Alignment Patterns and Position Measurement System for Precision Alignment of Roll-to-Roll Printing (롤투롤 인쇄전자공정에서 중첩정밀도 향상을 위한 정렬패턴과 위치 측정시스템)
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- Transactions of the Korean Society of Mechanical Engineers A
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- v.36 no.12
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- pp.1563-1568
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- 2012