Effects of thickness and oxygen concentration on properties of Ru thin films bynew Ru precursor (새로운 Ru precursor를 이용하여 증착한 Ru 박막의 두께 및 산소의 박막 특성에 대한 영향분석)
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- Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference
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- 2001.11a
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- pp.161-161
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- 2001