• 제목/요약/키워드: SOG기술

검색결과 24건 처리시간 0.028초

직접 Printing 기술을 이용한 hydrogen silsesquioxane (HSQ) 아날로그 나노 패턴 제작 기술에 대한 연구

  • 양기연;오상철;이헌
    • 한국재료학회:학술대회논문집
    • /
    • 한국재료학회 2010년도 춘계학술발표대회
    • /
    • pp.30.1-30.1
    • /
    • 2010
  • Hydrogen silsesquioxane (HSQ)는 spin-on glass (SOG)의 일종으로 spin-coating이 가능하며 $400^{\circ}C$ 이상의 고온에서의 어닐링을 통해 silica로 변환되는 물질이다. 이 물질은 가시광선 영역에서 95% 이상의 높은 투과도를 나타내며 산화물로의 변환 공정이 간단하며 표면 개질이 용이하기 때문에 나노 바이오, 반도체, 광전자 소자 등의 다양한 분야로의 적용이 기대되는 물질이다. 최근 나노 기술의 발전에 따라 다양한 나노 구조물을 이용하여 소자들의 효율을 향상시키는 연구가 활발하게 진행되고 있다. 따라서 HSQ를 이용하는 소자의 효율을 높이기 위해서는 쉽고 간단하면서 생산성이 높은 HSQ 나노 구조물 제작 기술에 대한 연구가 필요하다. 현재 개발된 대면적 HSQ 나노 구조물 제작 기술로는 e-beam lithography, x-ray lithography, room temperature nanoimprint lithography 등이 있다. 하지만 이와 같은 나노 패터닝 기술들은 생산성이 낮거나 공정이 복잡한 단점이 있다. 본 연구에서는 poly(dimethylsiloxane) (PDMS) mold를 이용한 직접 printing 기술을 통해 HSQ 나노 구조물을 제작하는 기술을 개발하였다. 이 기술은 대면적에 간단한 기술로 HSQ 나노 패턴을 제작할 수 있으며 master mold의 패턴이 그대로 HSQ layer로 전사되기 때문에 제작이 까다로운 아날로그 패턴도 손쉽게 제작할 수 있는 장점을 가지고 있다. 따라서 이와 같은 HSQ 직접 printing 기술을 이용하여 HSQ 아날로그 나노 패턴을 제작하고 이의 응용기술에 대한 연구를 진행하였다.

  • PDF

한국 남해에서 출현한 옥돔과(Malacanthidae) 어류 1 미기록종 Hoplolatilus chlupatyi 치어의 형태기재 및 분자동정 (Morphological description and molecular identification of juvenile of the previously unrecorded species Hoplolatilus chlupatyi (Malacanthidae) in the South Sea of Korea)

  • 김이정;유효재;김진구
    • 수산해양기술연구
    • /
    • 제56권4호
    • /
    • pp.316-321
    • /
    • 2020
  • A single juvenile malacanthid specimen (Hoplolatilus chlupatyi) was collected from the South Sea of Korea and identified by DNA barcoding. This species is readily distinguished from other malacanthid species in having well developed rostral spine and elongated spines in the posttemporal and preopercle. A molecular analysis based on mitochondrial DNA COI sequences showed that this species is matched to adult H. chlupatyi (genetic distance = 0.005). Therefore, this is the first record of H. chlupatyi in Korea. We propose new Korean names, "Mu-ji-gae-og-dom-sog" for the genus Hoplolatilus and "Mu-ji-gae-og-dom" for the species H. chlupatyi.

디지탈 NTSC/PAL 비디오 부호화기의 ASIC 구현 (An ASIC Implementation of Digital NTSC/PAL Video Encoder)

  • 오승호;이문기
    • 전자공학회논문지S
    • /
    • 제35S권6호
    • /
    • pp.109-118
    • /
    • 1998
  • 본 논문에서는 압축 복원된 디지탈 RGB 또는 YCbCr 신호를 NTSC와 PAL 방송 규격에 맞는 휘도 신호와 크로마 신호 또는 영상 복합 신호로 변환 출력하는 기능을 갖는 부호화기를 설계하였다. 부호화기의 비디오 타이밍 신호는 수평 동기 신호, 수직 동기 신호, 블랭킹을 포함하며 또한 비디오를 편집하는 데 편리한 필드인식(identification) 신호를 지원한다. 부호화기는 곱셈기를 사용한 시스토릭 파이프라인 방식 [13] 에 비해 4단 파이프라인 아키텍쳐와 쉬프트-앤-가산기를 사용하여 약40%의 게이트 수를 줄였다. 설계된 부호화기는 $0.65{\mu}m$ SOG(Sea fo Gatearray) 삼중 금속 CMOS 공정 기술을 사용하여 패드를 포함한 전체 칩 면적은 $3.7478mm {\times} 4.4678mm$으로 19,468의 게이트가 집적되었으며 전력 소비는 0.9W이다.

  • PDF

이중 게이트 절연막을 가지는 실리콘 전계방출 어레이 제작 및 특성 (Fabrication and characterization of silicon field emitter array with double gate dielectric)

  • 이진호;강성원;송윤호;박종문;조경의;이상윤;유형준
    • 한국진공학회지
    • /
    • 제6권2호
    • /
    • pp.103-108
    • /
    • 1997
  • 본 연구에서는 2단계 실리콘 건식식각 공정과 게이트 절연막으로 열산화막과 tetraethylorthosilicate(TEOS) 산화막의 이중막을 사용하고, 스핀-온-그래스 (Spin-on-glass:SOG) 에치백(etch-back) 공정에 의하여 게이트를 제작하는 새로운 방법을 통하여 실리콘 전계방출소자를 제작하고 그 특성을 분석하였다. 게이트 절연막의 누설전류 를 감소시키면서 팁과 게이트의 간격을 줄이는 구조인 이중 게이트 절연막을 형성하기 위하 여 팁 첨예화 산화 공정후 낮은 점도의 감광막(photo resist)을 시료에 도포한 후, $O_2$ 플라 즈마 에싱(ashing)하는 공정을 채택하였다. 이러한 공정으로 제작된 에미터 팁의 높이와 팁 반경은 각각 1.1$\mu\textrm{m}$와 100$\AA$정도이었으며, 256개 팁 어레이에서 전계방출의 문턱전압은 40V 이하이었다. 60V의 게이트전압에서 23$\mu\textrm{A}$(즉, 90nA/팁)의 높은 아노드 전류를 얻을 수 있었 다. 이때, 게이트 전류는 아노드전류의 약0.1%이하였다. 개발된 공정기술로 게이트 개구도 크게 감소시켰을 뿐 아니라, 게이트 누설전류를 현저히 감소시켰다.

  • PDF

자동착자 및 검사자동화 시스템을 위한 집적회로 설계 (VLSI Design for Automatic Magnetizing and Inspection System)

  • 임태영;이천희
    • 한국정보처리학회논문지
    • /
    • 제6권7호
    • /
    • pp.1929-1940
    • /
    • 1999
  • 본 논문은 TV 브라운관과 컴퓨터 모니터에 사용되는 마그네트(Magnet)에 일정한 자력을 갖도록 자화 시키는 착자기를 제어하며, 검사공정을 자동화하는 제어 시스템용의 집적회로를 설계하여 개발한 것에 관한 것으로써, 착자기의 콘트롤 모듈과 프로토콜 모듈의 주변기기 제어회로 부분을 0.8um CMOS SOG 기술로 설계하여 ETRI에서 공정하여 칩(Chip)을 완성시켜 동작을 확인하였다. 본 논문에서는 개별 셀(Single cell)의 지연 예측에 사용되었던 기존의 프로파게이션/램프 지연 모델(Propagation/ramp delay model)을 분석, 문제점을 보완 수정한 LODECAP(LOgic DEsign CAPture)의 인버터 선형 지연 모델을 응용하여 타이밍 콘트롤 블록 내의 지연 체인(Delay chain)을 설계 할 수 있는 새로운 "지연 예측 수식"을 제안하였다. 본 논문은 추출된 수식에 의거하여 타이밍 콘트롤 블록의 설계, 시스템에 적용하였으며, 나머지 블록들을 설계한 기법에 대하여도 상술하였다.여도 상술하였다.

  • PDF

SOI(Silicon-On-Insulator)- Micromachining 기술을 이용한 MEMS 소자의 제작 (Fabrication of MEMS Devices Using SOI(Silicon-On-Insulator)-Micromachining Technology)

  • 주병권;하주환;서상원;최승우;최우범
    • 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
    • /
    • 한국전기전자재료학회 2001년도 하계학술대회 논문집
    • /
    • pp.874-877
    • /
    • 2001
  • SOI(Silicon-On-Insulator) technology is proposed as an alternative to bulk silicon for MEMS(Micro Electro Mechanical System) manufacturing. In this paper, we fabricated the SOI wafer with uniform active layer thickness by silicon direct bonding and mechanical polishing processes. Specially-designed electrostatic bonding system is introduced which is available for vacuum packaging and silicon-glass wafer bonding for SOG(Silicon On Glass) wafer. We demonstrated thermopile sensor and RF resonator using the SOI wafer, which has the merits of simple process and uniform membrane fabrication.

  • PDF

그라핀 기판 제작 연구 (Research on Fabrication of Graphene Sheet)

  • 오세만;조원주;정종완
    • 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
    • /
    • 한국전기전자재료학회 2008년도 추계학술대회 논문집 Vol.21
    • /
    • pp.384-384
    • /
    • 2008
  • 그라핀 기판 제작을 위해서는 그라파이트의 탈착이 가장 핵심 기술이다. 본 연구에서는 신뢰성 있는 그라핀 기판 제작을 위해서, HOPG(Highly Ordered Pyrolytic Graphite) 기판에 고농도의 이온을 주입하고, HOPG를 이형기판에 본딩한후, 후속 열처리를 통해 HOPG를 탈착시켜 그리핀을 얻는 일련의 기본 실험에 대한 결과를 보여 주고자 한다. 기대하는 효과는 고농도의 수소/산소 이온의 경우 주입된 고농도의 수소/산소가 후속 열처리동안 이동 및 뭉침현상을 통해 HOPG기판 내에 수소압력(혹은 CO2 발생)을 증가시켜 HOPG를 자르는 것을 기대하고 있다. 일차 수소이온 주입의 실험결과, 기대와는 달리 $900^{\circ}C$ 열처리에도 절단현상이 발견되지 않아서 산소이온주입에 대한 추가실험을 진행 중이다. 그라핀 본딩의 경우 그라핀의 큰 roughness로 인해 $SiO_2$만의 Fusion 본딩은 불가능함을 여러 실험을 통해 알 수 있었고, 현재 SiO2/SOG 혹은 SiO2/Fox를 이용한 본딩실험을 진행중이다.

  • PDF

한국 남해에서 채집된 둥글넙치과(가자미목) 1미기록종, Crossorhombus azureus 후기자어의 형태기재 및 분자동정 (Morphological description and molecular identification of the newly recorded bothid, Crossorhombus azureus (Bothidae, Pleuronectiformes) postlarva collected from the southern sea of Korea)

  • 서민주;유효재;김진구
    • 수산해양기술연구
    • /
    • 제57권3호
    • /
    • pp.264-269
    • /
    • 2021
  • A single postlarva (9.72 mm in standard length) specimen of Crossorhombus azureus (Alcock, 1889) belonging to the family Bothidae, was collected using a bongo net from the southern sea of Korea on December 10, 2019. This species is characterized by having spines on post basipterygial processes. It has two eyes located at the opposite side in head, which accordingly belongs to pre-metamorphosis stage. Melanophores are distributed on the dorsal and anal fin base on the right side (blind side), which is regarded as a useful identification key distinguishing C. azureus from congeneric species in their postlarval stage. A molecular analysis based on mitochondrial DNA COI sequences showed that our specimen was closely matched to adult C. azureus (K2P distance = 0.017). As there is no Korean name for the genus Crossorhombus in spite of presence of Crossorhombus kobensis and its Korean name "Go-be-dung-geul-neob-chi" in Korea, we proposed a new Korean name "Dung-geul-neob-chi-sog" for the genus Crossorhombus and "Pa-lang-dung-geul-neob-chi" for the species C. azureus.

AIS 자료를 이용한 VIIRS 데이터의 야간 불빛 자동 추출 및 검증 (Verification of VIIRS Data using AIS data and automatic extraction of nigth lights)

  • 윤석;이형탁;최혜민;김민규;이정석;한희정;양현
    • 한국항해항만학회:학술대회논문집
    • /
    • 한국항해항만학회 2023년도 춘계학술대회
    • /
    • pp.104-105
    • /
    • 2023
  • 해양 관측과 위성 원격탐사를 이용하여 시공간적으로 다양하게 변하는 생태 어장 환경 및 선박 관련 자료를 획득할 수 있다. 이번 연구의 주요 목적은 야간 불빛 위성 자료를 이용하여 광범위한 해역에 대한 어선의 위치 분포를 파악하는 딥러닝 기반 모델을 제안하는 것이다. 제안한 모델의 정확성을 평가하기 위해 야간 조업 어선의 위치를 포함하고 있는 AIS(Automatic Identification System) 정보와 상호 비교 평가 하였다. 이를 위해, 먼저 AIS 자료를 획득 및 분석하는 방법을 소개한다. 해양안전종합시스템(General Information Center on Maritime Safety & Security, GICOMS)으로부터 제공받은 AIS 자료는 동적정보와 정적정보로 나뉜다. 동적 정보는 일별 자료로 구분되어있으며, 이 정보에는 해상이동업무식별번호(Maritime Mobile Service Identity, MMSI), 선박의 시간, 위도, 경도, 속력(Speed over Ground, SOG), 실침로(Course over Ground, COG), 선수방향(Heading) 등이 포함되어 있다. 정적정보는 1개의 파일로 구성되어 있으며, 선박명, 선종 코드, IMO Number, 호출부호, 제원(DimA, DimB, DimC, Dim D), 홀수, 추정 톤수 등이 포함되어 있다. 이번 연구에서는 선박의 정보에서 어선의 정보를 추출하여 비교 자료로 사용하였으며, 위성 자료는 구름의 영향이 없는 깨끗한 날짜의 영상 자료를 선별하여 사용하였다. 야간 불빛 위성 자료, 구름 정보 등을 이용하여 야간 조업 어선의 불빛을 감지하는 심층신경망(Deep Neural Network; DNN) 기반 모델을 제안하였다. 본 연구의결과는 야간 어선의 분포를 감시하고 한반도 인근 어장을 보호하는데 기여할 것으로 기대된다.

  • PDF

한국 동해 중부 해역에서 채집된 가자미과(Pleuronectidae) 어류 첫기록종, Atheresthes evermanni (First Occurrence of a Pleuronectid Atheresthes evermanni (Pleuronectiformes) from the Middle East Sea, Korea)

  • 박정호;장요순;김진구
    • 한국어류학회지
    • /
    • 제32권4호
    • /
    • pp.245-250
    • /
    • 2020
  • 가자미목 가자미과에 속하는 Atheresthes evermanni 2개체(표준체장 407~438 mm)가 동해 중부 고성군 연안에서 자망으로 채집되었다. 본 개체는 입이 크고 양안간격이 좁으며, 무안측에서 눈이 보이지 않고 새파는 가늘고 길며, 꼬리지느러미는 만입형이고 측선은 거의 직선인 특징을 가지고 있다. 우리나라 해역에서 A. evermanni는 처음 기록되고, 본 종을 우리나라 어류상에 포함시키며 새로운 속명과 국명으로 각각 '화살치가자미속' 및 '화살치가자미'를 제안한다.