Properties and Thermal Stability of PECVD a-$SiN_x$ :H Films.
(PECVD a-$SiN_x$ :H 박막(薄膜)의 특성(特性)과 열적안정성(熱的安定性))
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- Solar Energy
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- v.6 no.1
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- pp.12-23
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- 1986