여러 분위기에서의 저온 열처리와 폴리머 기판의 표면 morphology가 비정질 $Ta_2O_5$ 박막 커패시터의 특성에 미치는 영향
(Effects of Low Temperature Annealing at Various Atmospheres and Substrate Surface Morphology on the Characteristics of the Amorphous $Ta_2O_5$ Thin Film Capacitors)
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- 한국재료학회지
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- 제9권5호
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- pp.509-514
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- 1999