The Diameter Expansion of 6H-SiC Single Crystals by the Modification of Inner Guide Tube (새로운 가이드 튜브를 통한 6H-SiC 단결정의 직경 확장에 관한 연구)
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- Journal of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers
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- v.21 no.9
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- pp.795-800
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- 2008