$CF_4$ 첨가에 따른 polyimide 박막의 패터닝 연구
(The Patterning of Polyimide Thin Films for the Additive $CF_4$ gas)
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- 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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- 한국전기전자재료학회 2001년도 추계학술대회 논문집 Vol.14 No.1
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- pp.209-212
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- 2001