Si (001) 기판에서 $N_2$ 처리에 의해 형성된 에피택셜 C49-$TiSi_2$ 상의 열적 거동과 결정학적 특성에 관한 연구
(Thermal Behavior and Crystallographic Characteristics of an Epitaxial C49-$TiSi_2$ Phase Formed in the Si (001) Substrate by $N_2$ Treatment)
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- 한국재료학회지
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- 제11권2호
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- pp.88-93
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- 2001