The Effect of Sheet Resistance of Polysilicon Resistor with Contact Implantation and Metal Deposition (contact 이온주입과 Metal 증착이 다결정 실리콘저항의 면저항에 미치는 영향)
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- Journal of the Korean Institute of Telematics and Electronics
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- v.24 no.6
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- pp.969-974
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- 1987