RF Plasma CVD에 의한 TMDSO/$O_2$ 의 합성과 박막의 특성에 관한 연구
(A study on the formation and properties of TMDSO/$O_2$ thin film by the RF Plasma CVD)
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- 대한전기학회:학술대회논문집
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- 대한전기학회 1991년도 추계학술대회 논문집 학회본부
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- pp.265-268
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- 1991