• 한국진공학회지
• /
• 제4권S1호
• /
• pp.151-156
• /
• 1995

0.5$\mu$m 이하 급의 device에서 TEOS/O3 BPSG 박막을 층간절연막(Interlayer Dielectric)으로 사용하여, 평탄화를 위해 etchback 공정을 적용할 때 BPSG 박막이 가지는 구조적, 화학적 불안정성으로 인해 B,P 농도의 변화나 crack 발생 현상이 일어날 수 있다. 본 실험에서는 이러한 현상을 억제하기 위해 농도를 달리한 이층막의 증착, PR strip 시에 사용하는 wet chemical의 변경 및 증착후 치밀화(densificaiton)공정추가 등의 방법을 사용하였으며, 이에 따른 박막 특성의 변화를 조사하였다.

• 제어로봇시스템학회:학술대회논문집
• /
• 제어로봇시스템학회 2001년도 ICCAS
• /
• pp.86.1-86
• /
• 2001

Combined with a counter, wheel or strip encoders which have equally divided markers are one of frequent measuring choices towards various applications in terms of cost, simplicity, and diversity of measurements, e.g., measuring displacement, velocity, acceleration, and so on. Often, velocity is measured by counting the series of reference clocks for a period of time which sensor-carrying device took for traveling two adjacent encoding markers. Quantizaion error of such that the disturbance caused by quantization error is under control. This paper identifies design issues, developes theory, and proposes a paradigm to design a velocity measurement system such ...

• 한국컴퓨터정보학회논문지
• /
• 제22권6호
• /
• pp.123-129
• /
• 2017

In this paper, we proposed a smart multiple-tap system which a remote user with smartphone can control multiple-taps in order to reduce standby-power consumption more conveniently when plugged-in electric appliances are turned-off. Recently, several researches of smart multiple-tap using IoT technology has reported. However, in these researches, an additional device like as a server computer is necessary, or multiple-taps could be only remotely controlled by smartphone and not directly controlled by on/off switch. The proposed smart multiple-tap system does not need any additional device only if it has a WiFi router, and it can be used for user as well as remote control using smartphone application and physically direct control using contact switches like existing multiple-taps. Our approach is to develop a smart multiple-tap device capable of WiFi communication can each serve as a server or a client, and can be operated by the hybrid switch combining the on/off contact switch and the relay switch. We implemented the prototype of the proposed system composed of the smart multiple-tap device and the smartphone application, and the test of the prototype validates the proposed system.

• 대한전자공학회논문지SD
• /
• 제41권2호
• /
• pp.33-38
• /
• 2004

측면 연마된 편광 유지 광섬유와 폴리머 평면도파로가 결합된 비대칭 방향성 결합기를 이용하여 가변 광필터를 구현하였다. 소자의 최상부층 위에 형성된 마이크로 스트립 히터에 의하여 유도된 폴리머 평면도파로의 열광학 효과는 결합기의 공진파장을 이동시킨다. 제작된 소자는 720 ㎽의 인가 전력으로 230 ㎚ 이상의 넓은 가변 범위를 보였다.

• Journal of electromagnetic engineering and science
• /
• 제4권3호
• /
• pp.107-112
• /
• 2004

In this paper, the phase noise of 900 MHz VCO is improved using modified strip line square ring resonator. In order to demonstrate the phase noise improvement of the proposed VCO, the same circuit was manufactured using shorted-circuit resonator. In condition of the same bias current, the phase noise of the proposed VCO with modified square ring resonator is suppressed by 7 dB as - 103 dBc/Hz at 100 kHz offset compared to the conventional VCO with short-circuit resonator. From the proposed VCO, we achieved output power of - 4.8 dBm, harmonics suppression of 16 dB, and tuning bandwidth of 100 MHz. The proposed VCO consumed 5 mA at 3 V, and its size is 1.2 cm ${\times}$ 1.0 cm.

• JSTS:Journal of Semiconductor Technology and Science
• /
• 제13권6호
• /
• pp.589-593
• /
• 2013

An efficient measurement methodology is proposed to construct the scattering parameters of a multi-port device using a four-port vector network analyzer (VNA) without the external un-terminated ports. By using the four-port VNA, the reflected waves from the un-terminated ports could be minimized. The proposed method significantly enhances the accuracy of the S-parameters with less number of measurements compared to the results of classical renormalization technique which uses two-port VNA. The proposed method is validated from the measured data with the coupled 8-port micro-strip lines.

• 산업기술연구
• /
• 제26권B호
• /
• pp.35-41
• /
• 2006

Recently, as ultrasonic medical devices are gradually developed, many of those requires smaller and more precision coaxial cables in probe. So, the use of micro coaxial cable becomes an efficient solution for ultrasonic machine. However, there are many difficulties in stripping micro coaxial cable by traditional mechanical process. In this paper, we use the Nd-YAG laser for the efficient stripping of conduct wire of cable. We propose a new method to strip the shield wire of micro coaxial cable. Through some experiments, we found that there is a new possibility in the proposed method. Also, in order to enhance the performance, we propose a preprocess of the cable before stripping.

• 한국전자파학회논문지
• /
• 제10권4호
• /
• pp.498-505
• /
• 1999

비가역적인 특성을 갖는 페라이트 소자는 다양한 마이크로파 소자로서 사용되어져 왔다. 본 논문에서는 지 금까지 발표된 적이 없는 구조(페라이트 물질이 포함된 다증 구조인 스트립 선로)의 특성을 주파수 영역법을 이용하여 해석하였다 이 때 외부 de 자계를 접지 도체에 수직되게 가하였다고 가정하였으며, 각 파라메타와 주파수에 따른 전파상수뜰 계산하였다. 또한 기저함수(basis function)의 개수의 증가에 따른 수렴과 해석한 계산 결과의 타당성도 확인하였다 계산 결과. YIG의 두께가 증가할수록 차단되는 영역이 넓어지고, 차단되는 영역 이후의 주파수에서는 전 파상수가 작아짐을 알 수 있었다 그리고 인가되는 dc 자계 $\mu_0H_0$가 커짐에 따라 차단되는 영역의 주파수가 커짐을 알 수 있었다. 또한 스트립 선로의 시융레이션 결과가 마이크로스트립 선로의 경우보다 차단되는 영 역이 더 넓고, 전파상수기 큼을 알 수 있었다.

• 한국인터넷방송통신학회논문지
• /
• 제23권6호
• /
• pp.157-162
• /
• 2023

격자 구조형 스트립 방향성 결합기를 기반으로 한 고 민감도 굴절률 bio-sensor를 제안하였다. 그 센서는 도파관 중 하나의 상단 층에 격자 구조가 구성된, 두 개의 비대칭 스트립 도파관을 사용하여 설계하였다. 위상정합 조건을 만족하는 공진 파장에서 한 도파관으로부터 다른 도파관으로 최대 광 결합이 발생하며, 도파관 표면 영역에 놓인 분석물질의 굴절률 변화에 따른 위상정합 조건의 변화가 민감도를 측정하는 척도로 사용될 수 있음을 보여주었다. 제안된 센서는 높은 굴절률 민감도를 가진 on-chip 장치로 설계될 수 있으며, 낮은 전파 손실을 제공하여 민감도가 향상되도록 센서를 구성되었다. 더욱이, 도파관 파라미터에 따른 민감도 변화가 센서의 설계 최적화를 위하여 분석되었다.

• 대한전자공학회논문지
• /
• 제25권11호
• /
• pp.1304-1314
• /
• 1988

Porous실리콘 形成反應에서 HF濃度, 電流應度, 反應時間 및 基叛의 表面狀態가 PSL (Porous Silicon Layers)의 porosity에 미치는 影響을 실험적으로 조사하였다. PSL을 陽배化 시켜서 室溫에서 FIPPOS-SOI를 제조하는 방법을 연구하였다. 이 방법으로 100um폭의 SOI strip line을 제조하였으며 SOI의 stress제거를 위해 2단계 PSL 형성법을 이용하였다. 또한 이 실온 SOI 제조기술을 이용하여 이미 소자공정을 끝낸 집적회로를 SOI화 시킬 수 있는 방법을 제안하였다.