• 한국염색가공학회지
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• 제16권6호
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• pp.30-34
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• 2004

Polyacrylontrile fiber was modified with argon low temperature plasma by RF glow discharge at 240 mTorr, 40 W to investigate the surface morphological changes and mechanical characteristics such as elongation, tenacity, and modulus. Analysis of the SEM images revealed that the plasma treatment resulted in significant ablation on the surfaces rendering a severe crack formation. The morphological changes were evident with short treatment time of argon plasma although longer treatment time damaged the surface more severely. The mechanical characteristics such as tenacity and elongation were deteriorated due to the plasma treatment. The tenacity of the fiber treated with argon-plasma for 5 min showed a decreased value up to 21.9 % when compared to the untreated fiber. While the corresponding initial modulus(0 - 1 %) increased markedly up to 44.3 %.

• 한국자기학회지
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• 제16권2호
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• pp.140-143
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• 2006

단결정 상태의 $CoFe_2O_4$ 박막을 rf magnetron sputtering 증착법을 이용하여 (100) MgO 기판 위에 성장시켰다. X선 회절기, Rutherford back-scattering 분석기와 고감도 주사전자현미경을 이용하여 측정한 결과 증착된 박막이 기판과 잘 정렬되어 성장한 것을 확인할 수 있었다. $600^{\circ}C$의 기판 온도에서 성장한 페라이트 박막은 약 200nm크기의 사각형 형태로 규칙적으로 분포되어 있음이 관찰되었다. 그러나 $700^{\circ}C$의 기판 온도에서 성장한 박막은 불규칙한 모양으로 이루어져 있었으며 30nm에서 150nm에 이르는 다양한 입자 크기를 보이고 있었다. 섭동자화기를 이용한 자기이력곡선 측정 결과 성장한 박막의 자화용이축이 기판과 수직하게 배열하는 것을 알 수 있었다. 또한 MgO 기판과 성장 박막과의 격자상수 차이로 인하여 기판과 수직한 방향의 보자력은 매우 큰 값을 나타내었다. 즉 평행한 방향의 보자력은 283 Oe이고 수직한 방향의 보자력은 6800 Oe였다. $700^{\circ}C$의 기판 온도에 서 성장한 페라이트 박막은 $600^{\circ}C$의 기판 온도에서 성장한 박막의 보자력 및 포화자화 값과 유사한 값을 보였으나 각형비는 급격하게 감소하였다.

• 한국재료학회:학술대회논문집
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• 한국재료학회 2003년도 춘계학술발표강연 및 논문개요집
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• pp.143-143
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• 2003

현대 산업이 발전함에 따라 다양한 기기들의 초소형화가 급속히 진행되고 있다. 이러한 요구에 부응하기 위하여 미세구동소자(Microelectromechanical system)의 개발이 많은 연구 그룹들에 의해서 이루어지고 있다. 미세구동소자에 응용을 하기 위해 개발되어지고 있는 여러 가지 소재들 중 $\ulcorner$형상기억합금 $\lrcorner$은 기존의 바이메탈이나 피에조 소자에 비하여 작동거리가 우수하기 때문에 그 가능성을 인정받고 있지만, 벌크재료는 느린 냉각속도 때문에 반응속도가 느린 단점이 있기 때문에 박막화 할 필요성이 있다. 이러한 이유로 여러 그룹들에 의해 형상기억합금의 박막화가 시도되고 있으나, 조성에 의해 특성의 변화가 심한 형상기억합금의 정밀한 조성제어가 힘들다고 알려져 있다. 몇몇 연구 그룹에서 RF magnetron sputtering법을 이용하여 Ti-Ni합금 박막을 성공적으로 제조하였다는 보고가 있지만, 타겟 조성 및 형태 등의 정밀한 제어가 필요하므로 3원 합금 박막 등을 제조할 경우에는 또 다시 타겟의 조건을 정밀하게 제어해야 할 필요성이 있다. 따라서 본 연구에서는 산화물 박막등의 제조에 있어서 타겟 조성과 제조된 박막 조성이 잘 일치하여 조성제어가 쉽게 이루어진다고 알려져 있는 PLD법을 도입하여 형상기억합금 박막제조에 적용가능한지를 검토하는 것을 목적으로 하였다.

• 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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• 한국전기전자재료학회 2001년도 하계학술대회 논문집
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• pp.901-904
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• 2001

For the c-axis oriented epitaxial YBa$_2$Cu$_3$O$_{7-{\delta}}$ thin film on r-cut sapphire substrate it is necessary to deposit buffer layers. The CeO$_2$buffer layer was deposited on sapphire substrate using RF magnetron sputtering system. We investigated XRD pattern of CeO$_2$thin films at various sputtering conditions such as sputtering gas ratio, sputtering power, target to substrate distance, sputtering pressure and substrate temperature. The optimum condition was 15 mTorr with deposition pressure, 1:1.2 with $O_2$and Ar ratio and 9cm with target to substrate distance. The CeO$_2$(200) peak was notable for a deposition temperature above 75$0^{\circ}C$. The YBa$_2$Cu$_3$O$_{7-{\delta}}$ was deposited on CeO$_2$buffered r-cut sapphire substrate using pulsed laser ablation. The YBa$_2$Cu$_3$O$_{7-{\delta}}$CeO$_2$(200)/A1$_2$O$_3$thin film was exhibited a critical temperature of 89K.xhibited a critical temperature of 89K.

• 한국진공학회:학술대회논문집
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• 한국진공학회 2011년도 제40회 동계학술대회 초록집
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• pp.87-87
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• 2011

Oxide semiconductors are attractive materials for thin-film electronics and optoelectronics due to compatibility with synthesis on large-area, glass and flexible substrate. However, development of thin-film electronics has been hampered by the limited number of semiconducting oxides that are p-type. We report on the effect of the oxygen partial pressure ratio in the gas mixture on the electrical and optical properties of spinel Mg:$ZnCo_2O_4$ thin films deposited at room temperature using RF sputtering, that exhibit p-type conduction. The thin-films are deposited at room temperature in a background of oxygen using a polycrystalline Mg:$ZnCo_2O_4$ ablation target. The p-type conduction is confirmed by positive Seebeck coefficient and positive Hall coefficient. The electrical resistivity and carrier concentration in on dependent Mg:$ZnCo_2O_4$ thin films were found to be dependent on the oxygen partial pressure ratio. As a result, it is revealed that the Mg:$ZnCo_2O_4$ thin-films were greatly influenced on the electrical and optical properties by the oxygen partial pressure condition. The visible region of the spectrum of 36~85%, and hole mobility of 1.1~3.7 $cm^2$/Vs, were obtained.

• 대한골관절종양학회지
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• 제10권2호
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• pp.88-95
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• 2004

목적: 통증을 동반한 유골 골종의 치료는 일반적으로 수술적 절제로 이루어졌으나, 그 침습성으로 인하여 술후 통증 및 일정 동안의 회복 시간이 필요하였다. 최소 침습적인 방법인 경피적 고주파 열치료를 이용한 유골 골종의 치료는 술 후 통증이 적고, 회복이 빠르며, 재발은 수술적 방법과 비슷한 것으로 보고되어 있다. 이에 저자들은 본원에서 시행한 경피적 고주파 열치료의 임상 결과를 보고하고자 한다. 대상 및 방법: 1999년 4월에서 2004년 5월 사이에 삼성서울병원에 내원하여 유골 골종으로 진단된 환자 22명, 22례를 전산화 단층 촬영 도움 하에 경피적 고주파 열치료를 시행하였다. 평균 연령은 26.5(7~55)세였고, 남자가 15명, 여자가 7명이었다. 이 중 2례는 외부에서 치료 받은 후 재발한 경우였다. 병변의 위치는 대퇴골 13, 경골 4, 비골 1, 상완골 1, 장골 1, 좌골 1, 천골 1례였다. 시술 전 3례에서 경피적 생검을 시행하여 확진 하였고, 나머지는 임상양상 및 방사선 소견으로 진단하였다. 전신 또는 척추 마취 하에 전산화 단층 촬영으로 병소의 위치를 확인한 후 고주파 전극을 병소의 중심부에 위치한 후, 섭씨 80에서 90도로 평균 6(3~8)분간 가열하였다. 외래 추시 및 전화 통화로 증상 호전 여부 및 일상 생활 정도를 추적 관찰하였으며, 평균 추시 기간은 30(4~62)개월 이었다. 결과: 추시 중 19례(86%)에서 통증이 소실되었고, 2례에서는 시술 후 각각 5개월, 12개월에 병변이 재발하였으며, 1례에서는 재발의 증거 없이 지속되는 통증이 있었다. 시술 후 4시간 정도 침상 안정 후 바로 보조기 없이 보행이 가능하였으며, 화상으로 인한 근육 손상이 발생한 1례를 제외한 21례 환자들은 합병증 없이 시술 후 평균 1.9일에 퇴원하였다. 재발이 확인된 2례는 다시 고주파 열치료를 시행하여 증상이 모두 소실되었다. 결론: 유골 골종의 치료에 있어서 전산화 단층 촬영 도움 하 경피적 고주파 열치료는 최소 침습적인 방법으로 술후 통증이 적으며, 회복이 빠르고, 안전하면서, 이제까지 보고된 수술적 절제의 결과와 비교할 만한 우수한 성적을 나타내었다.

• 한국표면공학회:학술대회논문집
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• 한국표면공학회 2009년도 춘계학술대회 논문집
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• pp.111-112
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• 2009

Diamond-like carbon (DLC) is a convenient term to indicate the compositions of the various forms of amorphous carbon (a-C), tetrahedral amorphous carbon (ta-C), hydrogenated amorphous carbon and tetrahedral amorphous carbon (a-C:H and ta-C:H). The a-C film with disordered graphitic ordering, such as soot, chars, glassy carbon, and evaporated a-C, is shown in the lower left hand corner. If the fraction of sp3 bonding reaches a high degree, such an a-C is denoted as tetrahedral amorphous carbon (ta-C), in order to distinguish it from sp2 a-C [2]. Two hydrocarbon polymers, that is, polyethylene (CH2)n and polyacetylene (CH)n, define the limits of the triangle in the right hand corner beyond which interconnecting C-C networks do not form, and only strait-chain molecules are formed. The DLC films, i.e. a-C, ta-C, a-C:H and ta-C:H, have some extreme properties similar to diamond, such as hardness, elastic modulus and chemical inertness. These films are great advantages for many applications. One of the most important applications of the carbon-based films is the coating for magnetic hard disk recording. The second successful application is wear protective and antireflective films for IR windows. The third application is wear protection of bearings and sliding friction parts. The fourth is precision gages for the automotive industry. Recently, exciting ongoing study [1] tries to deposit a carbon-based protective film on engine parts (e.g. engine cylinders and pistons) taking into account not only low friction and wear, but also self lubricating properties. Reduction of the oil consumption is expected. Currently, for an additional application field, the carbon-based films are extensively studied as excellent candidates for biocompatible films on biomedical implants. The carbon-based films consist of carbon, hydrogen and nitrogen, which are biologically harmless as well as the main elements of human body. Some in vitro and limited in vivo studies on the biological effects of carbon-based films have been studied [$2{\sim}5$].The carbon-based films have great potentials in many fields. However, a few technological issues for carbon-based film are still needed to be studied to improve the applicability. Aisenberg and Chabot [3] firstly prepared an amorphous carbon film on substrates remained at room temperature using a beam of carbon ions produced using argon plasma. Spencer et al. [4] had subsequently developed this field. Many deposition techniques for DLC films have been developed to increase the fraction of sp3 bonding in the films. The a-C films have been prepared by a variety of deposition methods such as ion plating, DC or RF sputtering, RF or DC plasma enhanced chemical vapor deposition (PECVD), electron cyclotron resonance chemical vapor deposition (ECR-CVD), ion implantation, ablation, pulsed laser deposition and cathodic arc deposition, from a variety of carbon target or gaseous sources materials [5]. Sputtering is the most common deposition method for a-C film. Deposited films by these plasma methods, such as plasma enhanced chemical vapor deposition (PECVD) [6], are ranged into the interior of the triangle. Application fields of DLC films investigated from papers. Many papers purposed to apply for tribology due to the carbon-based films of low friction and wear resistance. Figure 1 shows the percentage of DLC research interest for application field. The biggest portion is tribology field. It is occupied 57%. Second, biomedical field hold 14%. Nowadays, biomedical field is took notice in many countries and significantly increased the research papers. DLC films actually applied to many industries in 2005 as shown figure 2. The most applied fields are mold and machinery industries. It took over 50%. The automobile industry is more and more increase application parts. In the near future, automobile industry is expected a big market for DLC coating. Figure 1 Research interests of carbon-based filmsFigure 2 Demand ratio of DLC coating for industry in 2005. In this presentation, I will introduce a trend of carbon-based coating research and applications.