• 조명전기설비학회논문지
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• 제23권1호
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• pp.69-77
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• 2009

최근, LCD(Liquid Crystal Display) 산업에서 클린룸의 규모가 커짐에 따라 물류 이송 시스템인 Stocker 시스템의 사이즈가 커지고 길이가 장거리화 되고 있다. 이에 제조 업체는 생산 수율을 높이기 위해 Stocker 시스템의 전체 택타임을 줄이기 위한 방안으로 차세대 Stocker 시스템의 속도를 증가하도록 요구되어 지고 있다. 따라서 본 논문은 차세대 Stocker 시스템의 속도 증가에 대한 비접촉 전원 시스템을 제안하고 Stocker 시스템을 부하로 선정하여 장거리 및 직선구간에 동작 가능한 비접촉 전원 시스템을 제작하여 부하의 여러 운전 패턴에 따른 비접촉 전원시스템의 실증시험, 입/출력 특성 및 효율을 분석하였다.

• 대한기계학회논문집A
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• 제26권6호
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• pp.1178-1186
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• 2002

Clean stockers are being used by semiconductor and TFT-LCD manufacturers to store and buffer work in process. The only way to keep the stored product clean is to provide constant clean airflow the product and through stocker. Up to now, stockers typically have been configured to receive their laminar airflow from fan filter units that are located on the side of the stocker. This type of stocker may have such problems as complexity of structure, increment of temperature, mechanical vibration, initial investment and running cost. In this study, in order to solve the above mentioned problems, new air control system in stocker is proposed, which is to control open ratios of exits that are located on the side of the stocker without fan filter units. In this study, static pressure regain was used for the analysis of the open ratios of exits theoretically and experiment was also conducted using actual clean stocker for TFT-LCD manufacturers and CFDesign, was used for simulating airflow in stocker. As a result, open ratios of exits can be obtained by the analysis of static pressure regain and was verified by experiment and simulation results. Therefore, new air control system in stocker can be used by the semiconductor and TFT-LCD manufacturers.

• 한국산학기술학회:학술대회논문집
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• 한국산학기술학회 2006년도 추계학술발표논문집
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• pp.80-82
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• 2006

본 논문은 TRIZ를 활용하여 현재 LCD제조 라인에 사용되는 Stocker Crane의 Particle 감소 방안을 연구한 것으로 현장에서는 Particle로 인해 제품 불량의 원인이 되고 있다. Glass Cassette를 운반 시 Stocker Crane휠과 레일 사이에서 발생하는 Particle문제의 원인을 분석하고 TRIZ를 사용한 해결책을 제시하였다.

• 조명전기설비학회논문지
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• 제24권2호
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• pp.77-85
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• 2010

최근, LCD(Liquid Crystal Display) 산업에서 클린룸의 규모가 커짐에 따라 Stocker 시스템의 사이즈가 커지고 길이가 장거리화 되고 있다. 이에 제조업체는 생산수율을 높이기 위해 Stocker 시스템의 전체 택타임을 줄이기 위한 방안으로 Stocker 시스템의 속도 증가와 고유가 시대에 여러 장비들에 대한 에너지 절약을 통한 공장 운영비용이 최소화되도록 요구하고 있다. 따라서 본 논문은 차세대 Stocker 시스템의 에너지 절감과 이송 속도증가에 따른 고효율 비접촉 전원시스템(CPS, Contactless Power Supply)의 최적설계를 제안하고, 에너지 절감을 위한 비접촉 전원시스템의 시제품을 제작하여 부하인 크레인의 여러 운전 패턴에 따른 비접촉 전원시스템의 실증시험과 입/출력 특성, 효율 개선에 따른 최적화로 개발된 비접촉 전원 시스템의 에너지 절감 효과에 대하여 서술하였다.

• 대한기계학회논문집A
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• 제26권1호
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• pp.121-130
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• 2002

Clean stockers are being used by semiconductor and TFT-LCD manufacturers to store and buffer work in process. Since an important function of a stocker is to keep the contained material clean. The only way to keep the stored product clean is to provide constant clean airflow the product and through stocker, The airflow across the product prevent contamination from settling on the product. Up to now, stocker typically have been configured to receive their laminar airflow from fan filter units that are located on the side of the stocker This type of stocker may have such problems as complexity of structure, increment of temperature, mechanical vibration, initial investment and running cost. In this study, In order to solve the above mentioned problems, new air control system in stocker is proposed, which is to control open ratios of exits that are located on the side of the stocker without fan filter units. Open ratios of exits need to be optimized for the same quantities of airflow in each exit. In this study, static pressure regain was used for the analysis of the open ratios of exits theoretically and Blue Ridge Numerics FEM software, CFDesign, was used fur simulating airflow in stocker. As a result, Open ratios of exits important to provide constant clean airflow can be obtained by the analysis of static pressure regain and was verified by simulation results. Therefore, new air control system in stocker can be used by the semiconductor and TFT-LCD manufacturers.

• 한국시뮬레이션학회:학술대회논문집
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• 한국시뮬레이션학회 1999년도 추계학술대회 논문집
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• pp.30-34
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• 1999

반도체 산업의 시장은 매년 증가하고 있으며 생산환경, 설비 등의 변화로 인하여 매년 많은 수의 기존 FAB Line이 변화되고 새로이 건설되고 있다. 그 동안 반도체 산업의 성장은 주로 설계기술, 설비기술, Chip Size의 소형화 등의 기술적인 개발에 의존하고 있었으나 반도체 기술의 확산, 시장 경쟁력의 격화 등으로 생산성 향상에 의한 원가절감이 성장의 근본요인이 되고 있다. 즉 FAB Line의 시스템적인 관리통제의 기술이 반도체 산업의 성패를 좌우하는 시대로 접어든 것이다. FAB Line은 크게 Bay와 Stocker, 각 Lot (또는 Batch) 들을 운반하는 Inter-System으로 구성된다. 이러한 Line은 대체 특성, 분기 현상, 돌발 상황 등의 특수한 경우가 많아 Analytic 모델로 접근하기에는 사실상 불가능하다. 특히 Stocker와 Bay 간의 이동은 더욱 그렇다. 따라서 적절한 설계과정을 거친 Simulation적 접근이 합리적이다. 본 논문에서는 FAB Line에서 Stocker 배치의 다양한 실험을 수행하였다. 그 결과 Line에서 최적의 Stocker 수와 가동률을 알아내었다. 반도체 생산라인에서는 제품별 또는 같은 제품이라도 Version이 다른 경우 FAB 공정가운데 약 10% 내외만이 바뀌는 점을 감안하면 본 논문의 결과는 쉽게 생산현장에 적용될 수 있을 것이며, 이것은 비단 반도체 공정뿐 아니라 제조업에서도 적용되리라 예상한다.

• 제어로봇시스템학회:학술대회논문집
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• 제어로봇시스템학회 2002년도 ICCAS
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• pp.56.1-56
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• 2002

$\textbullet$ Introduction $\textbullet$ Constitution and equipment of AMHS $\textbullet$ Discussion about Using Stocker $\textbullet$ Ahead developed 300mm stockers $\textbullet$ 300mm Stocker Solution-Modular Stocker $\textbullet$ Conclusion

• 산업경영시스템학회지
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• 제34권3호
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• pp.1-7
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• 2011

The stocker system is another name of automated storage and retrieval system (AS/RS) and being popularly used as main material handling tools in Liquid Crystal Display (LCD) and semiconductor fabrication facilities. Recently the use of the stocker system has been extended to transportation from conventional storage and retrieval in LCD fabrication facilities. Toolsets are connected in the ground level of the stocker system and 4~6 stories of the shelves are placed in the upper or lower ground level. As a consequence of the more sophisticated design, move requests imposed on the system greatly increased. For solving this problem, the industry adopted the dual-robot stocker system that two robots are moving along the same guide line in the stocker system. This research develops a closed-form solution to estimate a delivery rate of the dual robot stocker system under given design and operation parameters. Using this stochastic model, industry practitioners could analyze performance levels under given various design parameters, and ultimately the model helps optimizing the design parameters.

• 조명전기설비학회논문지
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• 제21권1호
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• pp.148-156
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• 2007

본 논문은 원거리 및 직선구간에 동작되어지는 Stocker 시스템에 대해 설명하고 있다. 파티클 발생을 줄이기 위해 Stocker의 전원은 비접촉 전원장치를 사용한다. 기존 비접촉 전원장치보다 회로구성과 토폴로지를 간략화 하였다. 이를 바탕으로 시제품을 제작하여 상용화에 가능함을 보이고자 한다. 비접촉 전원장치 전체 제어 시스템의 구조는 1차측 전원공급장치와 2차측 전원공급장치간 상호 정보를 광모뎀 통신과 TMS320F243을 사용한 구조이며, 비접촉 전원장치와 출력제어를 위해 주파수 제어를 사용하였다. 본 논문에서는 광모뎀 통신을 사용함으로써 크레인의 이동부(2차측 전원공급장치)와 고정부(1차측 전원공급장치)간 1:1통신으로 제어되는 상용화 Stocker 시스템에 적용하였으며, 향후, Stocker 시스템의 멀티 Crane의 동작을 위해 비접촉 전원장치의 고정부와 이동부간 1:다수가 제어 가능하게 하는 연구가 이루어져야 할 것으로 생각된다.

• 조명전기설비학회논문지
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• 제25권10호
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• pp.23-27
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• 2011

In this paper, material handing cleanroom stocker system for thin film solar cell line of photovoltaic industry and liquid crystal display line of flat panel display industry was selected for the study. Optimum solution for stocker system's CPS(Contactless Power Supply) is approached by changing the motion pattern, optimizing design & production, and analyzing characteristics of the power system. As a result, acceleration time of X-Axis changed from 3 sec to 4 sec, changed the input characteristic of CPS within approximately 11[kW]. This result shows that extending acceleration time of the X-Axis in Stocker Crane's motion pattern can reduce the capacity of the CPS, thus saving the manufacturing cost.