• 제목/요약/키워드: SiOG

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SiOG 기판을 이용한 초소형 가속도계의 설계 및 제작 (Design and fabrication of micromachined accelerometer using SiOG substrate)

  • 정형균;안시홍;박치현;이준영;전승훈;김용권
    • 대한전기학회:학술대회논문집
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    • 대한전기학회 2004년도 추계학술대회 논문집 전기물성,응용부문
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    • pp.275-277
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    • 2004
  • This paper presents design and fabrication of micromachined accelerometer using $100{\mu}m$ thick SiOG substrate. The proposed accelerometer has a resonant frequency, 6kHz. To reduce the off-axis sensitivity of the accelerometer, the mode characteristic of the accelerometer is investigated using ANSYs modal analysis. Because the accelerometer is fabricated using an SiOG substrate, it is expected to be integrated as one-chip IMU sensor with a gyroscope using an SiOG substrate.

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SiOG 공정을 이용한 고 신뢰성 MEMS 자이로스코프 (A High Yield Rate MEMS Gyroscope with a Packaged SiOG Process)

  • 이문철;강석진;정규동;좌성훈;조용철
    • 마이크로전자및패키징학회지
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    • 제12권3호
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    • pp.187-196
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    • 2005
  • MEMS에서 제조 공정 오차 및 외부 응력은 진동형 자이로스코프와 같은 MEMS 소자의 제조 수율에 많은 영향을 미친다. 특히 비연성 진동형 자이로스코프의 경우 감지모드와 구동모드의 주파수 차의 특성은 수율에 직접적인 영향을 미친다. SOI (Silicon-On-Insulator) 공정 및 양극접합 공정으로 패키징된 자이로스코프의 경우, 노칭현상으로 인하여 구조물이 불균일하게 가공되며, 동시에 열팽창계수 차로 인하여 접합된 기판에 큰 휨이 발생한다. 그 결과주파수 차의 분포가 커지고, 동시에 수율은 저하되었다. 이를 개선하기 위하여 SiOG (Silicon On Glass) 기술을 적용하였다. SiOG 공정에서는 접합 후에 기판의 휨을 최소화 하기 위하여 1장의 실리콘 기관과 2장의 유리 기판을 사용하였으며, 노칭을 방지하기 위하여 금속 박막을 사용하였다. 그 결과 노칭 현상이 방지되었으며, 기판의 휨도 감소하였다. 또한 주파수 차의 분포도 매우 균일하게 되었으며, 주파수 차의 편차 또한 개선이 되었다. 그 결과 높은 수율 및 보다 강건한 MEMS 자이로스코프를 개발할 수 있었다.

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패키징으로 인한 응력이 MEMS 소자에 미치는 영향 분석 및 개선 (Effects of Package Induced Stress on MEMS Device and Its Improvements)

  • 좌성훈;조용철;이문철
    • 한국정밀공학회지
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    • 제22권11호
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    • pp.165-172
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    • 2005
  • In MEMS (Micro-Electro-Mechanical System), packaging induced stress or stress induced structure deformation becomes increasing concerns since it directly affects the performance of the device. In the decoupled vibratory MEMS gyroscope, the main factor that determines the yield rate is the frequency difference between the sensing and driving modes. The gyroscope, packaged using the anodic bonding at the wafer level and EMC (epoxy molding compound) molding, has a deformation of MEMS structure caused by thermal expansion mismatch. This effect results in large distribution in the frequency difference, and thereby a lower yield rate. To improve the yield rate we propose a packaged SiOG (Silicon On Glass) process technology. It uses a silicon wafer and two glass wafers to minimize the wafer warpage. Thus the warpage of the wafer is greatly reduced and the frequency difference is more uniformly distributed. In addition. in order to increase robustness of the structure against deformation caused by EMC molding, a 'crab-leg' type spring is replaced with a semi-folded spring. The results show that the frequency shift is greatly reduced after applying the semi-folded spring. Therefore we can achieve a more robust vibratory MEMS gyroscope with a higher yield rate.

조선(朝鮮) 산학(算學)과 사원옥감(四元玉鑑) (Mathematics in Chosun Dynasty and Si yuan yu jian)

  • 홍성사;홍영희
    • 한국수학사학회지
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    • 제20권1호
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    • pp.1-16
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    • 2007
  • 송(宋), 원대(元代)의 가장 중요한 산학자(算學者) 소구배(泰九韶), 이치(李治), 주세걸(朱世傑)이 19세기 조선(朝鮮)에서 연구되어 19세기 중엽 조선(朝鮮) 산학(算學), 특히 대수학 분야가 크게 발전하였다. 이 논문에서는 사원옥감(四元玉鑑)이 조선(朝鮮) 산학(算學)에 미친 영향을 조사한다. 나사림(羅士琳)의 사원옥감세초(四元玉鑑細艸)를 연구한 남병길(南秉吉)의 옥감세초상해(玉監細艸詳解), 이상혁(李尙爀)의 저서로 추정되는 사원옥감(四元玉鑑)과 이에 기초하여 저술된 남병길(南秉吉)의 산학정의(算學正義), 이상혁(李尙爀)의 익산(翼算)을 조사하여 사원옥감(四元玉鑑)과 조선(朝鮮) 산학(算學) 발전의 관계를 연구한다.

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고부피분율 SiC분말 예비성형체의 제조공정과 기계적특성 (Fabrication Process and Mechanical Properties of High Volume Fraction SiC Particle Preform)

  • 전경윤
    • 한국분말재료학회지
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    • 제7권1호
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    • pp.27-34
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    • 2000
  • The fabrication process and mechanical properties of SiC particle prefrrms with high volume fraction ranged 50∼71% were investigated to make metal matrix composites for possible applications as heat sinks in electronic packares. The SiC particle preforms with 50∼71vol% of reinforcement were fabricated by a new modified process named ball milling and pressing method. The SiC particle performs were fabricated by ball milling of SiC particles with single sized of 48${\mu}$m in diameter or two different size of 8${\mu}$m and 48${\mu}$min diameter, with collodal SiO2 as inorgnic binder in distilled water, and the mixed slurries were cold pressed for consolidation into final prefom. The compressive strengths og calcined SiC particle prefoms increased from 20MPa to 155MPa with increasing the content of inorganis binder, temperature and time for calcination. The increase of compressive strength of SiC particle bridge the interfaces of two neighboring SiC particles.

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지대치 변연 형태에 따른 수작업과 CAD/CAM으로 제작한 coping 패턴의 적합도 비교 (Comparison of the fit of the coping pattern constructed by manual and CAD/CAM, depending on the margin of the abutment tooth)

  • 한민수;권은자;최에스더;김시철
    • 한국산학기술학회논문지
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    • 제16권10호
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    • pp.6611-6617
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    • 2015
  • 본 연구는 수작업으로 제작된 metal coping과 CAD/CAM(Computer Aided Design/Computer Aided Manufacturing)으로 제작된 지르코니아 coping을 제작하여 변연과 내면 적합도를 비교 분석하고자 하였다. 모형은 우레탄 모형재를 사용하여 knife, chamfer변연 두 종류의 지대치를 제작하였다. 수작업과 CAD/CAM으로 제작된 보철물의 변연 적합도를 실리콘 리플리카 테크닉방법을 사용하여 측정하였다. 적합도 측정은 현미경의 CCD카메라로 캡쳐하였다. 이때 지대치와 보철물의 거리는 이미지분석 소프트웨어에서 거리 조정이 된 상태에서 실시하였다. 측정부위는 marginal opening을 MO, marginal gap을 MG, internal gap을 IG, Axial gap을 AG, occlusal gap을 OG로 하였다. 제작법과 변연 형태에 따른 비교분석을 위해 이원배치분산분석을 실시하였으며 서로 다른 평균값들의 비교 분석을 위해서 일원배치분산분석과 Scheffe's 사후 검정을 실시하였다. 그 결과 CAD/CAM의 OG와 knife 변연의 MO을 제외하고는 < $120{\mu}m$ 적합도를 나타냈다. CAD/CAM으로 제작된 coping은 chamfer 변연 MO에서 높은 적합도를 보였으나 MG에서는 knife변연이 chamfer변연 보다 더 좋은 적합도를 보였다. AG의 내면 적합도는 가장 좋은 값을 나타내었다(< $38{\mu}m$).

제주시 지역 일부 초등학교 비만아동의 간식 섭취 실태 (Study on snack intakes in obese elementary students in Jeju city)

  • 고양숙;이유영;채인숙;이윤경;제갈윤석;박형근
    • Journal of Nutrition and Health
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    • 제50권1호
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    • pp.85-97
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    • 2017
  • 본 연구는 제주시 지역 일부 초등학교 4 5학년 비만아동 117명 (남자 70명, 여자 47명)과 정상체중아동 117명 (남자 70명, 여자 47명)을 대상으로 일반사항, 체중감량 관련 식행동, 간식 식습관을 조사하였으며, 더불어 24시간 회상법을 이용하여 식이섭취실태를 파악함으로써 초등학교 고학년 학생들의 간식섭취 및 균형 잡힌 영양소섭취를 위한 교육자료 개발을 위한 기초자료를 제공하고자 하였으며, 연구결과는 다음과 같다. 조사대상자의 평균 신장, 체중 및 비만도는 각각 정상체중아동은 143.8 cm, 38.5 kg, -0.42%이며 비만아동은 147.5 cm, 56.6 kg, 35.4%로 모두 체중군에 따라 유의한 차이가 있었으나, 체중군별 열량 섭취량은 유의적인 차이를 보이지 않았다. 하지만 조사대상자의 체중감량 관련 식행동에서 식사량 감소 경험 유무와 살찌는 음식임을 고려하여 섭취하는 비율은 체중군별 유의적인 차이를 보였다. 조사대상자의 총 열량 섭취 열량은 아침, 점심, 저녁, 간식이 각각 289.8 kcal, 569.0 kcal, 499.2 kcal, 325.1 kcal로, 끼니별 열량 섭취 비율은 17.2%, 33.8%, 29.7%, 19.3%로 나타났다. 특히 간식으로 섭취하는 열량은 체중군별 유의적 차이는 없었으나, 특정 간식 음식을 섭취한 아동만을 대상으로 분석하였을 때, 비만군이 정상체중군에 비해 사탕 초콜릿류를 유의적으로 더 많이 섭취하고 있었다. 성별과 체중군별로 간식을 섭취하는 이유로는 공통적으로 '배가 고파서'가 64.1%, '심심해서'는 12% 순으로 나타났다. 간식 섭취 횟수에서 일반 간식의 경우 정상체중군 (2.1회/주)이 비만군 (1.6회/주)보다 자주 섭취하는 것으로 나타났고, 학교나 학원 주변에서 섭취하는 간식의 경우에는 체중군별 차이 (1회/주)가 없었다. 일반 간식과 학교나 학원 주변 간식을 합한 총간식의 섭취 횟수는 정상체중군은 3.1회/주, 비만군은 2.6회/주로 나타났다. 일반 간식에서 자주 먹는 간식 음식은 과일 과일주스, 과자 사탕 초콜릿, 우유 요구르트 순으로 높게 나타났고, 학교나 학원 주변 간식에서는 김밥 삼각김밥 떡볶이 순대, 아이스크림, 과자 사탕 초콜릿의 순으로 높게 나타났으며, 체중군별 간식 선택 음식의 종류에는 유의적 차이가 없었다. 하지만 간식음식을 저열량 고영양 간식과 고열량 저영양 간식으로 구분하고, 간식 음식선택 여부와 섭취 횟수를 고려한 섭취 수준으로 비교하였을 때에는 비만군이 정상체중군보다 저열량 고영양 간식의 섭취수준이 유의적으로 낮게 나타났다. 이상의 결과를 종합해 볼 때 본 제주의 일부 초등학교 5, 6학년 학생들은 체중군별로 비만군이 정상체중군에 비해 체중 감량을 위해 더 노력하지만, 비만군이 정상체중군보다 저열량 고영양 간식을 유의적으로 낮게 섭취하는 것을 알 수 있었다. 고열량 저영양의 부적절한 종류의 간식음식의 섭취는 하루 세끼 식사에 영향을 미치고, 영양 불균형을 초래할 수 있으므로 비만군 뿐만 아니라 정상체중군에서도 올바른 간식 선택 및 식행동 개선을 위한 영양교육이 필요하다고 사료된다. 균형 잡힌 하루 세끼 식사를 충분히 섭취한 후, 부족한 부분을 간식으로 보충할 수 있도록 영양적인 측면과 관련지어 간식 섭취에 대한 적절한 교육이 학교에서 뿐만 아니라 가정연계를 통해 체계적으로 전개되어야 하겠다.

Modulation of Drug Resistance in Ovarian Cancer Cells by Inhibition of Protein Kinase C-alpha (PKC-α) with Small Interference RNA (siRNA) Agents

  • Zhao, Li-Jun;Xu, Heng;Qu, Jun-Wei;Zhao, Wan-Zhou;Zhao, Yi-Bing;Wang, Jin-Hua
    • Asian Pacific Journal of Cancer Prevention
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    • 제13권8호
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    • pp.3631-3636
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    • 2012
  • Objective: To determine whether silence of $PKC-{\alpha}$ expression by small interference RNA (siRNA) might regulate MDR1 expression and reverse chemoresistance of ovarian cancer. Methods: We measured gene and protein expression of MDR1 and $PKC-{\alpha}$ in ovarian cancer cells and assessed their correlation with cell drug resistance. We also examined whether blocking $PKC-{\alpha}$ by RNA interference (RNAi) affected MDR1 expression and reversed drug resistance in drug sensitivity tests. Results: The drug resistance cell lines, OV1228/DDP and OV1228/Taxol, had higher gene and protein expression of MDR1 and $PKC-{\alpha}$ than their counterpart sensitive cell line, OV1228. SiRNA depressed $PKC-{\alpha}$ gene protein expression, as well as MDR1 and protein expression and improved the drug sensitivity in OV1228/DDP and OV1228/Taxol cells. Conclusion: These results indicated that decreasing $PKC-{\alpha}$ expression with siRNA might be an effective method to improve drug sensitivity in drug resistant cells with elevated levels of $PKC-{\alpha}$ and MDR1. A new siRNA-based therapeutic strategy targeting $PKC-{\alpha}$ gene could be designed to overcome the chemoresistance of ovarian cancer.

Synergy effect for performance of anionic SDS/ADS mixtures with amphoteric and nonionic surfactants

  • Noh, Hongche;Kang, Taeho;Ryu, Ji Soo;Kim, Si Yeon;Oh, Seong-Geun
    • 한국응용과학기술학회지
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    • 제33권3호
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    • pp.449-458
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    • 2016
  • Detergency and surface active properties of mixed anionic surfactants with amphoteric and nonionic were investigated. Sodium dodecyl sulfate (SDS) and ammonium dodecyl sulfate (ADS) as anionic surfactants and cocamidopropyl betaine (CAPB) as an amphoteric surfactant were used. Nonionic surfactants, which are butyl glucoside (BG), octyl glucoside (OG), decyl glucoside (DG), lauryl dimethylamine oxide (AO) and saponin were also used. To study the synergy effects of mixed SDS/ADS anionic surfactant systems, amphoteric and nonionic surfactants were added into the mixed anionic surfactants. Investigated properties of surfactant mixtures were critical micelle concentration (CMC), surface tension (${\gamma}$), wettability. In addition, based on these properties, detergency of each sample was examined. Surfactant mixtures are anionics (SDS/ADS), anionic/amphoteric/nonionic (SDS/ADS/CAPB/saponin), and anionic/nonionic (SDS/ADS/BG/saponin, SDS/ADS/OG/saponin, SDS/ADS/DG/saponin, and SDS/ADS/AO/saponin). With the addition of amphoteric and nonionic to mixed anionic surfactants, CMC and ${\gamma}$ were decreased. Addition of CAPB, which is amphoteric, showed the best property at CMC and ${\gamma}$. Furthermore, as the chain length of hydrocarbon in alkyl glucosides was increased, the CMC and ${\gamma}$ were enhanced. However, the wettability did not exactly match up with CMC and ${\gamma}$. The surfactant mixture, which contained DG, showed the best performance at wetting time. Detergency was measured at various temperatures ($15^{\circ}C$, $30^{\circ}C$, $50^{\circ}C$). The cleaning performance was enhanced by increasing washing temperature. Moreover, detergency was influenced by not only CMC and ${\gamma}$ but also wettability. Although CMC and ${\gamma}$ were not minimum at surfactant mixture that included DG, the best cleaning performance showed in that sample.

취수구 스크린 협잡물 제거를 통한 에너지 절감효과 분석 (A Study on the Energy Saving through Pollutant removal of Intake gate)

  • 김병각;박인;유시옥;장승돈
    • 대한전기학회:학술대회논문집
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    • 대한전기학회 2011년도 제42회 하계학술대회
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    • pp.930-931
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    • 2011
  • As the upsurge in oil prices and global warming, Energy saving is needed to overall industry. If The head of Intake gate screen is high. The pumping process involves a loss of energy and results in high emissions of greenhouse gases. Therefore, blockages in intake gate should be free. Another advantage of cleaning is stabilizing pumping system. Because vibration and cavitation decreases when loss of head is low.

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