내구성을 확보하고 동시에, 다양한 기능성을 부여하는 방향으로 연구가 활발히 진행되고 있다. 본 연구는 Carbon black를 전도성 필러로 적용하여 Carbon/PDMS 기반 유연 복합체를 제조하고 carbon black의 함량에 따른 복합체의 유연전극, 온도 센서 및 히터용 소재로서의 적용 가능성에 대해 고찰해 보았다. Carbon black의 함량 증가에 따른 비저항 감소를 관찰하였고, 반복인장에 따른 전기저항 변화율 실험을 통해 유연전극으로서의 적용 가능성을 확인하였다. 온도 변화에 따른 carbon/PDMS 복합체의 전기적 특성 평가를 통해 온도센서로서 적용이 가능한 정온도계수 특성을 관찰하였고, carbon black 함량에 따라 정온도계수 특성 조절이 가능함을 확인할 수 있었다. 전압 인가에 따른 Carbon/PDMS 복합체의 발열 특성 관찰을 통해 히터용 소재로서의 적용가능성 역시 확인할 수 있었다.

마그네트론 스퍼터링에 의해 제작한 Gallium-doped ZnO 박막에 있어서 잔류 H2O 분압의 영향 (The Effect of Residual H2Pressure on Gallium-doped ZnO Films Deposited by Magnetron Sputtering)

  • 송풍근;권용준;차재민;이병철;류봉기;김광호
    • 한국세라믹학회지
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    • 제39권10호
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    • pp.928-934
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    • 2002
  • Ga을 치환 고용시킨 ZnO(GZO) 박막을 GZO 세라믹 타켓을 사용하여 직류 마그네트론 스퍼터법에 의해 기판온도(RT, 400${\circ}C$), 잔류 $H_2O$ 분압(PH2O; 1.61${\times}10^{-4}∼2.2{\times}10^{-3}$ Pa), $H_2$ 가스 첨가(8.5%), 캐소드의 자장강도(250, 1000G)등의 다양한 조건하에서 제작했다. 기판 가열 없이 100% Ar를 사용한 경우, $P_{H_2O}$가 1.61${\times}10^{-4}$ Pa에서 2.2${\times}10^{-3}$ Pa로 증가 했을 때, 박막의 결정립 크기는 24 nm에서 3 nm로 감소했으며, 비저항은 3.0${\times}10^{-3}$에서 3.1${\times}10^{-2}{\Omega}㎝$ 로 크게 증가함을 보였다. 그러나, 8.5% $H_2$를 Ar 가스에 혼합하여 제막한 결과, GZO 박막의 전기적 특성은 $P_{H_2O}$의 증가에도 불구하고 변화 없이 나타났다. 또한 캐소드의 자장강도를 250G에서 1000G로 증가시킨 경우, GZO 박막의 결정성 및 전기적 특성은 $P_{H_2O}$와 상관없이 크게 향상되었으며, 이것은 플라즈마 임피던스의 감소에 따른 박막 손상의 감소에 기인한다고 생각된다.

유지의 산화에 대한 Methionine과 Lysine의 항산화 효과 (Antioxidative Effect of Methionine and Lysine on Oil Rancidity)

  • 박성원;안명수
    • 한국식품조리과학회지
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    • 제10권1호
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    • pp.57-62
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    • 1994
  • 대두유와 라아드의 항온저장 및 가열시 methionine과 lysine의 첨가농도에 따른 항산화 효과 및 기존 항산화제들의 항산화력에 대한 상승효과를 비교 연구하였다. 유지의 항온(60$\pm$2$^{\circ}C$) 저장시 methionine과 lysine을 각 농도별로 첨가한 경우 모든 시료에서 항산화 효과를 보였으며 그 중에서 methionine을 1% 첨가하였을 때 가장 효과가 좋았고 그 정도는 TBHQ를 첨가한 경우와 유사하였으며 tocopherol 보다 월등히 높은 항산화 효과를 보였다. 그리고 이들의 항산화 효과는 농도증가에 따라 비례적으로 증가하였으나 농도간에 큰 차이는 없었다. 즉 이들의 항산화 효과는 TBHQ>methionine 1%>methione 0.1%> methionine 0.02%> lysine 1%>ly-sine 0.1%>Lysine 0.02%>tocopherol 순이었다. 또한 아미노산, TBHQ, tocopherol 모두 식물성유 보다 동물성유지에서 더 큰 항산화력을 나타내었다. 유지 가열(180$\pm$2$^{\circ}C$)시 methionine과 lysine을 각 농도별로 첨가한 모든 시료에서 항산화 효과가 나타났고 TBHQ는 자동사놔시와는 달리 항산화 효과가 크게 떨어졌으며 이들의 항산화 효과의 크기 순서는 methione 1%>methionine 0.1%>methionine 0.02%> lysine 1%>lysine 0.1%>lysine 0.02%>tocopherol, TBHQ 순이었다. Methionine 및 lysine을 tocopherol, ascorbic acid, cit-ric acid와 혼합하여 대두유에 첨가하였을 때 tocoperol 과의 혼합물이 가장 높은 상승효과를 나타내었으며 asco-rbic acid 및 citric acid와의 혼합물도 약하지만 상승효과를 나타내었다. 따라서 methionine과 lysine은 유지에 대하여 항온저장 또는 가열시 모두 항산화 효과가 있으며 특히 가열 시와 동물성 유지에 대하여 그 효과가 우수하고 식품 항산화제에 대한 상승효과도 크다는 것을 알 수 있었다.

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어육 조리시 지질이 단백질 변성에 미치는 영향 (Effect of Lipid on the Protein Denaturation in Cooking Fish Meat)

  • 이강호;최병대;유홍수
    • 한국수산과학회지
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    • 제19권5호
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    • pp.493-501
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    • 1986
  • 단백질의 어떠한 가열변성 정도에서 소화율 저하에 영향을 미치는 lipid-protein complex가 가장 많이 형성되는 가를 구명하기 위하여 도다리(Pleuronichthys cornutus) 육단백질을 가열변성시키고 four-enzyme system을 이용하여 in vitro digestibility를 측정하였으며, 여기에 도다리 육에서 추출한 지질을 첨가하여 lipid-protein complex가 형성되는 현상을 조사한 결과는 다음과 같다. In vitro digestibility는 5분간 자숙하였을 때 생시료가 $88.09\%$, 탈지시료가 $90.56%$이었으며, 40분 후에는 각각 $85.95\%,\;86.17\%$를 나타내었다. Microwaving의 경우 1분 가열 후의 소화율은 생시료가 $87.41%$, 탈지시료는 $91.47\%$이었고, 7분 가열 후에는 $3{\sim}4\%$ 정도가 감소하였다. lipid-protein complex 생성에 기인된 것으로 생각되는 trypsin indigestible substrates(TIS)는 가열시간, 첨가되는 지질의 양, 상호작용시간에 따라 증가하는 경향을 나타내었다. 도다리 육에서 추출한 지질의 주요 지방산은 $C_{16:0},\;C_{16:1},\;C_{18:1},\;C_{20:5},\;C_{22:6}$이었고, 가열시간에 따른 지방산 조성의 변화는 거의 없었으며. 불포화지방산의 함량이 $67\%$ 정도를 차지하였다. POV, COV의 증가와 함께 갈변물질의 생성이 증가하였고, 단백질 용해도는 microwaving하였을 때 가장 낮았다($19.l9\%$). lipid-protein 상호작용에서 지질의 함량이나 산화정도가 효소적 소화에 가장 큰 저해인자로 작용하였으며, 생시료 및 탈지시료에 지질을 섞어 가열처리하면서 반응시킨 것과 단백질을 가열변성시킨 후 지질을 첨가하여 반응시킨 것을 비교하면 lipid-protein 상호작용으로 인하여 전자가 후자보다 낮은 소화율을 나타내어 단백질과 지질의 상호작용은 단백질 변성현상과 동시에 일어날 가능성이 높음을 알 수 있었다.

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볏짚배지의 살균조건이 느타리버섯균의 균사생장에 미치는 영향 (Effect of Pasteurized Substrates in Various Condition on the Mycelial Growth of Oyster Mushroom, Pleurotus spp.)

  • 전창성;신동훈;박정식;오세종
    • 한국균학회지
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    • 제28권2호
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    • pp.103-108
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    • 2000
  • 느타리버섯 재배용 볏짚배지의 살균과 관련하여 균사생장에 미치는 영향을 실내에서 시험한 결과, 느타리버섯의 균사생장은 $60^{\circ}C$에서 살균한 것이 가장 우수하였고 살균온도가 높아질수록 감소되었으며, 병원균의 생장은 $121^{\circ}C$에서 가장 양호하고 온도가 낮을수록 감소되었다. 볏짚배지의 살균시간은 8, 12시간에서 느타리버섯의 균사생장이 가장 양호하였고 24시간 처리에서는 오히려 균사생장이 감소되었다. 살균시간과 침수시간에 따른 배지 pH의 변화는 침수시간이 길어지면 산도가 낮아지고 살균과 후발효후 종균접종시에는 전반적으로 균형을 이루었다. 느타리버섯 볏짚배지의 살균시간에 상관없이 균사생장정도는 $25{\sim}30^{\circ}C$에서 가장 양호하였다. 느타리버섯의 볏짚배지는 2회 살균보다는 1회 살균시 균사생장이 양호하였다. 미리 균상 내에서 전발효를 하는 경우는 오히려 정상적인 것보다는 균사생장이 불량하였다.

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