• 한국진공학회:학술대회논문집
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• 한국진공학회 2012년도 제42회 동계 정기 학술대회 초록집
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• pp.114-114
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• 2012

Metal-oxide-semiconductor field-effect transistors (MOSFETs)의 critical dimension (CD)가 sub 45 nm로 줄어듬에 따라 기존에 gate dielectric으로 사용하고 있는 SiO2에서 발생되는 high gate leakage current 때문에 새로운 high dielectric constant (k) 물질들이 연구되기 시작하였다. 여러 가지 high-k 물질 중에서, aluminum-oxide (Al2O3)는 높은 dielectric constant (~10)와 전자 터널링 barrier height (~2eV) 등을 가지기 때문에 많은 연구가 되고 있다. 그러나 Al2O3를 anisotropic한 patterning을 하기 위해 주로 사용되고 있는 halogen-based 플라즈마 식각 과정에서 나타나는 Al2O3와 하부 layer간의 낮은 식각 selectivity 뿐만 아니라 표면에 발생되는 defect, stoichiometry modification, roughness 변화 등의 많은 문제점들로 인하여 device performance가 감소하기 때문에 이를 해결하기 위한 많은 연구들이 진행중이다. 따라서 본 연구에서는 실리콘 기판위의 atomic layer deposition (ALD)로 증착된 Al2O3를 BCl3/Ar 중성빔을 이용하여 원자층 식각한 후 식각 특성을 분석해 보았다. Al2O3 표면을 BCl3로 absorption시킨 후 Ar 중성빔으로 desorption 시키는 과정에서 volatile한 aluminum-chlorides와 boron oxychloride가 형성되어 layer by layer로 제거됨을 관찰 할 수 있었다.

• 한국어류학회지
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• 제21권1호
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• pp.61-64
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• 2009

우리나라의 강원도 동해 주변해역에서 둑중개과 Icelus속에 속하는 한국미기록종 어류 4개체(표준체장 114.2~134.2 mm)를 채집하였다. 본 종은 후두부에 한 쌍의 강한 가시와 몸의 등쪽과 배쪽에 구별되는 비늘 열을 가지고 있고, 체측에 흰색의 벌레먹은 무늬가 나타나며, 두부 뒤쪽에 작은 비늘이 산재하는 특징을 보였다. 이러한 특징을 바탕으로 이 종을 Icelus stenosomus Andriashev로 동정하였으며 국명을 '무늬줄가시횟대'라고 명명하였다.

• 한국진공학회지
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• 제13권3호
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• pp.114-119
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• 2004

Si 원료물질로 $SiH_2Cl_2$, N 원료물질로 $NH_3$를 사용하여 증착온도 $550^{\circ}C$에서 P-type Si (100) 기판위에 실리콘 질화막을 원자층 증착 방법으로 형성하고 물리적, 전기적 특성을 평가하였다. 증착된 박막의 두께는 증착 주기의 횟수에 대해 선형적으로 증가하였고, Si와 N 원료물질의 공급량이 $3.0\times10^{9}$ L 일 때 0.13 nm/cycle의 박막 성장속도를 얻을 수 있었다. 원자층 증착된 박막의 물리적 특성을 기존의 저압화학증착 방법에 의해 증착된 박막과 비교한 결과, 원자층 증착 방법을 사용함으로써 기존의 방법보다 증착온도를 $200 ^{\circ}C$이상 낮추면서도 굴절률 및 습식에칭 속도 측면에서 유사한 물성을 가진 실리콘 질화막을 형성할 수 있었다. 특히, 원자층 증착된 박막의 누설 전류밀도는 3 MV/cm의 전기장에서 0.79 nA/$\textrm{cm}^2$로서 저압화학증착 방법에 의해 증착된 질화막의 6.95 nA/$\textrm{cm}^2$보다 우수하였다.

• 농업과학연구
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• 제48권1호
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• pp.103-117
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• 2021

The severe effects of climate change, such as global warming and the El Niño phenomenon, have become more prevalent. In recent years, natural disasters such as drought, heavy rain, and typhoons have taken place, resulting in noticeable damage. Korea is affected by droughts that cause damage to rice fields and crops. Societal interest in droughts is growing, and measures are urgently needed to address their impacts. As the demand for high-quality agricultural products expands, farmers have become more interested in water management, and the demand for field irrigation is increasing. Therefore, we investigated water demand in the irrigation of drought-vulnerable crops. Specifically, we determined the water requirements for crops including cabbage, red pepper, apple, and bean in four regions by calculating the consumptive water use (evapotranspiration), effective rainfall, and irrigation capacity. The total consumptive water use (crop evapotranspiration) estimates for Dangjin-si (cabbage), Yesan-gun (apple), Cheongyang-gun (pepper) in Chungnam, and Goesan-gun (bean) in Chungbuk were 33.5, 206.4, 86.1, and 204.5 mm, respectively. The volumes of groundwater available in the four regions were determined to be the following: Dangjin-si, 4,968,000 m³; Yesan-gun, 4,300,000 m³; Cheongyang-gun, 1,114,000 m³, and Goesan-gun, 3,794,000 m³. The annual amounts available for the representative crops, compared to the amount of evapotranspiration, were 313.9% in Dangjin-si, 29.5% in Yesan-gun, 56.1% in Cheongyang-gun, and 20.1% in Goesan-gun.

• 한국조경학회지
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• 제43권2호
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• pp.114-124
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• 2015

도시에서 도시공원은 여러 측면에서 도시민의 삶의 질 향상에 기여하고 있으며, 도시계획 시설로서 도시공원의 중요성은 점점 높아지고 있다. 본 연구에서는 수원시를 대상으로 도시지역에서 공원서비스의 적정성을 판단하기 위해 공원 이용권 분석 시 분석기법과 토지이용 유형에 따른 차이를 고찰하고 다음과 같은 결론을 도출하였다. 도시공원 이용권율은 버퍼분석과 네트워크 분석 등 분석기법에 따라 이용권율이 현저한 차이를 보이고 있어, 수원시의 경우 네트워크 분석으로 산출한 이용권율은 버퍼분석으로 산출한 이용권율의 41%에 그치고 있었다. 그러나 현재 기초자치단체에서 공원녹지 기본계획 수립 시 버퍼분석을 활용하여 공원 서비스율을 산정하고 있어, 현재 공급되는 공원녹지 면적이 실제 이용자에게 서비스되는 공원녹지 면적보다 넓게 나타날 수 있다는 점이 고찰되었다. 또한 전체 도시면적과 주거 상업면적 등 토지이용에 유형에 따라서 도시공원 이용권의 차이도 도출되어 향후 공원녹지기본계획 수립 지침작성에 있어 이들에 대한 보완이 요구된다. '녹색복지'의 실현을 위해서는 공원면적의 양적 확충도 중요하지만 인구규모, 인구밀도, 토지이용 유형 등 도시특성에 대한 고려가 필요하다.

• 보존과학연구
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• 통권22호
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• pp.93-114
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• 2001

The composition analysis of Danchung pigments at Geunjeongjeon Hall in Gyeongbokgung Palace were carried out by FXRF and MXRD. The analytical result of the inside pigments at Geunjeongjeon showed that these painted in use the mineral pigments. Gold pigment was pure gold(Au).The main composition identified in green pigments were chalcanthite($CuSO_4$.$5H_2O$) and celadonite($K(Mg, Fe, Al)_2$.$(Si, Al)_4O_10(OH)_2$ ). Red pigments werecinnnabar(HgS).The analytical result of the outside pigments at Geunjeongjeon revealed that these applied to the artificial synthetic pigment. Yellow pigment was chromeyellow($PbCrO_4$). The main composition identified in red pigments were red lead($Pb_3O_4$)and hematite($Fe_2O_3$). Green pigments were emeral green($C_2H_3A_s3Cu_2O_8$) and chromegreen($Cr_2O_3$). Blue pigment was lazurite($Na_6Ca2Al_6Si_6O_24(SO_4)_2$), titanium dioxide($TiO_2$) of white pigment.

• Journal of Welding and Joining
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• 제13권1호
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• pp.103-114
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• 1995

Plasma Transferred arc(PTA) hard facing process has been developed to obtain an overlay weld metal having excellent wear resistance. The effect of Ti, TiSi$_{2}$ and TiC powders addition on the surface of Aluminum alloy 5083 has been investigated with PTA process. This paper describes the result of test the performance of the overlay weld metal. The result can be summarized as follows 1. Intermetallic compound is formed on surface of base metal in Ti or TiSi$_{2}$ powder but the reaction with surface of base metal is little seen in TiC powder. 2. In formation of composite layer on aluminum alloy surface by plasma transferred arc welding process, high melting ceramics like TiC powder is excellent. 3. The multipass welding process is available for formation of high density of powder. But the more number of pass, the less effect of powder, it is considered, and limits of number of pass. 4. By increasing area fraction of TiC powder on Al alloy surface, in especially TiC powder the hardness increase more than 40% area fraction and 88% shows about Hv 700.

• 한국결정성장학회지
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• 제11권3호
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• pp.111-114
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• 2001

초음파분무를 이용한 MOCVD법으로 전도성 산화물 (Ba,Sr)RuO$_3$ 박막을 Si(100) wafer위에 제조하였다. XRD 측정 결과 BSR박막은 (110) 배향성을 가지고 성장하였으며 500$^{\circ}C$ 이상의 증착온도에서 결정성장이 양호하였다. Ba과 Sr의 조성비의 차이에 따라 AFM 측정결과 Ba에 대한 Sr의 비가 증가함에 따라 grain크기가 증가하였다. 또한 비저항의 측정을 통해 Ba에 대해 Sr의 비의 증가에 따라 BSR 박막의 비저항이 415에서 261$\mu$$\Omega$${\cdot}$cm로 감소하였다.

• 한국주조공학회지
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• 제24권2호
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• pp.108-114
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• 2004

$Al_2O_3$, SiC reinforced Al matrix composites were fabricated by centrifugal spray casting method and their wear resistance characteristics have been studied. Particles are generally uniformly distributed in the microstructure of as-cast specimens. In order to investigate the effect of secondary deformation, hot rolling was performed for each specimen of pure Al matrix composites with a reduction of 10, 20, 30, 40 and 50% at $400{\sim}500^{\circ}C$, respectively. Microstructure of specimen showed that particle distribution density and hardness increased because of increasing of reduction ratio. Wear test with a various sliding velocity of 1.98, 2.38, 2.88 and 3.53m/sec showed that the wear resistance characterization of composite improved remarkably compared to the normal alloy and performs without reinforced particles. Microstructural observation for the worn surface of pure Al specimens without particles showed that a change in wear mechanism seemed to separate layer by surface fatigue. In other case of Al composite reinforced with $Al_2O_3$ and SiC, the grinder type of wear mechanism was shown.

• 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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• 한국전기전자재료학회 2006년도 하계학술대회 논문집 Vol.7
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• pp.114-115
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• 2006

반도체 기술이 초고집적화 되어감에 따라 공정에서 선폭이 줄어들고, 박막을 다층으로 제조하는 것이 중요하게 되었다. 이와 같은 제조 공정 하에서는 Si 기판과 금속 박막간의 확산이 커다란 문제로 부각되어 왔다. 특히 Cu는 높은 확산성에 의하여 Si 기판과 접합에서 많은 확산에 의한 문제가 발생하게 되며. 또한 선폭이 줄어듦에 따라 고열이 발생하여 실리콘으로 spiking이 발생하게 된다. 이를 방지하기 위하여 우리는 3개의 화합물로 구성된 Tungsten-Carbon-Nitrogen (W-C-N) 확산방지막을 사용하였다. 실험은 물리적 기상 증착법 (PVD)으로 질소비율을 변화하며 확산방지막을 증착하였고, 이를 여러 온도에서 열처리하여 X-ray Diffraction 분석을 하였다.