$RuO_2$ MOCVD를 위한 TiN막의 ECR plasma 전처리
(ECR plasma pretreatment of the TiN films for $RuO_2$ MOCVD)
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- 한국재료학회:학술대회논문집
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- 한국재료학회 2003년도 추계학술발표강연 및 논문개요집
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- pp.163-163
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- 2003