The Micro Bubble Effect in the Seed Adhesion on the Crystal Quality of 6H-SiC grown by a Physical Vapor Transport (PVT) Process (종자정 부착 시 생성되는 마이크로 기공이 PVT법에 의하여 성장시킨 6H-SiC 결정질에 미치는 영향)
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- Journal of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers
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- v.21 no.3
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- pp.222-226
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- 2008