Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)
- 2003.03a
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- Pages.143-143
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- 2003
Preparation of TiNi and Ti-40Ni-l0Cu shape memory alloy thin films using a PLD(Plused Laser Ablation) technique
PLD법을 이용한 Ti-Ni 및 Ti-40Ni-10Cu 형상기억합금 박막의 제조
- Im, Hee-Joong (JAIST) ;
- Kim, Dong-Hwan (JAIST) ;
- Ahn, Jeung-Sun (JAIST) ;
- Tadaoki Mitani (JAIST) ;
- Kim, Tae-Youn (Gyeongsang National University) ;
- Nam, Tae-Hyun (Gyeongsang National University)
- Published : 2003.05.01
Abstract
현대 산업이 발전함에 따라 다양한 기기들의 초소형화가 급속히 진행되고 있다. 이러한 요구에 부응하기 위하여 미세구동소자(Microelectromechanical system)의 개발이 많은 연구 그룹들에 의해서 이루어지고 있다. 미세구동소자에 응용을 하기 위해 개발되어지고 있는 여러 가지 소재들 중
Keywords