• 제목/요약/키워드: Semiconductor materials

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RF 마그네트론 스퍼터링 공정 조건에 따른 AlN 박막의 배향성, 표면 거칠기 및 압전 특성에 관한 연구 (Orientation, Surface Roughness and Piezoelectric Characteristics of AlN Thin Films with RF Magnetron Sputtering Conditions)

  • 방정호;장동훈;강성준;김동국;윤영섭
    • 대한전자공학회논문지SD
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    • 제43권4호
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    • pp.1-7
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    • 2006
  • RF 마그네트론 스퍼터링 방법을 이용하여 $Ar/N_2$ 가스비와 기판 온도 변화에 따른 AlN 박막의 배향성과 표면 거칠기 그리고 압전 특성의 변화를 조사하였다. 특히, $Ar/N_2$=10/10 (sccm), 기판 온도 $400^{\circ}C$ 일 때 가장 우수한 (002) 배향성을 얻을 수 있었다. AFM 을 이용하여 표면 거칠기를 분석한 결과, 기판 온도 $400^{\circ}C$ 인 경우 $Ar/N_2$ 가스비의 변화에 대해서는 $N_2$의 분압비가 증가할수록 표면 거칠기 특성이 좋아지는 것으로 나타났으며 $Ar/N_2$=0/20 (sccm) 일 때 2.1 nm 로 가장 작은 값을 나타내었다. $Ar/N_2$=10/10 (sccm) 인 조건에서 기판 온도 변화에 대한 표면 거칠기 특성은 기판 온도가 상온에서 $300^{\circ}C$ 로 증가함에 따라 향상되는 경향을 보였으며, $300^{\circ}C$ 에서 3.036 nm 로 최소값을 나타낸 후, 기판 온도가 $300^{\circ}C$ 이상으로 상승하면 표면 거칠기는 다시 열악해지는 것을 확인할 수 있었다. Pneumatic probe 방법을 이용하여 압전 특성을 측정한 결과, $Ar/N_2$=10/10 (sccm), 기판 온도 $400^{\circ}C$ 일 때 Piezoelectric constant ($d_{33}$)=6.01 pC/N 이라는 가장 우수한 값을 나타내었으며, 이는 AlN 박막이 가장 좋은 (002) 배향성을 갖는 조건과 일치하는 것이다.

유연 InGaP/GaAs 2중 접합 태양전지 모듈의 신뢰성 확보를 위한 실험 및 수치 해석 연구 (Reliability Assessment of Flexible InGaP/GaAs Double-Junction Solar Module Using Experimental and Numerical Analysis)

  • 김영일;;좌성훈
    • 마이크로전자및패키징학회지
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    • 제26권4호
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    • pp.75-82
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    • 2019
  • 유연 태양 전지는 최근 휴대용 배터리, 웨어러블 소자, 로봇, 드론 및 비행기와 같은 광범위한 응용 분야로 인해 큰 주목을 받고 있다. 특히, 고효율 및 높은 신뢰성을 갖는 유연 실리콘 및 화합물 반도체 태양 전지의 요구가 계속 증가하고 있다. 본 연구에서는 유연 InGaP/GaAs 2중 접합 태양전지 모듈을 개발하였다. 특히 제작된 유연 태양전지 모듈의 신뢰성을 확보하기 위하여, 풍속 및 주위 온도가 태양 전지 작동 온도에 미치는 영향을 수치해석으로 분석하였다. 3종류의 풍속(0 m/s, 2.5 m/s 및 5 m/s) 및 2종류의 주변 온도 조건(25℃ 및 33℃)에 대하여 태양 전지 모듈의 온도 분포를 해석하였다. 유연 태양전지 모듈의 유연성은 굽힘 시험 및 굽힘 수치해석을 통하여 평가하였다. 25℃ 온도조건에서 풍속이 0 m/s 일 때, 태양 전지 셀의 최대 온도는 149.7℃이다. 풍속이 2.5 m/s로 증가되었을 경우, 태양 전지의 온도는 66.2℃로 크게 감소되었다. 또한 풍속이 5 m/s 인 경우, 태양 전지의 온도는 48.3℃로 급격히 감소함을 알 수 있었다. 주변 온도 또한 태양 전지의 작동 온도에 영향을 미친다. 2.5 m/s의 풍속에서 주변 온도가 33℃로 증가할 경우, 태양 전지의 온도는 74.2℃로 약간 증가하였다. 따라서 태양 전지 셀의 온도에 영향을 미치는 가장 중요한 인자는 풍속으로 인한 열 방출 효과임을 알 수 있었다. 또한 태양 전지의 최대 온도는 사용된 소재들의 유리 전이 온도보다 낮기 때문에, 열 변형 및 모듈의 열화 가능성은 매우 낮을 것으로 예측된다. 제작된 태양전지 모듈은 굽힘 반경 7 mm까지 굽힐 수 있어 비교적 우수한 유연성을 갖고 있었다. 또한 향후 neutral plane 해석을 통하여 태양전지 셀을 neutral plane에 위치시키면 유연성이 크게 증가할 것으로 예측된다.

자궁경부암에서 근치적 방사선치료 후의 직장 합병증 (Rectal Complication Following Radical Radiotherapy in Carcinoma of the Uterine Cervix)

  • 김원동;박우윤
    • Radiation Oncology Journal
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    • 제24권1호
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    • pp.44-50
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    • 2006
  • 목적 : 자궁경부암의 치료에 있어서 고선량률 강내치료를 포함하는 근치적 방사선치료는 매우 중요한 역할을 담당한다. 저자는 근치적 방사선치료 후 발생하는 만성 직장 합병증의 빈도와 이에 연관된 여러 치료요인들을 분석함으로써 합병증과 관련된 예후인자를 파악하고자 하였다. 대상 및 방법 : 1995 년 7월부터 2001 년 12월까지 자궁경부암으로 진단받고 근치적 방사선치료로 외부 방사선치료 와 고선량률 강내치료를 모두 받은 환자 105 명을 대상으로 하였다. 외부 방사선치료의 총 방사선량 중앙값은 50.4Gy $(41.4{\sim}56.4 Gy)$이고 고선량률 강내치료는 이리듐 (Iridium)-192를 이용하여 A point에 $ 4{\sim}5Gy$ ( 중앙값 4Gy), 분할 횟수는 $5{\sim}7$회 ( 중앙값 6 회 )로 주 2회 조사하여 총 $20{\sim}35 Gy$ ( 중앙값 24 Gy) 를 조사하였다. 강내치료 도중 반도체 선량계를 이용하여 직장선량을 직접 측정하였다. 환자의 중앙 추적기간은 32 개월 ($5{\sim}84$ 개월 ) 이었다. 결과 : 만성 직장 합병증은 12명 (11%)에서 관찰되었다. 7명은 grade 1, 2, 4 명은 grade 3, 1 명은 grade 4 였다. 이들은 모두 직장출혈이 주 증상이었다. 직장 합병증이 발생하기까지의 기간은 방사선치료 종료 후 $5{\sim}32$ 개월 ( 중앙값 12 개월 )이었다. 다변량 분석상 측정 누적 직장 BED $(Gy_3)$$115 Gy_3$ (Deq 로는 69 Gy) 를 넘는 경우, 5 Gy 등선량 체적길이 (D)가 50mm가 넘는 경우에는 통계적으로 유의하게 만성 직장 합병증의 가능성이 증가하였다. 결론 : 자궁경부암에서 고선량률 강내치료시 반도체 선랑계를 이용한 측정 누적 직장 BED 와 5 Gy 등선량 체적 갚 이를 계산함으로써 만성 직장 합병증을 예측하고 그 가능성을 줄일 수 있을 것이다.

동적 심근관류 SPECT에서 심장의 위치 측정방법에 대한 고찰 (An Optimization Method of Measuring Heart Position in Dynamic Myocardial Perfusion SPECT with a CZT-based camera)

  • 성지혜;이동훈;김은혜;정우영
    • 핵의학기술
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    • 제23권1호
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    • pp.75-79
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    • 2019
  • 관상동맥 혈류예비능(CFR)은 관상동맥 협착에 대한 기능적 평가를 하는데 중요한 지표로 사용되고, 허혈성 심장질환(IHD)의 발생을 조기에 진단할 수 있다. 최근 도입된 Discovery NM 530c (D530c) 장비의 구조적 특성으로 인해 동적인 영상 획득이 가능해졌고, 심근 혈류 및 관상동맥 혈류예비능의 측정을 할 수 있게 되었다. D530c 19개 CZT 검출기의 FOV가 교차되는 영역을 QFOV라고 하며, 영상의 질을 위해 QFOV 중앙으로부터 2 cm 이내 심장을 위치시키고 촬영할 것을 권고하고 있다. 동적 심근관류 SPECT 시에 심장의 위치를 선정하기 위한 최적화된 방법을 연구하였다. 심장의 위치를 측정하기 위한 도구로 이동형 초음파를 이용하였다. 환자는 parasternal long-axis view (PLAX) 스캔하였고, 심장 내 구조물이 잘 보이는 탐촉자 지점에 위치를 표시하였다. 환자의 신체에 표시한 지점과 D530c 검출기에 표시된 기준점을 서로 일치시킨 상태에서 약물부하(stress)를 하였고, 방사성동위원소를 순간주사(bolus injection) 하면서 동적 촬영을 시행하였다. 3시간 경과 후, 휴지기(rest) 촬영 시 QFOV 중앙에 심장이 위치하도록 조정하였다. 테이블 및 검출기 위치에 대하여 이동형 초음파를 이용한 dynamic stress와 QFOV 중앙에 위치시킨 rest의 좌표를 비교 분석한 결과, 모든 항목에서 통계적으로 유의한 차이가 없었다(P > 0.05). 이동형 초음파의 이용은 비교적 사용이 간편하면서 시간 단축과 함께 공간의 제약이 없었고, 심장의 정확한 위치 선정에 도움이 되었다. 이는 영상의 질향상과 환자의 불필요한 방사선 피폭을 최소화하고, 심근혈류 및 관상동맥 혈류예비능의 정량적 평가에 도움을 줌으로써 임상적 진단에 효과적일 것으로 사료된다.

반도체 심근 전용 감마카메라를 이용한 Rest 99mTc-sestaMIBI/Stress201Tl 이중 동위원소 심근 관류 동시 스캔에 관한 임상적 고찰 (Clinical Study of Simultaneous Acquisition Rest 99mTc-sestaMIBI/Stress 201Tl Dual-Isotope Myocardial Perfusion Imaging with a Solid-State Dedicated Cardiac Gamma Camera)

  • 반영각;김동희;최용훈;강천구;김재삼
    • 핵의학기술
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    • 제22권2호
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    • pp.88-91
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    • 2018
  • 본 연구는 반도체 심근 전용 감마카메라를 이용하여 단시간에 검사가 가능한 이중 동위원소 심근 관류 동시스캔에 대해 임상적으로 연구 해보고자 한다. 심장 전용 감마카메라를 사용하여 Rest/Stress $^{99m}TC$-sestaMIBI 당일 심근관류 스캔과 Rest $^{99m}TC$-sestaMIBI/Stress $^{201}Tl$ 이중 동위원소 심근 관류 동시 스캔을 같이 검사한 86명의 환자 중 검사 결과가 동일하고 임상적으로 심장질환의 변화가 없는 환자 36명을 대상으로 분석 했다. 두 검사의 영상의 상관성을 확인하기 위해 QPS 프로그램을 이용하여 정량적 값을 통계적으로 분석 했다. Rest/Stress $^{99m}TC$-sestaMIBI 당일 심근관류 스캔과 $^{99m}TC$-sesta MIBI/Stress $^{201}Tl$ 이중 동위원소 심근 관류 동시 스캔을 summed score에서 상관도를 분석했다. RSS의 $R^2$ 값은 0.91로 나왔고, SSS의 $R^2$ 값은 0.71로 나왔다. $^{99m}TC$-sestaMIBI/Stress $^{201}Tl$ 이중 동위원소 동시 검사는 기존 당일 검사와 상관성을 확인했다. $^{99m}TC$-sestaMIBI/Stress $^{201}Tl$ 이중 동위원소 동시 검사는 검사시간이 약 30분만에 완료가 가능하다. 응급환자나 고령의 환자 등 짧은 검사시간이 필요한 환자에게 임상적으로 도움이 될 것으로 사료된다.