• Title/Summary/Keyword: Spiral blade

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초고속 자기부상형 터보복합분자 펌프 기술 개발

  • Park, Yong-Tae;No, Seung-Guk;Kim, In-Chan;O, Hyeong-Rok
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2012.08a
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    • pp.96-96
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    • 2012
  • 복합분자펌프는 기존의 터보분자펌프 turbine blade에 spiral grooved를 추가하여 초고진공(10-8Pa)에서 저진공(330Pa)까지 넓은 압력범위에서 사용할 수 있고 이 펌프를 사용함으로서 완전 oil free한 진공시스템을 만들 수 있는 특징을 가지고 있다. 특히, 회전체를 비접촉으로 지지하는 자기베어링 방식을 적용함으로써, 진동은 극히 작고 베어링수명은 길면서 중저진공에 대한 배기속도가 크고 임의의 방향으로 접속이 가능하여 반도체 및 디스플레이 제조 공정과 같은 첨단산업의 다양한 분야에 쉽게 적용되고 있으며, 그 적용 분야와 시장은 계속 성장하고 있다. 고 진공과 배기 속도의 달성을 위해서, 고속으로 이동하는 격면과 기체분자를 충돌시켜, 기체 분자를 원하는 방향으로 유도하는 작동원리를 가지고 있다. 특히 공기분자의 밀도가 매우 낮은 희박가스 상태에서 고속 회전하는 blade로 공기분자를 쳐내면서 작동됨으로써 날개의 상하 압력차에 의한 공기력보다도 날개의 고속회전이 매우 중요시되고 압력으로는 10-1 Pa 이하의 분자영역에서 그 성능을 최고로 발휘할 수 있다. 이러한 복합 펌프의 주요 장점은 다음과 같다. 1. 10-8 Pa (10-10 torr) ~ 10 Pa (1 torr) 까지 넓은 영역에서 배기가 가능하다. 2. 탄화수계의 대하여 높은 압축특성을 가지고 있고, 윤활유를 사용하지 않으므로 얻을 수 있는 진공상태가 고청정하다(oil free). 3. 정밀 5축제어 자기베어링으로 완전히 부상하여 회전함으로서 마모가 없고 진동이 최소화하였을 뿐 만 아니라, 또한 운전음도 거의 없다. 4. 설치조건에 제한이 없고 고장이 거의 없다. 특히 복합분자펌프는 탄화수소화합물이 없는 진공을 생성시키면서 구성요소가 간단한 반면 폭넓은 진공대역을 충족하기 때문에 산업계와 연구계의 주요 첨단 분야에서 광범위하게 사용되고 있으며, 최근 반도체 및 디스플레이, 바이오엔지니어링 등의 발전으로 적용분야가 넓어지고 있다.

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초고속 자기부상형 터보복합분자 펌프 기술 개발

  • Park, Yong-Tae;No, Seung-Guk;Kim, In-Chan;O, Hyeong-Rok
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2011.08a
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    • pp.88-88
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    • 2011
  • 복합분자펌프는 기존의 터보분자펌프 turbine blade에 spiral grooved를 추가하여 초고진공(10-8 Pa)에서 저진공(330Pa)까지 넓은 압력범위에서 사용할 수 있고 이 펌프를 사용함으로서 완전 oil free한 진공시스템을 만들 수 있는 특징을 가지고 있다. 특히, 회전체를 비접촉으로 지지하는 자기베어링 방식을 적용함으로써, 진동은 극히 작고 베어링수명은 길면서 중저진공에 대한 배기속도가 크고 임의의 방향으로 접속이 가능하여 반도체 및 디스플레이 제조 공정과 같은 첨단산업의 다양한 분야에 쉽게 적용되고 있으며, 그 적용 분야와 시장은 계속 성장하고 있다. 고 진공과 배기 속도의 달성을 위해서, 고속으로 이동하는 격면과 기체분자를 충돌시켜, 기체 분자를 원하는 방향으로 유도하는 작동원리를 가지고 있다. 특히 공기분자의 밀도가 매우 낮은 희박가스 상태에서 고속 회전하는 blade로 공기분자를 쳐 내면서 작동됨으로써 날개의 상하 압력차에 의한 공기력보다도 날개의 고속회전이 매우 중요시 되고 압력으로는 10-1 Pa 이하의 분자영역에서 그 성능을 최고로 발휘 할 수 있다. 이러한 복합 펌프의 주요 장점은 다음과 같다. 1. 10-8 Pa (10-10torr)~10 Pa (1 torr) 까지 넓은 영역에서 배기가 가능하다. 2. 탄화수계의 대하여 높은 압축특성을 가지고 있고, 윤활유를 사용하지 않으므로 얻을 수 있는 진공상태가 고청정하다(oil free). 3. 정밀 5축제어 자기베어링으로 완전히 부상하여 회전함으로서 마모가 없고 진동이 최소화하였을 뿐만 아니라, 또한 운전음도 거의 없다. 4. 설치조건에 제한이 없고 고장이 거의 없다. 본 논문에서는 이러한 복합분자펌프의 개발을 위하여, 상기 연구기관에서 수행된 내용을 소개하고 있으며, 펌프 시스템의 기본 설계 및 자기베어링 시스템의 설계 결과 및 수치해석 결과를 나타내었다.

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초고속 자기부상형 터보복합분자 펌프 기술 개발

  • Park, Yong-Tae;Nam, U-Ho;No, Seung-Guk;Kim, In-Chan;No, Gyeong-Tae
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2010.08a
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    • pp.19-19
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    • 2010
  • 복합분자펌프는 기존의 터보분자펌프 turbine blade에 spiral grooved를 추가하여 초고진공 ($10^{-8}Pa$)에서 저진공(330Pa)까지 넓은 압력범위에서 사용할 수 있고 이 펌프를 사용함으로서 완전 oil free한 진공시스템을 만들 수 있는 특징을 가지고 있다. 특히, 회전체를 비접촉으로 지지하는 자기베어링 방식을 적용함으로써, 진동은 극히 작고 베어링수명은 길면서 중저진공에 대한 배기속도가 크고 임의의 방향으로 접속이 가능하여 반도체 및 디스플레이 제조 공정과 같은 첨단산업의 다양한 분야에 쉽게 적용되고 있으며, 그 적용 분야와 시장은 계속 성장하고 있다. 고 진공과 배기 속도의 달성을 위해서, 고속으로 이동하는 격면과 기체분자를 충돌시켜, 기체 분자를 원하는 방향으로 유도하는 작동원리를 가지고 있다. 특히 공기분자의 밀도가 매우 낮은 희박가스 상태에서 고속 회전하는 blade로 공기분자를 쳐내면서 작동됨으로써 날개의 상하 압력차에 의한 공기력보다도 날개의 고속회전이 매우 중요시되고 압력으로는 $10^{-1}Pa$ 이하의 분자 영역에서 그 성능을 최고로 발휘할 수 있다. 이러한 복합 펌프의 주요 장점은 다음과 같다. 1. $10^{-8}\;Pa$($10^{-10}torr$)~10 Pa(1 torr) 까지 넓은 영역에서 배기가 가능하다. 2. 탄화수계의 대하여 높은 압축특성을 가지고 있고, 윤활유를 사용하지 않으므로 얻을 수 있는 진공상태가 고청정하다. (oil free) 3. 정밀 5축제어 자기베어링으로 완전히 부상하여 회전함으로서 마모가 없고 진동이 최소화 하였을 뿐 만 아니라, 또한 운전음도 거의 없다. 4. 설치조건에 제한이 없고 고장이 거의 없다. 본 논문에서는 이러한 복합분자펌프의 개발을 위하여, 상기 연구기관에서 수행된 내용을 소개하고 이으며, 진공펌프 블레이트 로터 회전체를 포함한 구조설계 및 해석결과와 5자유도 자기베어링 시스템을 이용한 기본 구동 결과를 나타내었다.

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ANALYSES ON FLOW FIELDS AND PERFORMANCE OF A CROSS-FLOW FAN WITH VARIOUS SETTING ANGLES OF A STABILIZER

  • Kim D. W.;Kim H. S.;Park S. K.;Kim Youn J
    • Journal of computational fluids engineering
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    • v.10 no.1
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    • pp.107-112
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    • 2005
  • A cross-flow fan is generally used on the region within the low static pressure difference and the high flow rate. It relatively makes high dynamic pressure at low rotating speed because a working fluid passes through an impeller blade twice and blades have a forward curved shape. At off-design points, there are a rapid pressure head reduction, a noise increase and an unsteady flow. Those phenomena are remarkably influenced by the setting angle of a stabilizer. Therefore, it should be considered how the setting angle of a stabilizer affects on the performance and the flow fields of a cross-flow fan. It is also required to investigate the effect of the volumetric flow rate before occurring stall. Two-dimensional, unsteady governing equations are solved using a commercial code, STAR-CD, which uses FVM. PISO algorithm, sliding grid system and standard k - ε turbulence model are also adopted. Pressure and velocity profiles with various setting angles are graphically depicted. Furthermore, the meridional velocity profiles around the impeller are plotted with different flow rates for a given rotating speed.

Analysis of Performance of Cross-Flow Fan with Various Rear Guiders (리어가이더 형상변화에 따른 횡류홴 성능해석)

  • Kim, Dong-Won;Lee, Jun-Hwan;Park, Seong-Gwan;Kim, Yun-Je
    • Proceedings of the KSME Conference
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    • 2003.04a
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    • pp.2076-2082
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    • 2003
  • A cross-flow fan is widely used on many industrial fields: mining industry, automobile and home appliances, etc. The design point of the cross-flow fan is generally based on the region within low static pressure and high flow rate. It relatively makes high dynamic pressure at low speed because a working fluid passes through an impeller blade twice. However, it has low static pressure efficiency between 30% and 40% because of relative high impact loss. Recently, in the air-conditioning systems, the operating behaviors at the off-design points are highly regarded to broaden the application area for various air-cooling loads. Especially, at the lower flow rate, there exists a rapid pressure head reduction, a noise increase and an irregular flow field against a rearguider as a scroll of centrifugal fan. Numerical analyses are carried out for investigating the flow characteristics in a cross-flow fan including the impeller, the rearguider and the stabilizer. Especially, various types of rearguiders are estimated by numerical and experimental methods to insure the stable operation in the region of lower flow rate. Numerical domains are discretized by hexahedral cells. Three-dimensional, unsteady governing equations are solved using FVM, PISO algorithm, sliding grid system and standard ${\kappa}-{\varepsilon}$ turbulence model. ASHRAE standard fan tester is also used to estimate the performance of the modeled crossflow fan.

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Performance Characteristics of a Cross-Flow Fan with Various Impeller Outlet Angles and Rearguiders (임펠러 출구각 및 리어가이더 형상 변화에 따른 횡류홴의 성능 특성)

  • Kim, H.S.;Kim, D.W.;Yoon, T.S.;Park, S.K.;Kim, Youn-J.
    • Proceedings of the KSME Conference
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    • 2003.11a
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    • pp.851-856
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    • 2003
  • A cross-flow fan consists of an impeller, a stabilizer and a rearguider. When it applied for an air conditioner, an evaporator should be added. It relatively makes high dynamic pressure at low speed because a working fluid passes through an impeller blade twice and blades have a forward curved shape. Therefore, the performance of a cross-flow fan is influenced 25% by the impeller, 60% by the rearguider and the stabilizer, 15% by the heat exchanger. At the low flow rate, there are a rapid pressure head reduction, a noise increase and an unsteady flow against a stabilizer and a rearguider. Moreover, the reciprocal relation between the impeller and the flow passage is the important factor for performance improvement of the cross-flow tan because each parameter is independent. The performance characteristics in the cross-flow fan are graphically depicted with various impeller outlet angles and rearguiders.

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Performance of a Cross-Flow Fan with Various Stabilizer Positions and Rearguider Shapes (스태빌라이져 위치 및 리어가이더 형상변화에 따른 횡류홴의 성능특성 연구)

  • Kim, D.W.;Kim, H.S.;Yoon, T.S.;Park, S.K.;Kim, Yon J.
    • The KSFM Journal of Fluid Machinery
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    • v.7 no.4 s.25
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    • pp.7-15
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    • 2004
  • The design point of the cross-flow fan is generally based on the region within low static pressure and high flow rate. It relatively makes high dynamic pressure at low speed because a working fluid passes through an impeller blade twice. However, it has low static pressure efficiency between $30\%$ and $40\%$ because of relative high impact loss. The purpose of this study is to research the reciprocal relation among each parameter. Experiments and numerical analyses are conducted on effects of a stabilizer and a rearguider on performance analysis of a cross-flow fan. Two-dimensional, unsteady governing equations are solved using FVM, PISO algorithm, sliding grid system and standard $k-{\epsilon}$ turbulence model. Experiments are also carried out to estimate the performance of the modeled cross-flow fan. It is clarified that the rearguider of Archimedes type has excellent results for the most part.

Analysis of Direction Finding Accuracy for Amplitude-Phase Comparison and Correlative Interferometer Method (진폭-위상 복합비교 기법과 상관형 위상비교 기법의 방향탐지 정확도 분석)

  • Lim, Joong-Soo;Chae, Gyoo-Soo
    • Journal of Digital Convergence
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    • v.14 no.1
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    • pp.195-201
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    • 2016
  • In this paper, we present the direction finding accuracy of correlative interferometer method and amplitude-phase comparison method. Spiral antennas are used for amplitude-phase comparison method and blade antennas are used for correlative interferometer method. Those are made for uniform circular array (UCA) direction finding antenna systems. We simulate the accuracy of azimuth angle with 3 antennas UCA when SNR is 20 dB and baseline is 0.5 wave length. Correlative interferometer method has better accuracy than amplitude-phase comparison method.