Ru and $RuO_2$ Thin Films Grown by Atomic Layer Deposition
-
- 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
- /
- 한국전기전자재료학회 2008년도 추계학술대회 논문집 Vol.21
- /
- pp.149-149
- /
- 2008