The Effect of Substrate Temperature on Tribological and Electrical Properties of Sputtered Carbon Nitride Thin Film (스퍼터링 질화탄소 박막의 트라이볼로지 및 전기적 특성의 기판 온도 영향)
-
- Journal of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers
- /
- v.34 no.1
- /
- pp.33-38
- /
- 2021