• 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
• /
• 한국전기전자재료학회 2004년도 하계학술대회 논문집 Vol.5 No.1
• /
• pp.44-47
• /
• 2004

단일 나노선 연구에 있어서 나노선에 원하는 패턴을 선택적으로 구현하는 새로운 방법을 소개한다. 기존에 많이 쓰였던 SEM(Scanning Electron Microscope) 사진을 통한 나노선의 위치를 찾는 방법은 전자빔에 의해 유도되는 비결정성 탄소입자 등으로 인해 측정하고자하는 나노선의 전기적 특성을 왜곡시킬 수 있다. 이러한 점을 예방하고 작업의 편리성을 위하여 ER(E-beam Resist)이 코팅된 상태에서 바로 SEM을 이용해 패터닝하는 방법을 고안하였다. 또 다른 방법으로 기존의 AFM(Atomic Force Microscope) 사진으로 위치를 찾는 방식의 단점인 긴 작업시간을 개선하기 위해 광학현미경 사진을 이용해 패터닝하는 방법을 고안하였다. 이러한 방법들은 작업의 편리성이나 패턴의 정확도면에서 서로 보완적인 성격을 가지고 있어 필요에 따라 방법을 선택할 수 있다.

• 한국생산제조학회지
• /
• 제18권5호
• /
• pp.455-461
• /
• 2009

In a scanning electron microscopy, image distortion is a critical issue and it is needed to be eliminated by some kinds of schemes. In this work, scanning frequency and scanning wave form are adjusted to have an improved image. The relationship between scan coil and its driver is investigated and appropriate frequency and wave form are suggested. It is proved that the selected frequency and wave form showed an enhanced image with less distortion, which were done by experiments. In addition, a noise elimination is addressed, providing improved image with a GROUND signal integration with the amplifier and the scan driver.

• Asian-Australasian Journal of Animal Sciences
• /
• 제15권7호
• /
• pp.1018-1021
• /
• 2002

The objective of this study was to investigate the villus distribution in the caeca of domestic geese based on the fine structure. The caeca of White Roman geese, 14-week old, were sampled and specimens were detected under photomicroscope and scanning electron microscope (SEM). The results indicated that the villi existed at the proximal caecum. The morphologies of these villi showed finger-like, peak-like or tongue-like shapes. The heights of the villi decreased far from the proximal caecum. No villi were found in the middle and distal caecum. It was obvious that the proximal segment was the main portion for absorbing food nutrients in the caeca. The caecal content particles were small and possessed a viscid character. The large particles filtered out at the proximal caecum just like a mesh. The surface of the middle caecum exhibited parallel ridges with no villi. There were band plicae circular shapes found in the middle caecum under scanning electron microsopy.

• 한국구조물진단유지관리공학회 논문집
• /
• 제26권3호
• /
• pp.72-83
• /
• 2022

본 논문에서는 전도성 재료인 탄소섬유(carbon fiber, CF)와 강섬유(steel fiber, SF)를 함유한 시멘트 모르타르의 미세구조 및 전기적 특성, 압축강도에 미치는 영향을 연구하였다. 전도성 섬유보강 시멘트 모르타르(fiber-reinforced cement mortar, FRCM)의 비저항은 4-probe 방법을 이용하여 측정하였고, 압축강도는 압축시험을 기반으로 측정하였다. 이들의 성능은 플레인 모르타르(plain mortar, PM)와 비교, 검토하였다. 게다가 전도성 FRCM 파단면의 표면형상과 구성성분은 주사전자현미경(scanning electron microscope, SEM)과 에너지 분산형 X-ray 분광분석기(energy disperse X-ray spectrometer, EDS)를 이용하여 분석하였다. 그 결과 모든 시편에서 양생재령이 경과됨에 따라 비저항이 점차 증가하는 반면, 섬유혼입률이 증가할수록 비저항은 상당히 감소하였다. 강섬유를 1.25%까지 추가하여도 시멘트 모르타르의 비저항에는 크게 영향을 미치지 않았다. 대조적으로, 탄소섬유는 낮은 함량(즉, 0.1~0.3%)에서도 비저항이 다소 감소하였고, 그 이후에는 현저히 저하되었다. 본 실험에 사용된 CF가 함유된 전도성 CFRCM의 침투 임계점은 0.4%이었고, 압축강도 성능을 유지하면서 전도성 효과를 극대화하는 최적의 탄소섬유 혼입량이라고 판단된다. 전도성 FRCM의 표면형상 및 구성성분 분석을 위해 SEM/EDS를 통해 파단면을 관찰하였다. 이러한 결과는 시멘트 모르타르 내에서 보강섬유의 미세구조 메커니즘을 확립하는 데 매우 유용할 것으로 사료된다.

• 한국지반환경공학회 논문집
• /
• 제13권5호
• /
• pp.51-57
• /
• 2012

본 연구에서는 친환경적인 그라우트재의 개발을 위하여 연약지반에 대한 바이오그라우트 가능성을 확인하고, Bacillus Pasteurii 균을 이용하여 탄산칼슘 침전 효과를 분석하였다. 연약지반에 미생물의 탄산칼슘 침전을 이용하여 바이오그라우트에 미치는 영향을 알아보기 위해 4가지 시료의 조건(멸균 시료, 비멸균 시료, 반응용액과 미생물용액의 선처리 혼합시료, 반응용액과 미생물용액의 후처리 혼합시료)으로 실험되었다. 전자현미경(SEM), EDX와 X선 분석 회절기(XRD)를 이용하여 연약지반 시료의 분석을 수행하였고, 이러한 연구결과를 바탕으로 탄산칼슘 침전을 이용한 미생물 처리 공법은 바이오그라우트의 특성을 개선하였다.

• 청정기술
• /
• 제11권2호
• /
• pp.105-116
• /
• 2005

본 연구는 NaOH 용액에 의한 머서화(mercerization) 반응과 모노클로로아세트산에 의한 에테르화 반응에 의해 carboxymethylcellulose(CMC)를 제조하고 각 제조단계에서의 반응시간, 시약 농도, 온도 등을 변수로 설정하여 결과물에 대한 영향을 고찰하였다. 제조된 샘플을 용해도와 카르복실기의 치환도를 통해 분석하였으며 부직포로서의 응용을 위해 제조된 수용성 섬유의 인장강도를 알아보았다. 섬유의 표면 변화는 SEM(scanning electron microscope) 사진을 통해 알아보았다. 제조된 섬유는 30분 이내에 80% 이상 용해되었으며 반응시간이나 반응 온도보다 시약의 농도에 의한 영향이 더욱 컸다. 또한 용해도가 80% 이상이었던 시편은 0.6 ~ 0.7의 치환도를 보였으며 모노클로로아세트산의 농도의 영향이 가장 크며 용해도가 증가할수록 치환도가 증가하는 경향을 보였다.

• 한국진공학회:학술대회논문집
• /
• 한국진공학회 2015년도 제49회 하계 정기학술대회 초록집
• /
• pp.70.2-70.2
• /
• 2015

현재 반도체 및 디스플레이이 공정 분야는 1 um 이상의 입자에서부터 10 nm이하 크기의 오염입자를 제어해야 한다. 현재 오염원인을 파악하기 위해서 사용하는 방법은 공정 완료 후 대상물(웨이퍼 및 글래스)을 CD-SEM (Critical Dimension Scanning Electron Microscope)와 같은 첨단 분석장비를 사용하여 사후 (Ex-situ) 진행하고 있다. 이러한 방법은 오염원이 이미 공정 대상물을 오염시키고 난 후 그 원인을 분석하는 방법으로 그 원인을 찾기가 어려울 뿐만 아니라, 최근 공정관리가 공정 진행 중(In-situ) 행해져야 하는 추세로 봤을 때 합당한 방법이라 할 수 없다. 이를 해결하기 위해 진공공정 중 레이저를 이용하여 측정하고자 하는 여러 시도들이 있었지만, 여전히 긍정적인 답변을 보여주지 못하고 있다. 본 발표에서 소개하는 PCDS (Particle Characteristic Diagonosis System)은 PBMS (Particle Beam Mass Spectrometer)와 SEM (Scanning Electron Microscope), 그리고 EDS (Energy Dispersive X-ray Spectroscopy)를 통합하여 만든 시스템으로 진공공정 중 (In-situ) 챔버 내부에서 발생하고 있는 입자의 크기 분포, 입자의 형상, 그리고 입자의 성분을 실시간으로 분석할 수 있는 방법을 제공한다. 이러한 방법 (PCDS)에 대한 개념과 원리, 그리고 현재까지 개발된 단계에서 얻어진 결과에 대해 소개할 것이다.

• 한국정밀공학회지
• /
• 제23권3호
• /
• pp.163-170
• /
• 2006

Thin films play an important role in many technological applications including microelectronic devices, magnetic storage media, MEMS and surface coatings. It is well known that a thin film's material properties can be very different front the corresponding bulk properties and thus there has been a strong need for the development of a miniature tester to measure the mechanical properties of a thin film. Two testers are designed and set up in small size of 62 mm width, 20 mm depth and 90-120 mm height to fit in a chamber of scanning electron microscope (SEM). One tester has a homemade 0.2 N load cell and a low-priced electromagnetic actuator. The other has a commercial 5 N load cell, a $52{\mu}m$ piezoelectric actuator and some novel grips. Two types of 3.5 microns thick polysilicon specimen are tested to prove the testers' applicability. The strain is measured by the two ways. Firstly, it is measured by an ISDG system in the atmosphere far the reference. Secondly, the same test is repeated in a SEM chamber to monitor the strain as an in-situ experiment. The strain is evaluated by observing the gap change between two markers.

• 한국응용과학기술학회지
• /
• 제28권3호
• /
• pp.290-298
• /
• 2011

Natural Omija belongs to magnoliaceae was known to possess natural odor, taste, color, and various pharmaceutical & chemical characteristics. Omija extraction was extracted using ethanol as a solvent. Omija extract showed a light red-violet color of viscous liquid state. Some conclusions from the result of characteristic experiment were obtained as follows. From the result of antimicrobial experiment, occurrence of staphylococuss aureus and aspergillus niger as microbes was decreased according to the passage of time. This phenomenon could know that Omija component is affected to antimicrobial effect. From the result of dye experiment, fiber dyeing showed with some ivory color after dyed to cotton and silk. This phenomenon could know that Omija component is affected to dyeing effect from observation of scanning electron microscope(SEM). From the result of instrument analysis, inorganic components of K(107.30ppm), Na(2.110ppm), Ca(0.935ppm), Mg(0.891ppm), Li(0.270ppm) etcs from Omija were detected with ICP/OES, and aromatic components of benzene(10.808), a-pinene(13.996), phenol(14.183), ${\beta}$-terpene(15.840), a-terpinolene(17.616) etcs from Omija were also detected with GC/MSD.

• 한국진공학회:학술대회논문집
• /
• 한국진공학회 2014년도 제46회 동계 정기학술대회 초록집
• /
• pp.369.2-369.2
• /
• 2014

Diamond-like Carbon(DLC) films doping Si were deposited by linear ion source(LIS)-physical vapor deposition method on Si wafer. We have studied the effects of Si content on friction and wear properties of DLC films and the characteristics of the films were investigated using Nano-indentation, Micro raman spectroscopy, Field Emission-Scanning Electron Microscope (FM-SEM) and X-ray Photoelectron Spectroscopy (XPS). The films has been various low-friction and low-stress by varying the flow rates of silane gas. Under the about 2% of Si doping is very suitable for improving the adhesion of films and reducing internal stress while maintaining the surfaces hardness of DLC films. Linear ion source (LIS)를 사용하여 Si wafer위에 Si 이온이 첨가된 DLC 박막을 증착하였다. 참가된Si 이온의 양에 따라 DLC 박막에 미치는 영향을 분석하기 위하여 마찰 계수 및 경도를 비교하였고, Micro raman spectroscopy, Field Emission-Scanning Electron Microscope (FM-SEM) and X-ray Photoelectron Spectroscopy (XPS)를 통하여 표면 상태를 분석하였다. 천체 주입된 가스량의 약 2%까지 Si 이온 주입이 늘어날수록 DLC 박막의 마찰계수는 낮아졌고, 경도는 Si 이온이 주입되지 않았을 경우와 비슷한 값(약 20~23 GPa)을 가졌다. 2% 이상의 주입량에서는 마찰계수는 주입량이 늘어날수록 높아졌으며 경도는 떨어지는 경향을 보였다. 이는 Si이온이 2%이하로 첨가되었을 경우, DLC 박막의 생성시 탄소 이온들의 결합 Stress를 줄여 마찰계수가 줄어든다고 볼 수 있으며, 그 양이 2%이상이 되면 오히려 불순물로 작용하여 DLC 박막의 Stress는 급격히 증가하고 마찰계수도 높아짐을 알 수 있다.