• 한국전기전자재료학회논문지
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• 제21권4호
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• pp.305-310
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• 2008

Deep trench etching of silicon was investigated as a function of RF source power, DC bias voltage, $C_4F_8$ gas flow rate, and $O_2$ gas addition. On increasing the RF source power from 300 W to 700 W, the etch rate was increased from $3.52{\mu}m/min$ to $7.07{\mu}m/min$. The addition of $O_2$ gas improved the etch rate and the selectivity. The highest etch rate is achieved at the $O_2$ gas addition of 12 %, The selectivity to PR was 65.75 with $O_2$ gas addition of 24 %. At DC bias voltage of -40 V and $C_4F_8$ gas flow rate of 30 seem, We were able to achieve etch rate as high as $5.25{\mu}m/min$ with good etch profile.

• 조명전기설비학회논문지
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• 제24권8호
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• pp.142-149
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• 2010

본 논문은 준평등전계에서 뇌임펄스전압에 대한 $SF_6$와 dry-air의 절연파괴 특성에 대하여 기술하였다. 준평등전계로 사용된 구-평판전극계의 전계이용률은 71[%]이다. $SF_6$는 0.1~0.2[MPa] 범위에서, dry-air는 0.2~0.6[MPa]에서 $SF_6$와 dry-air의 절연파괴전압을 임펄스전압의 극성과 가스압력에 따라 측정 분석하였다. 그 결과 뇌임펄스전압에 대한 두 가스의 절연파괴전압은 정극성이 부극성보다 높았으며, $SF_6$의 절연파괴전압이 dry-air의 절연파괴전압보다 약 2.67배정도 높았다. 본 연구결과는 뇌서지에 대하여 우수한 성능을 가지는 배전기기에서 $SF_6$의 대체가스 성능 평가에 유용한 정보가 될 것이다.

• 조명전기설비학회논문지
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• 제19권8호
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• pp.144-149
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• 2005

고본 연구는 모의 GIS내 절연특성을 $SF_6$ Gas의 온도의 변화($+30{\sim}-40[^{\circ}C]$)에 따른 절연특성을 구명하였다. 절연 특성은 기체상태의 Paschen's law 적용구간, 기체와 액체 공존상태의 절연파괴전압이 대세적으로 높고, 편차가 심한 구간과 챔버 내부가 저밀도 $SF_6$와 잔류공기의 혼합체로 이루어지는 극히 낮은 압력상태로 되어 절여파괴 전압이 크게 낮아지는 구간으로 구분되었다. 또한 본 실험에서 액체 $SF_6$가 기체 $SF_6$보다 절연특성이 우수함을 확인하였다. 상전이와 절연특성을 구명함으로서 각종 고온초전도 및 극저온 응용 설비의 절연설계의 기초 자료로 제공하고자 한다.

• 한국대기환경학회지
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• 제33권4호
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• pp.370-376
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• 2017

This study was performed to investigate whether the decomposition process of $SF_6$ using an electron beam is economically reasonable when applied to the actual field. To do this, electron beam experiment and economic analysis were conducted. The experiment conditions are initial concentration of 1% of $SF_6$, 1 mA of input energy and 15 mA of flow rate with $H_2$ as an additive which were obtained from our previous research. As a result, removal efficiency of $SF_6$ was 90% for 8 hours continuously. In addition, economic analysis shows positive results in terms of using $SF_6$ decomposition process using electron beam. According to the analysis, the revenue is approximately 1.66 billion won in the first year and 3 billion won in the second year.

• 조명전기설비학회논문지
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• 제21권2호
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• pp.20-27
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• 2007

정보화 시대로 변화함에 따라 고품질 전력의 중요성이 강조되고 있으며 이를 보장하기 위한 전력기기 운전의 신뢰성 향상이 선결과제로 대두되었다. 특히 대용량 전력기기 중 개폐기와 차단기의 성능을 일정 수준 이상으로 유지하기 위한 예방진단기술이 발달되어 왔다. 개폐기와 차단기에서 많이 사용되는 $SF_6$ 가스의 절연성능을 검출하여 유지보수 여부를 결정하는 것이 매우 중요하다. 본 연구에서는 이러한 $SF_6$ 가스의 절연성능을 검출하기 위해 사용되는 여러 가지 방법 중에 전기방전에 의해 나타나는 여러 현상을 검출하는 센서들의 기초특성을 확인하고 파악된 특성을 통해 복수의 검출센서를 사용할 것을 제안하였다. 즉 코로나 방전이나 아크방전 시에도 사용할 수 있는 UHF 센서와 방전전류 검출기를 병용하는 것이 $SF_6$ 가스의 절연성능 확인에 유리할 것으로 판단되었다. 이외에도 가스센서를 이용한 $SF_6$ 가스의 절연상태 검출을 시도해 그 가능성을 시험해 보았다.

• 한국수산과학회지
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• 제56권3호
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• pp.284-292
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• 2023

This study was conducted to optimize the cookie preparation using Israeli crap Cyprinus carpio paste (C-ICP). The results of response surface methodology suggested the selection of other supplementary materials/[soft flour (SF) + ICP] (X₁) and SF/ICP (X₂) as independent variables, and hardness (Y₁), yellowness (Y₂), amino acid nitrogen (Y₃), and overall sensory acceptance (Y₄) as dependent variables. The optimal conditions of OS, SF, and ICP were 35.0%, 40.3% and 24.7%, respectively, and the predicted values of the multiple response optimal conditions Y₁, Y₂, Y₃, and Y₄ were 2,006.2 N/m2, 21.1, 30.0 mg/100 g, and a score of 6.6, respectively. Under the optimum conditions, experimental values of Y₁, Y₂, Y₃, and Y₄ were 2,010.5 ± 22.3 N/m2, 21.6 ± 0.5, 29.6 ± 0.7 mg/100 g, and a score of 6.9 ± 0.3, respectively, which were not significantly different from the predicted values (P < 0.05). The results on hardness, moisture, VCI yellowness, and lightness suggested that the optimum heating period was 20 min. C-ICP prepared under the optimum conditions was superior in sensory evaluation to cookies without the Israeli carp paste.

• 한국환경과학회지
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• 제22권8호
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• pp.1019-1027
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• 2013

Sulfur hexa-fluoride has been used as a etching gas in semiconductor industry. From the globally environmental issues, it is urgent to control the emissions of this significant greenhouse gas. The main objective of this experimental investigation was to find the effective catalyst for $SF_6$ decomposition. The precursor catalyst of hexa-aluminate was prepared to investigate the catalytic activity and stability. The precursor catalyst of hexa-aluminate was modified with Ni to enhance the catalytic activities and stability. The catalytic activity for $SF_6$ decomposition increased by the addition of Ni and maximized at 6wt% addition of Ni. The addition of 6wt% Ni in precursor catalyst of hexa-aluminate improved the resistant to the HF and reduced the crystallization and phase transition of catalyst.

• 한국진공학회지
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• 제21권1호
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• pp.48-54
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• 2012

니켈촉매 막을 증착시킨 산화규소 기판위에 아세틸렌기체와 수소기체를 원료로, 육불화황기체를 첨가기체로 열화학기상증착 시스템하에서 탄소코일을 증착하였다. 반응온도를 $650^{\circ}C$에서 $800^{\circ}C$까지 증가시키면서 증착된 탄소 코일의 기하구조를 조사하였다. $650^{\circ}C$에서는 주로 탄소나노필라멘트 형성의 전단계가 나타났으며, 반응온도가 증가하자($700^{\circ}C$) 나노 크기의 코일들이 나타났다. $775^{\circ}C$로 반응온도를 더욱 증가시키자, 파도물결과 같은 나노 코일들이 성장되었으며, 간혹 마이크로 크기의 코일들도 나타났다. 육불화황에 첨가된 불소의 에칭효과로 니켈 촉매의 크기를 줄일 수 있을 것으로 여겨지며, 따라서 육불화항 첨가기체의 사용으로 기존에 보고된 것보다 작은 크기의 직경을 갖는 마이크로 탄소 코일을 얻을 수 있었다.

• 조명전기설비학회논문지
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• 제20권6호
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• pp.75-80
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• 2006

산업현장에서 많이 사용되고 있는 전력기기에 결함이 발생하면 치명적인 사고로 진전되어 경제적, 인적 손실이 발생될 수가 있다. 본 논문은 GIS에 사용되는 절연가스인 $SF_6$의 압력 변화에 따른 부분방전을 모의하고, 발생되는 부분방전 신호를 절연 진단 방법 중 하나인 UHF법을 이용하여 부분방전 시 방사되는 방사전자파의 스펙트럼을 분석해 금속 이물질이 $SF_6$가스 부분방전에 미치는 영향을 측정하였다. 이러한 연구는 현장 GIS 및 $SF_6$가스절연 전력설비에서 내부압력 변화 시 금속 이물질에 의해 발생되는 절연파괴 사고의 방지에 중요한 역할을 할 것으로 사료된다.

• 전기학회논문지
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• 제59권2호
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• pp.328-332
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• 2010

The SLF(Short Line Fault) breaking capability test for high voltage class $SF_6$ GCB(Gas Circuit Breaker) was conducted. Simplified LC resonant circuit test facility was used for SLF breaking test. During test, Test current was measured by Rogwski coil and arc voltage was measured by voltage divider. Arc conductance was calculated by using these test results before 200ns at current zero. Critical arc conductance value at rated voltage 145kV class is about 2.3mS regardless of breaking current magnitude and arc conductance value at rated voltage 170kV class is about 2.6mS.