Nanoimprint lithography (NIL) is the next generation photolithography process in which the photoresist is dispensed onto the substrate in its liquid form and then imprinted and cured into a desired pattern instead of using traditional optical system. There have been considerable attentions on NIL due to its potential abilities that enable cost-effective and high-throughput nanofabrication to the display device and semiconductor industry. Although one of the current major research trends of NIL is large-area patterning, the technical difficulties to keep the uniformity of the residual layer become severer as the imprinting area increases more and more. In this paper, with the rolling type imprinting process, a mold, placed upon the $2^{nd}$ generation TFT-LCD glass sized substrate($370{\times}470mm^2$), is rolled by a rubber roller to achieve a uniform residual layer. The prediction of residual layer thickness of the photoresist by rolling of the rubber roller is crucial to design the rolling type imprinting process, determine the rubber roller operation conditions-mpressing force & feeding speed, operate smoothly the following etching process, and so forth. First, using the elasticity theory of contact problem and the empirical equation of rubber hardness, the contact length between rubber roller and mold is calculated with consideration of the shape and hardness of rubber roller and the pressing force to rubber roller. Next, using the squeeze flow theory to photoresist flow, the residual layer thickness of the photoresist is calculated with information of the viscosity and initial layer thickness of photoresist, the shape of mold pattern, feeding speed of rubber roller, and the contact length between rubber roller and mold previously calculated. Last, the effects of rubber roller operation conditions, impressing force & feeding speed, on the residual layer thickness are analyzed with consideration of the shape and hardness of rubber roller.
The purpose of this study is to get optimum design and operation conditions of the heating rubber roller for laminating process. The cause of performance degradation of heating rubber roller is delamination of rubber on metal tube, rubber aging due to high temperature. We measured the material properties of thermal expansion, thermal conductivity, specific heat and density and analyzed thermal distributions of rubber layer using finite element method. As a result of heat/flow analysis, the density distribution of heating coil must shorten the stabilization time by reducing the temperature deviation on the length direction at the temperature rising section after increasing the density of the area contacting with the laminate film at the center part which is an opposite of the current composition while enabling to maintain the temperature of heater to be consistent while maintaining the temperature deviation to be low when heat loss is created. Finally, we determined optimum heating method of heating rubber roller.
Journal of the Korean Graphic Arts Communication Society
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v.18
no.2
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pp.83-101
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2000
In this experiment butadiene rubber(BR)/acrylonitrile butadiene rubber(NBR) blends was prepared and then the applicability of BR/NBR blends as printing rubber roller was examined. With the aid of open 2-roll mill, BR, NBR and another chemical additives were compounded. Then rubber vulcanizates were manufactured by hot press and maximum torque, Mooney viscosity, mechanical properties and oil resistance of the test specimens were measured. With prolonged oil aged treating time, BR/NBR blends became soft and so the hardness of blends decreased. It could be explained by the swelling of rubber matrix with oil penetration in to rubber molecules. The undesirable low value of oil resistance of BR was significantly improved by blending BR with NBR.
In this study, a research for process design in bending of structural frame of AA6061-T6 with rubber pad was conducted. In this process, the conventional lower die made of metal is replaced with a polyurethane pad, resulting in high flexibility during bending. Vulcanized polyurethane rubber with shore A hardness of 60 was used for the pad. Experiments on a newly developed bending machine were carried out by controlling the stroke of the roller and horizontal movement of roller pad lower die. From this, the relation between roller path and geometry of the materials bent was obtained for the process design of producing roof rail part of a passenger car and the experimental result was compared with the target profile. For more accurate process design, it is required to control the roller path interactively. Based on the experience in developing the prototype bending machine, it is construed that a fully automated bending system with rubber pad to produce various light-weight components for automotive body frames can be successfully developed.
In recent years there have been considerable attentions on nanoimprint lithography (NIL) by the display device and semiconductor industry due to its potential abilities that enable cost-effective and high-throughput nanofabrication. Although one of the current major research trends of NIL is large-area patterning, the technical difficulties to keep the uniformity of the residual layer become severer as the imprinting area increases more and more. In this paper we consider the roll-to-plate type imprinting process. In the process a glass mold, which is placed upon the 2nd generation TFT-LCD glass sized substrate(370${\yen}$470 mm), is rolled by a rubber roller to achieve a uniform residual layer. The pressure distribution on the glass mold by rolling of the rubber roller is crucial information to analyze mold deformation, transferred pattern quality, uniformity of residual layer and so forth. In this paper the quantitative pressure distribution induced by rolling of the rubber roller was calculated with finite element analysis under the assumption of Neo-Hookean hyperelastic constitutive relation. Additionally the numerical results were verified by the experiments.
Proceedings of the Korean Society for Agricultural Machinery Conference
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2000.11b
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pp.139-145
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2000
The mechanism of the inner resistance in a rubber crawler system has been investigated to reduce the power requirement (Kitano et al. 1994). The rolling resistance of the track roller, which is one of the major inner resistances, was measured for seven different vertical loads. The rolling resistance changed periodically and could be classified into three types. In case of the vertical load less than 500N, the rolling resistance was almost constant. For the vertical load greater than 500N, the maximum value of the rolling resistance increased. Further more in case of the vertical load greater than 1200N, negative resistance appeared. Analytical simulation of the travel resistance based on experimental results and static equilibrium equations derived from three-dimension mechanical model for the rubber crawler system. It was found that the simulation method was carried out to evaluate the travel resistance occurred by the rolling resistance of the track roller. The rolling resistance for each track roller arrangement and effects of the lug phase in the right and left rubber crawler could be estimated quantitatively.
Journal of the Korean Graphic Arts Communication Society
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v.24
no.2
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pp.61-68
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2006
Rubber rollers in off-set printing process are one of the most important factor, transferring the ink and water to the plate. Each different roughness of roller surface and different rubber compounds could effect to ink transparency and printability. Three different rubber compounds (NBR, EPDM, PU) and each different roughness of roller surface would show us different result of ink transparency and density of actual printing result. There might be a differences from actual printing result not only the amount of transferred ink, but there is also some other point we should check it out. According to the result of this studies, we found that different rubber compounds and their surface roughness directly effect to the rate of ink transfer. It also shows that the amount of transferred ink is not even and stable amount what we expect to get optimum printability. To reach a targeted printability with rollers, firstly it is necessary to choose correct rubber compounds with certain purpose and the roughness of roller surface has to be as smooth as less than $5{\mu}m{\sim}7{\mu}m$.
To increase the structural integrity of concrete box culvert good compaction by the dynamic compaction roller with bi9 capacity is as effective as good backfill materials. It is needed for effective compaction that a compaction roller closes to concrete structure with high frequency. However structural distress of the culvert could be occur due to the excessive earth pressure by great dynamic compaction load. To investigate the characteristics of Induced stress by compaction, a box culvert was constructed with changing cushion materials and compaction methods. Two types of cushion material such as tire rubber chip and EPS(Expanded Polystyrene) were used as cushion panels and they are set on the culverts before backfill construction. Laboratory test result of cushion material says that the value of dynamic elastic modulus of rubber is lesser than that of EPS. On the other hand, material damping of rubber material is greater than that of EPS. In most case, dynamic compaction rollers with 10.5 ton weights were used and vibration frequency was applied 30Hz for the great compaction energy. This paper presents the main results on the characteristics of dynamic earth pressures during compaction. The amounts of induced dynamic pressures$(\Delta\sigma\;h)$ by compaction are affected with construction condition such as compaction frequency, depth of pressure cell, distance between roller and the wall of culvert and roller direction. Based on the measured values dynamic lateral pressure on the culverts, it could be said that orthogonal direction of roller to the length of culvert is more effective to compaction efficiency than parallel direction.
Proceedings of the Korean Society for Agricultural Machinery Conference
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1993.10a
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pp.1186-1195
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1993
The Japanese type combine harvester has adopted rubber crawlers for the driving mechanism from first production . However, combine harvesters with movable track rollers in the rubber crawler system have been adopted recently for the purpose of stability at the time of climbing over the footpaths between rice fields, as the results of the machines becoming large. However, the dynamic characteristics of movable track rollers have not been clarified. For this reason, the design of movable track rollers depends on trial and errors. It is known that vibration characteristics of the vehicle with movable track rollers are different from the vibration characteristics of the vehicles with fixed track rollers even though the track roller arrangements are the same. Therefore, the theoretical analyses of movable track rollers must be hurried in order to formulate a reasonable track roller arrangement design. the authors have studied the vibration characteristics of the rubber crawler ve icle with fixed track rollers. in this study, the dynamic model of the vehicle with movable track roller sis compared with the dynamic model of the vehicle with fixed track rollers. Next, motions are simulated to analyze the movable track rollers by expanding the motion equation which were constructed for the dynamic model of the fixed track rollers.
Song, Young-Jun;Lim, Jong-Hak;Byun, Young-il;Hong, Seong-Min;Jeong, Young-Hwan;Park, Jang-Yong;Song, Chul Ki
Journal of the Korean Society of Manufacturing Process Engineers
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v.21
no.1
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pp.28-33
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2022
The heating roller of an actual pulse output device (POD) production facility is composed of a steel roller and a rubber roller. The time to reach a specific temperature and the temperature distribution on the roller surface were analyzed and compared according to the change in the number of cartridge heaters inside the heating roller. In this analysis, a steady-state thermal analysis of a steel roller was performed for the cases of a 5-cartridge heater and 9-cartridge heater. Finite element analysis was applied with reference to the surface temperature data of the heating roller during operation and the calorific value of the cartridge heater. Using the 9-cartridge heater, faster target temperature achievement and more uniform temperature distribution were confirmed than for the 5-cartridge heater.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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