• 한국전자파학회논문지
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• 제24권4호
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• pp.384-393
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• 2013

본 논문에서는 집중 소자를 이용한 광대역 평판형 마이크로파 바이어스-티의 설계를 보였다. 설계된 바이어스-티는 DC 블록과 RF 초크로 구성된다. DC 블록용 커패시터는 광대역으로 동작하는 커패시터를 사용하였고, DC 공급 및 RF 초크용 인덕터는 서로 다른 자기 공진 주파수(SRF: Self Resonance Frequency)를 가지는 인덕터들을 직렬로 연결하였다. RF 초크에서 집중 소자들의 직렬 공진에 의하여 발생하는 신호의 손실을 병렬의 저항과 커패시터를 연결하여 해결하였다. 설계된 바이어스-티는 1608 칩 형태의 집중 소자들을 이용 조립하여 제작하였다. 측정은 커넥터의 손실과 영향을 제거하기 위하여 Anritsu 3680K jig에 연결하여 측정하였다. 제작된 바이어스-티는 10 MHz~18 GHz의 광대역에서 동작하고, 측정된 반사 손실이 -15 dB 이하를 가지며, 삽입 손실은 -1.5 dB 이하인 것을 확인하였다.

• Applied Science and Convergence Technology
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• 제26권4호
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• pp.74-78
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• 2017

The discharge characteristics of the radio frequency (RF) surface dielectric barrier discharge have been simulated for the investigation of the ratio of the ion transit time to the RF period. From one-dimensional particle-in-cell (PIC) simulation for a planar dielectric barrier discharge (DBD), it was observed that the high-frequency driving voltage confines the ions in the plasma because of a shorter RF period than the ion transit time. For two-dimensional surface dielectric barrier discharges, a fluid simulation is performed to investigate the characteristics of RF discharges from 1 MHz to 40 MHz. The ratio of the peak density to the average density decreases with the increasing frequency, and the spatiotemporal discharge patterns change abruptly with the change in the ratio of ion transit time to the RF period.

• 대한전기학회논문지:전기물성ㆍ응용부문C
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• 제52권12호
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• pp.586-591
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• 2003

We have developed the radio frequency excited slab waveguide $CO_2$ laser, The dimension of active area is $2{\times}40{\times}400$ mm to get a laser gain. Two pieces of concave mirror are used to make the unstable resonator of negative branch. The radio frequency is 123 MHz and RF input power is from 100 to 900 W. The laser gas is set to a pressure of 10 ∼ 60 torr and the mixing ration is $CO_2$:$N_2$:He=1:1:3. The laser output power of 50.9 W was obtained with laser power to RF power efficiency of 6.5 %.

• 대한전자공학회논문지SD
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• 제38권10호
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• pp.687-698
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• 2001

본 논문에서는 RF(Radio Frequency) 회로의 구현 방법으로서 3차원 적층형태의 PAA(Pad Area Array) 패키지 구조를 제시하였다. 지능 교통망 시스템(Intelligence Traffic System)을 위한 224㎒의 RF 시스템을 적층형 PAA 패키지 구조에 적용시켜 구현하였다. 적층형 PAA 패키지 구성 과정에서는 RF 회로를 기능별, 주파수별로 분할하였고 3차원적인 적층형태의 PAA 구조로 설계한 후 분할된 단위 모듈의 RF 동작특성과 3차원 적층형 PAA 패키지 모듈의 전기적 특성을 개별적으로 분석하였다. 적층형 PAA RF 패키지가 갖는 연결단자인 공납(Solder Ball)에 대한 전기적 파라미터 측정결과 그 전기적 특성인 기생 캐패시턴스와 기생 인덕턴스는 각각 30fF, 120pH로 매우 미세하여 PAA 패키지 구조인 RF 시스템에 끼치는 영향이 무시될 수 있음을 확인하였고, 구성된 송수신단은 HP 4396B network/spectrum analyser로 측정한 결과 224㎒에서 수신단, 송신단 증폭이득은 각각 22dB 27dB. 나타나서 설계값에 비하여 3dB감소 된 것을 알 수 있었다. 이는 설계와 제작과정 사이의 차이로 판명되었으며 수동부품 보정방법을 통하여 각 단위모듈의 입출력 임피던스 정합을 이루어 각각 24dB, 29dB로 개선시킬 수 있었다. 따라서, 본 실험에서는 RF 회로를 기능별로 모듈화하고 3차원 적층형 PAA 패키지 구조로 구현하여 전기적 특성을 개선시킬 수 있음을 확인하였다.

• Journal of electromagnetic engineering and science
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• 제15권4호
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• pp.250-257
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• 2015

This paper presents an experimental measurement system for 3-6 GHz microwave tomography (MT) of the breast. The measurement system is constructed as a minimal test bed to verify key components such as the sensing antennas, radio frequency (RF) transceiver, sensing mechanism, and image reconstruction method for our advanced MT system detecting breast cancer at an early stage. The test bed has eight RF channels operating at 3 to 6 GHz for high spatial resolution and a two-axis scanning mechanism for three-dimensional measurement. The measurement results from the test bed are shown and discussed.

• 한국진공학회:학술대회논문집
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• 한국진공학회 2013년도 제44회 동계 정기학술대회 초록집
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• pp.307-307
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• 2013

초고집적 회로에 적용되는 반도체 소자의critical dimension (CD)이 수 nano 사이즈로 줄어들고 있기 때문에, 다양한 물질의 식각을 할 때, 건식식각의 중요성이 더 강조되고 있다. 특히 $SiO_2$와 같은 유전체 물질을 식각할 때, plasma process induced damages (P2IDs)가 관찰되어 왔고, 이러한 P2IDs를 줄이기 위해, pulsed-time modulation plasma가 광범위하게 연구되어 왔다. Pulsed plasma는 정기적으로 radio frequency (RF) power on과 off를 반복하여 rf power가 off된 동안, 평균전자 온도를 낮춤으로써, 웨이퍼로 입사되는 전하 축적을 효과적으로 줄일 수 있다. 또한 fluorocarbon plasmas를 사용하여 $SiO_2$를 식각하기 위해 Dual-Frequency Capacitive coupled plasma (DF-CCP)도 널리 연구되어 왔는데, 이것은 기존의 방법과는 다르게 plasma 밀도와 ion bombardment energy를 독립적으로 조절 가능하다는 장점이 있어서 미세 패턴을 식각할 때 효과적이다. 본 연구에서는 Source power에는 60 MHz pulsed radio frequency (RF)를, bias power에는 2 MHz continuous wave (CW) rf power가 사용된 system에서 Ar/$C_4$ F8/$O_2$ 가스 조합으로, amorphous carbon layer (ACL)가 hard mask로 사용된 $SiO_2$를 식각했다. 그리고 source pulse의 duty ratio와 pulse frequency의 효과에 따른 $SiO_2$의 식각특성을 연구하였다. 그 결과, duty ratio의 감소에 따라 $SiO_2$, ACL의 etch rate이 감소했지만, $SiO_2$/ACL의 etch selectivity는 증가하였다. 반면에 pulse frequency의 변화에 따른 두 물질의 etch selectivity는 크게 변화가 없었다. 그 이유는 pulse 조건인 duty ratio의 감소가 전자 온도 및 전자 에너지를 낮춰 $C_2F8$가스의 분해를 감소시켰으며, 이로 인해 식각된 $SiO_2$의 surface와 sidewall에 fluorocarbon polymer의 형성이 증가하였기 때문이다. 또한 duty ratio의 감소에 따라 etch selectivity뿐만 아니라 etch profile까지 향상되는 것을 확인할 수 있었다.

• 한국통신학회논문지
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• 제40권3호
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• pp.425-431
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• 2015

빔 공간 Multiple-Input Multiple Output(MIMO) 시스템은 단일 Radio Frequency(RF)-체인을 가지는 Electronically Steerable Parasitic Array Radiator(ESPAR) 안테나를 이용하여 다수의 데이터를 동시에 전송할 수 있는 시스템이다. 단일 안테나, 단일 RF-체인을 사용하는 ESPAR 안테나의 특성에 의해 빔 공간 MIMO 시스템은 기존 MIMO 시스템에 비해 시스템의 복잡도가 줄어들고 안테나의 소형화가 가능하다. 기존에는 빔 공간 MIMO 시스템을 사용하여 단일 반송파를 전송하는 연구만이 진행되었다. 따라서 본 논문에서는 다중 반송파를 전송하기 위해 Orthogonal Frequency Division Multiplexing(OFDM) 기반의 빔 공간 MIMO 시스템을 제안하고 성능을 분석하였다. 제안하는 빔 공간 MIMO 시스템은 기생소자의 리액턴스 값에 의해 Bit Error Rate(BER) 성능이 변화하기 때문에 최적의 성능을 가지는 리액턴스 값을 찾고, 이때의 BER 성능이 기존의 MIMO OFDM 시스템의 성능과 유사한 것을 확인하였다.

• Journal of information and communication convergence engineering
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• 제9권1호
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• pp.27-31
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• 2011

This paper describes the optimization of spectrum sensing in terms of the throughput of a cognitive radio (CR) system. Dealing with the optimization problem of spectrum sensing, this paper evaluates the throughput of a CR system by considering such situations as the penalty time of a channel search and incumbent user (IU) detection delay caused by a missed detection of an incumbent signal. Also, this paper suggests a serial channel search scheme as the search method for a vacant channel, and derives its mean channel search time by considering the penalty time due to the false alarm of a vacant channel search. The numerical results suggest the optimum sensing time of the channel search process using the derived mean channel search time of a serial channel search in the case of a sensing hardware structure with single radio frequency (RF) path. It also demonstrates that the average throughput is improved by two separate RF paths in spite of the hardware complexity of an RF receiver.

• Transactions on Electrical and Electronic Materials
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• 제11권1호
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• pp.29-32
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• 2010

In this study, transparent and conductive Al-doped zinc oxide (AZO) films were prepared on a glass substrate by an radio frequency (RF) magnetron sputtering method using a 150-nm-thick AZO target (Al: 2 wt.%) at room temperature. We investigated the effects of RF power between 100-350 W (in steps of 50 W) on the structural, electrical, and optical properties of the AZO films. The thickness and cross-sectional images of the films were observed by field emission scanning electron microscopy. The thicknesses of all films were kept constant at 150 nm and grown on a glass substrate. The grain sizes of the AZO films were determined with the X-ray diffraction by using the Scherrer' equation, and their electrical properties were investigated using a Hall effect electronic transport measurement system. The transmittance of the AZO films was also measured by an ultraviolet-visible spectrometer.

• 한국광학회지
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• 제14권4호
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• pp.406-412
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• 2003

고주파 여기 방식의 슬랩 도파관 $CO_2$ 레이저를 제작하고 그 특성을 조사하였다. 레이저 이득을 얻기 위한 고주파 방전구간의 크기는 2${\times}$40${\times}$400mm이고, 레이저 공진기는 볼록거울과 오목거울을 사용하여 positive branch형태의 불안정 공진기를 사용하였다. 고주파 여기 주파수는 123 MHz를 사용하였고, 가스의 혼합 비율은 $CO_2$:$N_2$:He를 각각 1:1:3으로 사용하였다. 공진기의 가스 압력이 40 ton,고주파 입력파워 900 W에서 70.8 W의 출력을 얻었으며, 이때 레이저의 효율은 9.2%이다.