• 제목/요약/키워드: Si(111)

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SPM 기술과 고분자 분석 (Scanning Probe Microscopy and Polymer)

  • 윤완수
    • 한국고분자학회지:고분자과학과기술
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    • 제15권3호
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    • pp.363-373
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    • 2004
  • 1980년대 초, IBM의 과학자들에 의해 양자역학 현상에 기초한 새로운 현미경이 발명되었다. 뾰족한 금속 팁에 전압을 걸고 전도성 시료의 표면에 접근시키면, 팁이 표면에 접촉하기 직전에 터널링에 의한 전류가 흐르게 된다. 이 전류는 거리에 매우 민감해서 고체 표면에 배열된 원자들에 의해 형성되는 표면 굴곡 (surface corrugation)이 분간 가능하였다. 이 기계가 바로 STM (Scanning Tunneling Microscope)이다 (그럼 1). 이 발명이 있기까지의 약 2세기 가량의 시간 동안 "누구에 의해서도 결코 감지된 적 없는" (H. J. Robinson, Physics Today, March, 24, 1984.) 원자와 분자는 과학자들의 논리 속에 이론상으로 존재할 뿐이었다. STM의 발명으로 인해 인류는 바야흐로 개개의 원자와 분자를 직접적으로 감지할 수 있게 되었던 것이다. 처음으로 STM을 이용하여 원자해상도로 본 표면은 실리콘의 안정한 표면인 Si (111)-7${\times}$7 표면이었는데, 이러한 실리콘 표면의 STM 사진의 예를 그림 2에 나타내었다. (중략)타내었다. (중략)

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RF 마그네트론 스퍼터를 이용한 TiN 박막 제조 및 특성 분석 (Preparation and properties of TiN thin films using RF magnetron sputter)

  • 유창준;심연아;문종하;김상섭;김진혁
    • 한국재료학회:학술대회논문집
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    • 한국재료학회 2003년도 춘계학술발표강연 및 논문개요집
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    • pp.185-185
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    • 2003
  • TiN 박막을 Ti 타겟을 이용하여 Si(001) 기판위에 반응성 RF 마그네트론 스퍼터 방법으로 제조하였다. 반응성 스퍼터링시 온도를 $600^{\circ}C$로 고정하고 $N_2$/Ar비, 공정압력, RF파워를 변화시키면서 박막을 제조하였고 각각의 공정조건에 따른 TiN 박막의 결정성 변화를 XRD, SEM, TEM, HRTEM을 이용하여 조사하였다. 그 결과 TiN 박막은 $N_2$/Ar비가 작을 경우 공정압력이 커짐에 따라 (001) 배향에서 (111) 배향으로 바뀜을 확인하였다. 또한 $N_2$/Ar비가 클 경우는 공정압력이 증가함에 따라(001) 우선 배향성이 향상됨을 확인하였다. 이런 결정성 변화가 전기적 특성에 미치는 영향에 관하여 논의할 것이다.

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전해질 용액의 농도가 단결정 Si의 마찰거동에 미치는 영향 (Effect of Electrolytic Concentration on Frictional Behavior of Single Crystal Silicon)

  • 임대순
    • Tribology and Lubricants
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    • 제7권2호
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    • pp.46-50
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    • 1991
  • The Frictional behavior in single crystal (111) p-type silicon as influenced by electolytic solutions have been studied. Linear scratching by diamond indentor was carried out to show the variation of friction between silicon and diamond indentor immersed in electrolytic solutions. The results indicate that concentration of the solutions influence the fricational coefficient. In addition there is a correlation between measured zeta-potential and frictional coefficients. The zeta-potential in various concentrations was measured to estimate the variation of the Peierls energy. The proposed model predicts a minimum frictional coefficient near a concentration of $10^{-3}$ M/l NaOH in deionized water and explains the chemomechanical effect observed in this study.

GaN박막 성장용 HVPE장치 제작 및 박막성장 (Thin Film Growth and Fabrication of HVPE system for GaN Growth)

  • 송복식;정성훈;문동찬;김선태
    • 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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    • 한국전기전자재료학회 1995년도 추계학술대회 논문집
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    • pp.97-101
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    • 1995
  • GaN films were prepared on Si(111) substrates by hydride vapor phase epitaxy (HVPE) on HCl-NH$_3$-N$_2$gas system. Effects of HCl gas flow rate on the film investigate under deposition conditions of flow time of 10min, 20min, 30min. The deposition rate increased with increasing HCl gas flow rate in the range of 10cc/min to 40cc/min and deposition time. Strung (00.2) oriented GaN film was obtained at a lower HCl flow rate and improved of the surface morphology.

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수면곡선계산법의 적용에 대한 연구 -HEC-2모형 이용을 중심으로- (On Application of Computation Method of Water Surface Profile Using HEC-2)

  • 이정규;이창해
    • 물과 미래
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    • 제26권3호
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    • pp.103-111
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    • 1993
  • 자연하천의 수면곡선을 계산하기 위하여 표준축차계산법에 근거하 HEC-2모형을 이용하는 것이 일반적이다. 상류흐름에서 수면곡선의 계산은 일반적으로 하류에서 상류로 수행해 나간다. 그러나 이와 반대로 기준수면고가 상류지점에만 있는 경우, 하류쪽의 수면고들을 계산하고자 할 때는 많은 노력과 시간이 필요하게 된다. 이러한 경우에도 HEC-2를 이용하여 간편하게 상류에서 하류로 수면곡선을 계산하는 방법을 제안하였으며, 이 방법을 균일수로와 자연하천에 적용하여 타당성과 정밀도를 검토하였다.

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RF-Magnetron Sputtering에 의한 Bi-Sr-Ca-Cu-O 초전도 박막의 제조 (Fabrication and Bi-Sr-Ca-Cu-O Superconducting Thin Films by RF Magnetron Sputtering)

  • 홍철민;박현수
    • 한국세라믹학회지
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    • 제31권2호
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    • pp.227-233
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    • 1994
  • The Bi-Sr-Ca-Cu-O thin films were deposited by RF-magnetron sputtering method on Si(P-111) wafer without a buffer layer and annealed at various temperatures in oxygen atmosphere. The temperature dependence of electrical resistance, the microstructure of intermediate phase, and the surface morphology of films were examined by four probe method, XRD, and SEM, respectively. The chemical composition and the depth profile of the films were determined by ESCA spectra. Thin films annealed at $600^{\circ}C$ and $700^{\circ}C$ in oxygen atmosphere showed onset temperatures of 90 K and 85K, and Tc(zero) of 22K and 31K, respectively. The sample annealed at $700^{\circ}C$ had the highest volume fraction of superconducting phase and showed smooth microsturcture. In ESCA spectra, the thin films were homogeneous with depth.

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열처리한 ZnO 박막 내의 산소 농도 변화에 따른 구조적, 광학적 특성 연구 (Effect of Oxygen Contents in Thermal Annealed ZnO films on Structural and Optical Properties)

  • 이주영;김홍승;정은수;장낙원
    • 한국전기전자재료학회논문지
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    • 제18권7호
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    • pp.600-604
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    • 2005
  • We studied that structural and optical properties of ZnO films depend on oxygen contents. ZnO films were deposited on Si (111) substrates at room temperature by rf sputtering system and the thickness of films was 100 nm. The ZnO films were annealed in thermal furnace for 2 h at 800 and $900^{\circ}C$ in $H_2O,\;N_2$, and air ambient gases to control oxygen contents. We used AES, PL, XRD, AFM. As our result, crystal quality and luminescence improved until O/Zn is 1. However, when O/Zn ratio Is larger than 1, the structural and optical properties were getting worse.

Synthesis of Diamond Thin Film by Helicon Plasma Chemical Vapor Deposition

  • Hyun, Jun-Won;Kim, Yong-Kin
    • Transactions on Electrical and Electronic Materials
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    • 제1권1호
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    • pp.1-5
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    • 2000
  • Diamond films have been achieved on Si(100) substrates using helicon plasma chemical vapor deposition(HPCVD), Gas mixtures with methane and hydrogen have been used. The growth characteristics were investigated by means of X-ray photoelectroton spectroscopy, Atomic force microscopy and X-ray diffraction. We obtained a plasma density as high as 10$\^$10/~10$\^$11/ cm$\^$-3/ by helicon source. The smooth(100) faces of submicron diamond crystallites were found to exhibit pyramidal shaped architecture, The XPS spectrum for the nucleation layer indicates the presence of diamond at 285.4 eV, close to the reported value of 285.5 eV for diamond , XRD results demonstrates the existence of polycrystalline diamond as the diamond (111) and (220) peaks.

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